|
|
 |
| 実験ホール |
| 主たる実験の場所である実験ホールには、蓄積リングやビームラインなどすべてを配置しています。 |
|
|
 |
| 試料準備室・試料分析室 |
| この部屋で試料の準備や分析を行います。光学顕微鏡、電子天秤、超音波洗浄機、純水製造装置などがあります。 |
|
|
 |
| イメージングプレート室・パソコンルーム |
| パソコンは学内LANに接続され、学内外と交信が可能です。イメージングプレート読み取り装置もあります。 |
|
|
 |
| ユーザー控室 |
| 入射中の時間、学外者はこの部屋で休憩します。ソファーやロッカーなどがあります。 |
|
|
 |
マイクロシステムデザインルーム
Micro system design room |
| マイクロシステム専用のCADワークステーションを用いて、マスク設計から構造、機能シュミレーションまでを行うことができ、デバイスからシステムまでの開発をサポートします。 |
|
|
 |
フォトルーム
Photo room |
| UVリソグラフィーを用いて、ミクロンオーダーの素子パターンの形成が可能です。三次元マイクロマシニング用に両面アライナ、光造形システムが設置されています。 |
|
|
 |
マイクロプロセス実験室
Micro process laboratory |
| 半導体プロセスを応用して、マイクロマシンをシリコン基板上に製作します。真空蒸着、電子ビーム蒸着、高周波スパッタ、プラズマCVD、ドライエッチング（RIE）、拡散炉およびアニール炉等が設置されています。その他、ダイシング、ボンディング等の組立設備も備えています。 |
|
|
 |
電子線描画装置
Electron beam lithography system |
| 電子ビームを用いて、10nm精度の素子パターン形成が可能です。CADワークステーションとデータリンクした直接描画およびフォトマスクやX線マスクの製作を行います。 |
|
|
 |
解析・特性評価装置
Analysis and evaluation systems |
| 半導体プロセス技術によって作製したマイクロ・ナノ構造体の形状・特性評価や、マイクロマシンの性能評価を実施します。原子間力顕微鏡、走査型電子顕微鏡および表面形状測定機等を用いた解析・特性評価が可能です。 |
|
|
|
