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1999年度 杉山研究室 論文･学会発表

Apr. '99 - Mar. 2000

No. 発表形態

著者／発表者

著書・論文名等

出版社／掲載誌／学会名等
1 論文 Hiroshi Ueno, Makoto Hosaka, Osamu Tabata, Satoshi Konishi and Susumu Sugiyama X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process 電気学会論文誌Ｅ, 119巻4号, pp.229-235 (1999.4)
2 論文 Kazuya Sawa, Masato Arai, Toshiyuki Toriyama and Susumu Sugiyama Piezoresistive Force Sensor Utilizing Combination of Three-Axis Stress Components 電気学会論文誌E, 119巻, 6号, pp.327-333 (1999.6)
3 論文 Ryoji Kondo, Kenichiro Suzuki and Susumu Sugiyama Study on Fabrication of High Aspect Ratio Electrostatic Micro Actuators Using LIGA Process Memoirs of the SR Center, Ritsumeikan University, No1, pp.23-32, October 1999
4 論文 H. Ueno, M. Hosaka, O. Tabata, S. Konishi and S. Sugiyama X-Ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process Memoirs of the SR Center, Ritsumeikan University, No1, pp.33-44, October 1999

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論文

 谷本靖忠、鳥山寿之､澤 和也、杉山 進 3軸の応力成分を利用した高圧測定用シリコンピエゾ抵抗型圧力センサの開発 立命館大学理工学研究所紀要、第58号、1999年、pp.103-113　(2000.3)
6 国際学会発表 Toshiyuki Toriyama, Yoshihiko Yokoyama, Mikihiro Nakazawa and Susumu Sugiyama Isotropic Piezoresistance Properties of Polycrystalline Semiconductors The 10th International Conference on Solid State Sensors and Actuators (Transducers'99), Digest of Technical Papers, pp.568-571, Sendai, Japan June 7-10, 1999
7 国際学会発表 Kazuya Sawa, Yasutada Tanimoto, Toshiyuki Toriyama and Susumu Sugiyama A New Force Sensor Utilizing Combination of Three-Axis Stress Components The 10th International Conference on Solid State Sensors and Actuators (Transducers'99), Digest of Technical Papers, pp.1624-1627, Sendai, Japan June 7-10, 1999
8 国際学会発表 H. Ueno, Y. Zhang, N. Nishi and S. Sugiyama Fabrication of Sub-Micron　Structures for MEMS Using Deep X-ray Lithography Book of Abstract The Third　International Workshop on High Aspect Ratio Microstructure Technology　(HARMST'99), pp.44-45, Kisarazu, June 13-15, 1999
9 国際学会発表 R. Kondo, S. Takimoto, K. Suzuki and S. Sugiyama High Aspect Ratio Electrostatic Micro Actuators Using LIGA Process Book of Abstract The Third International Workshop on High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST'99), pp.138-139, Kisarazu, June 13-15, 1999
10 国際学会発表 S. Sugiyama LIGA Multi-user Integration Chip Service Project Book of Abstract The Third International Workshop on High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST'99), pp. 34-35, Kisarazu, June 13-15, 1999
11 国際学会発表 S. Sugiyama High Aspect Ratio Micro Electro Mechanical Devices -Fabrication and Applications- The Microsystem in Harsh Environments Workshop, Glennan Micro-systems Initiative, NASA and OAI, Cleveland, USA, Oct. 20-21, 1999
12 国際学会発表 T. Toriyama, K. Sawa, Y. Tanimoto and S. Sugiyama A New Piezoresistive High Pressure Sensor Utilizing Combination of Three-Axis Normal Stress Components Proceeding of the 1999 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, pp.215-220, Nagoya, November 23-26, 1999
13 国際学会発表 H. Ueno, N, Nishi and S. Sugiyama Study on Fabrication of Sub-Micron Structures for MEMS Using Deep X-Ray Lithography Proceeding of the 1999 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, pp.87-92, Nagoya, November 23-26, 1999
14 国際学会発表 N, Nishi, T. Katoh, H. Ueno, S. Konishi and S. Sugiyama 3-Dimensional Micromachining of PTFE Using Synchrotron Radiation Direct Photo-Etching Proceeding of the 1999 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, pp. 93-98, Nagoya, November 23-26, 1999
15 国際学会発表 S. Takimoto, R. Kondo, K. Suzuki and S. Sugiyama Fabrication of Micromotors Using LIGA Process Proceeding of the 1999 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, pp.221-226, Nagoya, November 23-26, 1999
16 国際学会発表 T. Katoh, N. Nishi, M. Fukagawa, H. Ueno and S. Sugiyama Direct Writing for Three-Dimensional Microfabrication Using Synchrotron Radiation Etching Proceedings IEEE The Thirteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2000), pp.556-561, Miyazaki, January 23-27, 2000
17 国際学会発表 H. Ueno, N. Nishi and S. Sugiyama Fabrication of Sub-Micron Structures with High Aspect Ratio for MEMS Using Deep X-Ray Lithography Proceedings IEEE The Thirteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2000), pp.596-601, Miyazaki, January 23-27, 2000
18 国内学会発表 杉山　進 LIGAによる高アスペクト比マイクロストラクチャのセンサーへの応用 第116回センシング技術応用研究会, 研究会資料 , pp.1-7, 大阪 (1999.4)
19 国内学会発表 杉山　進 シンクロトロン放射光による精密電鋳プロセス 日本機械学会講習会「精密工学の最先端と情報通信機器への応用」, pp.29-34, 東京 (1999.5)
20 国内学会発表 浜田博之, 進元幸治, 杉山 進 バイモルフ型マイクロバルブの製作 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会’99, 1P2-60-088(CD-ROM), 東京 (1999.6)
21 国内学会発表 濱田博之, 福島敏道, 杉山 進 圧電バイモルフ型マイクロバルブの製作 平成11年度電気学会東京支部連合研究会, マイクロマシン研究会, 研究会資料MM-99-19, 東京 (1999.9)
22 国内学会発表 杉山　進 ＳＲ光における超微細構造体の製作 平成11年度電気学会東京支部連合研究会, 光・量子デバイス研究会, 研究会資料OQD-99-40, pp.1-6, 東京 (1999.9)
23 国内学会発表 杉山　進 LIGAプロセス技術 日本学術振興会プラズマ材料科学 第153委員会第43回研究会, 東京 (1999.9)
24 国内学会発表 杉山　進 X線リソグラフィーを用いたマイクロマシンの製作技術 京都府産学官新技術交流フェア, 第２分科会(新素材･加工技術）講演要旨, pp.27-33, 精華 (1999.10)
25 国内学会発表 宮村和宏, 仲野　聡, 杉山　進 円運動型マイクロジャイロスコープに関する研究 電気学会センサ・マイクロマシン準部門平成11年度総合研究会、物理センサ研究会, 研究会資料PS-99-10, 東京 (1999.11)
26 国内学会発表 杉山　進 LIGAプロセスによる高アスペクト比マイクロ構造の製作 精密工学会マイクロメカニズム専門委員会, 東京 (2000.1)
27 国内学会発表 杉山　進 X線リソグラフィーを用いたマイクロマシンの製作技術 表面技術協会関西支部講演会, 草津 (2000.1)
28 国内学会発表 杉山　進 高アスペクト比MEMSの製作技術と応用 第6回高度技術セミナー, 名古屋大学先端技術共同研究センター, 講演資料, pp.86-96, 名古屋 (2000.2)
29 国内学会発表 鳥山寿之, 杉山　進 価電子バンドに基づくp型Siのピエゾ抵抗効果の解析 電気学会マイクロマシン研究会, 研究会資料MM-00-5, pp.25-30, 草津 (2000.2)
30 国内学会発表 山本秀俊, 鳥山寿之, 杉山　進, 村上健介, 川上司 センサ用薄膜内部応力のアニール効果のラマン分光法による検討 電気学会マイクロマシン研究会, 研究会資料MM-00-7, pp.37-40, 草津 (2000.2)
31 国内学会発表 杉山　進 マイクロマシン・マルチチップサービス（MICS）の活動報告 平成12年電気学会全国大会講演論文集[3], 3-S19-7, pp.1343-1344 (2000.3)
32 国内学会発表 谷本靖忠, 鳥山寿之, 杉山　進 ポリシリコンナノワイヤーピエゾ抵抗素子の製作 平成12年電気学会全国大会講演論文集[3], 3-157, p.1113 (2000.3)