—§–½ŠÙ‘åŠwƒgƒbƒvƒy[ƒW‚Ö Ritsumeikan University-Faculty of Science and Engineering
MICRO NANO SYSTEM
Šw‰ÈÐ‰î
“üŽŽî•ñ
‘²‹ÆŒã‚̐i˜H
ƒJƒŠƒLƒ…ƒ‰ƒ€
Œ¤‹†ŽºÐ‰î
ƒŠƒ“ƒN
ƒTƒCƒgƒ}ƒbƒv
‚¨–â‚¢‡‚킹
ƒgƒbƒvƒy[ƒW
Œ¤‹†ŽºÐ‰î
—HŠw•” ‹@ŠBƒVƒXƒeƒ€ŒnEƒ}ƒCƒNƒ‹@ŠBƒVƒXƒeƒ€HŠw‰È
Œ¤‹†Žº ’S“–‹³ˆõ
ƒ}ƒCƒNƒEƒiƒm‰ÁHŒv‘ªŒ¤‹†Žº ˆÀ“¡ –­Žq
”÷¬—̈æ”j‰ó§ŒäŒ¤‹†Žº ã–ì –¾
WÏ‰»MEMSƒZƒ“ƒTŒ¤‹†Žº –ØŒÒ ‰ëÍ
ƒ}ƒCƒNƒEƒiƒmƒƒJƒgƒƒjƒNƒXŒ¤‹†Žº ¬¼ ‘
MEMSî•ñ’ʐMŒ¤‹†Žº —é–Ø Œ’ˆê˜Y
ƒŠƒYƒ€HŠwŒ¤‹†Žº “¿“c Œ÷
ƒ}ƒCƒNƒƒfƒUƒCƒ“EƒGƒ“ƒWƒjƒAƒŠƒ“ƒOŒ¤‹†Žº ’¹ŽR Žõ”VE¼’Ë ’¼Ž÷
’m”\ƒ}ƒCƒNƒƒVƒXƒeƒ€Œ¤‹†Žº ‹{–ì ®Æ
 
‚±‚̃y[ƒW‚̃gƒbƒv‚Ö