マイクロ振動輸送 Heads: 平井　慎一 Contact: 三谷　篤史 Date: 2002〜 Mailing address: 立命館大学ロボティクス学科 〒525-8577　滋賀県草津市野路東1-1-1 Supported by: Associated lab/group:杉山研究室(マイクロ機械システム工学科)

研究内容

本プロジェクトの目的は，チップコンデンサやチップ抵抗などのマイクロパーツの振動輸送を実現することである．非対称な表面(のこぎり歯表面)と対称な振動(正弦波)により，マイクロパーツの一方向の輸送を実現する．慣性力，摩擦力，凝着力，静電力を考慮したマイクロパーツのダイナミクスの解析を進める．

マイクロパーツの輸送

選択的輸送 (あるパーツは動き，それ以外は動かない)

担当

	名前	学年	学位
	三谷　篤史	札幌市立大学 講師	工学博士
	Le Hoai Phuong	D2	工学修士
	吉村　俊厚	Graduated	工学修士
	菅野　直人	Graduated	工学修士
	三浦　江哉	Graduated
	内田　光	Graduated
	辻　秀也	Graduated

研究発表

• Phuong Hoai Le, Thien Xuan Dinh, Atsushi Mitani, and Shinichi Hirai, A Study on the Motion of Micro-Parts on a Saw-Tooth Surface by the PTV Method, Journal of System Design and Dynamics, Vol.6, No.1, pp.73-80, 2012
• Atsushi Mitani and Shinichi Hirai, Submillimeter Micropart Feeding Along an Asymmetric Femtosecond-Laser-Microfabricated Surface, Int. J. of Automation Technology, Vol.3, No.2, pp.151-156, 2009
• 三谷 篤史, 平井 慎一, のこぎり歯形形状を有する表面によるマイクロパーツの輸送 (計測データに基づく接触モデルの定式化と凝着力の解析), 日本機械学会論文誌C編, Vol.75, No.752, pp.942-949, 2009
• 三谷 篤史, 平井 慎一, フェムト秒レーザ・ダブルパルス加工による非対称表面を用いたマイクロパーツの輸送, 日本機械学会論文集C編, Vol.75, No.759, pp.3267-3275, Dec., 2009
• Atsushi Mitani, Toshiatsu Yoshimura, and Shinichi Hirai, Feeding of Submillimeter-sized Microparts along a Saw-tooth Surface using only Horizontal Vibration: Effects of saw-tooth pitch, vibration frequency and humidity, International Journal of Automation Technology, Vol.1, No.1, pp.27-34, Sept., 2007
• 三谷篤史, 菅野直人, 平井慎一, のこぎり歯形形状を有する表面によるマイクロパーツの輸送 (マイクロパーツの輸送におけるダイナミクスの定式化), 日本機械学会論文誌C編, Vol.73, No.725, pp.114-121, Jan., 2007
• Atsushi Mitani, Naoto Sugano, and Shinichi Hirai, Microparts Feeding by a Saw-Tooth Surface, IEEE/ASME Transactions on Mechatronics, Vol.11, No.6, pp.671-681, Dec., 2006
• 三谷篤史, 菅野直人, 平井慎一, のこぎり歯形形状を有する表面によるマイクロパーツの輸送, 日本機械学会論文誌C編, Vol.71, No.704, pp.1169-1176, April, 2005

• Atsushi Mitani and Shinichi Hirai, Feeding Submillimeter Microparts Using An Asymmetric Fabricated Surface With Symmetric Vibrations: Effects of Feeder Surface Materials on Feeding, Int. Conf. on Material, Mechatronics and Automation (ICMMA2011), Melbourne, Australia, Jan. 16-17, 2011
• Phuong Hoai Le, Thien Xuan Dinh, Atsushi Mitani, and Shinichi Hirai, Measurement of the Motion of Micro-Parts on a Vibratory Surface, International Tribology Conference, Hiroshima, Japan, Oct. 30 - Nov. 3, 2011
• Phuong Hoai Le, Thien Xuan Dinh, Atsushi Mitani, and Shinichi Hirai, A Study on the Motion of Micro-parts on a Saw-tooth Surface by the PTV Method, Proc. ASME 2011 Int. Mechanical Engineering Congress @publications@ Exposition (IMECE2011), Nov. 11-17, 2011, Denver, Colorado, USA
• Atsushi Mitnai and Shinichi Hirai, Evaluation of Asymmetric Surfaces by Femtosecond Laser Process for Microparts Feeding, Proc. World Tribology Congress 2009, Kyoto, Japan, Sept.6-11, 2009
• Atsushi Mitani and Shinichi Hirai, Application of Asymmteric Surface Fabricated by Femtosecond Laser Process for Microparts Feeding, SPIE International Symposium on Optomechatronic Technologies (ISOT 2008), Nov. 17-19, San Diego, U.S.A., 2008
• Atsushi Mitani, Hideya Tsuji, Toshiatsu Yoshimura, and Shinichi Hirai, Feeding of Submillimeter Microparts Along an Asymmetric Surface Microfabricated by Femtosecond Laser Process, IEEE/RSJ Int. Conf. on Intelligent Robots and Systems (IROS 2008), Nice, France, Sept., 2008
• Atsushi Mitani, Toshiatsu Yoshimura, and Shinichi Hirai, Feeding of Submillimeter Microparts Along an Asymmetric Fabricated Surface by Double-Pulsed Femtosecond Laser Process, Third Asia International Symposium on Mechatronics (AISM2008), Sapporo, August 27-31, 2008
• Atsushi Mitani and Shinichi Hirai, Analysis of Contact between Feeder Surface and Microparts Based on Measurements for Microparts Feeder Using an Asymmetric Surface, 2008 IEEE Conf. on Automation Science and Engineering, pp.720-725, Washington D.C., U.S.A., Aug. 23-26, 2008
• Atsushi Mitani, Toshiatsu Yoshimura, and Shinichi Hirai, Feeding of Submillimeter-Sized Microparts Along a Saw-Tooth Surface Using Only Horizontal Vibration: Analysis of Convexities on the Surface of Microparts, The 3rd annual IEEE Conference on Automation Science and Engineering (CASE 2007), pp.69-76, Scottsdale, Arizona, USA, Sept 22-25, 2007
• Atsushi Mitani, Toshiatsu Yoshimura, and Shinichi Hirai, Feeding of Submillimeter-sized Microparts along a Saw-tooth Surface using only Horizontal Vibration, 2007 IEEE/ASME Int. Conf. on Advanced Intelligent Mechatronics (AIM2007), pp.-, ETH Zurich, Switzerland, Sept. 4-7, 2007
• Atsushi Mitani, Toshiatsu Yoshimura, and Shinichi Hirai, Feeding of Submillimeter-sized Microparts along a Saw-tooth Surface using only Horizontal and Symmetric Vibration, JSME-KSME Joint International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology (ICMDT2007), Sapporo, Japan, July 1-4, 2007
• Atsushi Mitani, Naoto Sugano, and Shinichi Hirai, Micro-Parts Feeding by a Saw-tooth Surface, Proc. IEEE Int. Conf. on Robotics and Automation, pp.837-843, Barcelona, April, 2005

• 三谷 篤史, 平井 慎一, 非対称形状表面によるマイクロパーツの対称振動輸送 第8報 フィーダ表面の材質が輸送特性におよぼす影響の検証, 計測自動制御学会システムインテグレーション部門学術講演会, pp.2016-2019, 仙台, Dec. 23-25, 2010
• 三谷 篤史, 平井 慎一, フェムト秒レーザ加工を用いた非対称表面によるマイクロパーツの輸送, ロボティクスシンポジア予稿集, pp.503-508, 2009
• 三谷 篤史, 平井 慎一, 非対称形状表面によるマイクロパーツの水平対称振動輸送 -フェムト秒レーザ加工表面を用いた輸送におけるダイナミクスの解析-, ロボティクス・メカトロニクス'09講演会予稿集CD-ROM, Fukuoka, May, 2009
• 三谷　篤史, 辻　秀也, 平井　慎一, 非対称な形状を有する表面によるサブミリサイズマイクロパーツの水平対称振動輸送 - フェムト秒レーザ・ダブルパルス加工表面とマイクロパーツの接触解析 -, ロボティクス・メカトロニクス'08講演会予稿集CD-ROM, Nagano, June, 2008
• 三谷 篤史, 吉村 俊厚, 平井 慎一, のこぎり歯形状を有する表面によるサブミリサイズマイクロパーツの水平対称振動輸送 - フィーダ表面における摩擦の方向性に関する検証 -, 精密工学会秋季大会, 仙台, Sept., 2008
• 三谷 篤史, 平井 慎一, 非対称形状表面によるマイクロパーツの対称振動輸送 第7報:フェムト秒レーザ加工表面の最適化に関する検証, 計測自動制御学会システムインテグレーション部門学術講演会, pp.195-196, 2008
• 三谷篤史, 吉村俊厚, 平井慎一, 二宮孝文, のこぎり歯形状を有する表面によるマイクロパーツの輸送 - 第６報　フェムト秒レーザ加工表面を用いた微小パーツの輸送に関する検討 -, 計測自動制御学会システムインテグレーション部門学術講演会, pp.1310-1311, 2007
• 三谷篤史, 吉村俊厚, 平井慎一, のこぎり歯形状を有する表面によるサブミリサイズマイクロパーツの水平対称振動輸送 - パーツの回転による輸送速度の低下に関する解析 -, ロボティクス・メカトロニクス'07講演会予稿集CD-ROM, 2007
• 三谷篤史, 吉村俊厚, 平井慎一, のこぎり歯形状を有する表面によるマイクロパーツの対称振動輸送 - パーツサイズの違いが輸送に及ぼす影響 -, 精密工学会春季大会学術講演会予稿集, pp.423-424, 2007
• 三谷篤史, 菅野直人, 平井慎一, のこぎり歯形状を有する表面によるマイクロパーツの輸送 - のこぎり歯のピッチが輸送に及ぼす影響 -, 精密工学会春季大会学術講演会予稿集, pp.913-914, 2006
• 三谷篤史, 菅野直人, 平井慎一, のこぎり歯表面による振動輸送におけるマイクロパーツのダイナミクス, 第24回日本ロボット学会学術講演会予稿集CD-ROM, 2006
• 三谷篤史, 吉村俊厚, 平井慎一, のこぎり歯形状を有する表面によるマイクロパーツの輸送 - 第5報　より微小なワークの輸送における駆動条件の検討 -, 計測自動制御学会システムインテグレーション部門学術講演会, pp.796-797, 2006
• 菅野直人, 三谷篤史, 平井慎一, のこぎり歯形状を有する表面によるマイクロパーツの輸送 - 第4報　輸送条件の最適化に関するシミュレーション -, 計測自動制御学会システムインテグレーション部門学術講演会, pp.255-256, 2005
• 三谷篤史, 菅野直人, 平井慎一, のこぎり歯形状を有する表面によるマイクロパーツの輸送 - 第3報　輸送のダイナミクス -, 計測自動制御学会システムインテグレーション部門学術講演会, pp.253-254, 2005
• 菅野直人, 三谷篤史, 平井慎一, のこぎり歯形状を有する表面によるマイクロパーツの輸送, ロボティクス・メカトロニクス'05講演会予稿集CD-ROM, 2005
• 菅野直人, 三谷篤史, 平井慎一, のこぎり歯形状を有する表面によるマイクロパーツの輸送　第2報　マイクロパーツの振動輸送実験, 計測自動制御学会システムインテグレーション部門学術講演会, pp.697-698, 2004
• 三谷篤史, 菅野直人, 平井慎一, のこぎり歯形状を有する表面によるマイクロパーツの輸送　第1報　一方向輸送の原理, 計測自動制御学会システムインテグレーション部門学術講演会, pp.695-696, 2004

参考資料

フェムト秒レーザ加工表面上の輸送 (WMV 2.6MB)

2012チップコンデンサの輸送 (正方向) (MPEG 0.9MB)

2012チップコンデンサの輸送 (負方向) (MPEG 0.7MB)

選択的輸送 (左:コンデンサ 右:シリコン) (MPEG 1.7MB)

選択的輸送 (左:コンデンサ 右:シリコン) (MPEG 1.2MB)

関連サイト

• (株)ディスコ
• キヤノンマシナリー(株)