|
| ■担当科目 |
／ |
マイクロロボット工学・センサ工学・マイクロマシニング実習 |
|
| |
| ■専門分野 |
／ |
マイクロシステム工学、半導体工学、センサ工学 |
|
| |
| ■主な所属学会と役職 |
電気学会(電気学会センサ・マイクロマシン準部門副準部門長)、エレクトロニクス実装学会、日本機械学会 |
|
|
| |
| ■主な著書・論文 |
| ●『マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス(Micromachining and Micromechatronics)』(共著、1992年、培風館) |
| ●『CMOS処理回路を内蔵した32×32(1k)圧力センサアレー(A32×32(1k)-element Pressure Array with CMOS Processing Circuits)』(共著、1991年、電子情報通信学会論文誌C) |
|
| |
| ■研究主題 |
マイクロ・ナノマシン、センサ、集積電子機械システム
センサ、アクチュエータ、およびマイクロプロセッサをワンチップに集積し、ナノメートル精度で駆動、計測、処理を行うマイクロ・ナノシステムの実現と応用研究。 |
|
|
| ■紹介 |
マイクロ・ナノマシンシステムの実用化研究
「マイクロ・ナノマシンシステム」とは、ミクロンサイズの機械要素をシリコン基板上に集積しナノメートル精度で動作する高機能デバイスであり、半導体集積回路(IC)と同じような製法で大量生産を目指しています。IC技術が産業を変革したと同じように、マイクロ・ナノマシンシステムも次世代の産業に技術革新を起こすものであると期待されています。企業に長年籍を置き、一貫して半導体物理センサの研究・開発に従事してきました。センサの研究・開発は材料探策から実用化まで、粘り強い根気の要るものであります。自動車の電子式燃料噴射システムに用いる半導体圧力センサを世に出すまでに、約10年の歳月がかかりました。マイクロ・ナノマシンチップが世に出るまでには、地道な努力と多くの歳月が必要であると考えています。伝統ある立命館大学でこの小さくて大きなテーマに挑戦できることを大いなる喜びとしております。'65年より豊田中央研究所に在籍。'95年より本学へ。映画鑑賞、バレーボール（シニア）、サッカー観戦が趣味。工博。 |
|
