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MICRO NANO SYSTEM
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MEMS情報通信研究室

教員 鈴木 健一郎 教授
学位 工学博士
連絡先 ksuzuki (at) se.ritsumei.ac.jp (at) を@に変えてください
研究内容 ワイヤレス集積機械回路の研究

■ 研究の概要

ワイヤレスの世界へ!
微小電気機械システム(MEMS)技術を展開した,無線・光コンポーネントの研究開発を行っています. この研究は,将来に,マイクロ領域における電磁波と機械振動を融合させた新規研究領域の開拓につながると期待できます. この研究によって,移動体ワイヤレス通信およびセンシングシステムの高機能化が実現でき,次世代のユビキタスネットワーク社会の基盤構築に寄与することを期待しています.

フェーズドアレイアンテナ 集積化MEMSスイッチ MEMS共振器

■ 最近の研究業績

1. M. Okada, H. Nagasaki, A. Tamano, K. Niki, H. Tanigawa, and K. Suzuki, "Silicon Beam Resonator Utilizing the Third Bending Mode" Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 48, 06FK03, pp1-8, 2009
2. T. Ishino, S. Makita, H. Tanigawa, and K. Suzuki,, "Characteristics of Three-Dimensional Resonant Vibration in a MEMS Silicon Beam Resonator" 電気学会論文誌 (近日出版)
3. Resonator, Phased-shifterの研究2件: 2009 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (2009年11月発表)
4. Switch, Antenna, Filter, Resonatorの研究6件: the 26th Sensor Symposium (2009年10月発表)
5. 鈴木健一郎: RF-MEMSの設計と製作技術、リアライズ理工センター(平成18年6月30日)
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