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マイクロ・ナノ加工計測研究室

教員	安藤妙子准教授
学位	工学博士（名古屋大学）
連絡先	tando (at) fc.ritsumei.ac.jp (at) を@に変えてください
研究内容	MEMSを利用したマイクロ構造体の計測技術の開発と評価

■ 研究の概要

MEMS構造薄膜の信頼性評価
MEMSで用いられる薄膜構造材料の機械的特性評価を行っています． MEMS用構造材料である単結晶シリコンやシリコン化合物，金属などからなる薄膜の機械的特性はバルク材とは異なる値を示します．そこで，厚さサブミクロンから十ミクロン程度の薄膜の機械的特性を，引張試験を中心に評価してきました．さらに，様々な環境で使用されるMEMS材料の特性評価のために，温度や圧力，ガスなどを変更した試験を実施します．引張試験を応用した破壊靱性試験・疲労試験や，片持ち梁の曲げ試験など様々な試験を実施し，薄膜材料の信頼性評価を行っていきます．

■ 最近の研究業績

1.	S. Nakao, T. Ando, M. Shikida, and K. Sato, "Effect of temperature on fracture toughness in a single-crystal-silicon film and transition in its fracture mode" Journal of Micromechanics and Microengineering, vol.18, no. 1, 015026 (2008)
2.	X. Li, T. Kasai, S. Nakao, T. Ando, M. Shikida, and K. Sato, "Influence of sub-micrometer notches on the fracture of single crystal silicon thin films" Fatigue & Fracture of Engineering Materials & Structures, vol.30, no.12, pp.1172-1181 (2007)
3.	X. Li, G. Ding, T. Ando, M. Shikida, and K. Sato, "Micromechanical characterization of electroplated permalloy films for MEMS" Microsystem Technologies, vol. 14, no. 2, pp.131-134 (2007)