2001年度　修士論文公聴会プログラム

発表時間：17分（発表 12分，質疑応答 5分）　一鈴:10分，二鈴:11分30秒，三鈴:12分，四鈴:17分

時　間	タ　イ　ト　ル	発　表　者	研究室
9:00 - 9:17	摩擦特性可制御機械拘束デバイス	新井　和繁	小西研（司会：小西研）
9:17 - 9:34	静電吸着制御型圧電インチワーム機構を用いたX-Yリニアアクチュエータに関する研究	澤井　拓彦	〃
9:34 - 9：51	鉛直動作マイクロアクチュエータ	吉藤　健次	〃
9:51 - 10:08	流量制御機構を備えた非接触マイクロ搬送システム	田中　伸治	〃
10:08 - 10:25	MEMSにおけるマイクロメカニカルラッチの利用	永井　浩太郎	〃
10:25 - 10:42	特性可変音響素子の組み合わせによるチューナブル音響フィルタに関する研究	羽室　康明	〃
10:42 - 10:59	メカトロニクスリレーによる多段櫛歯型静電マイクロアクチュエータ	福枡　恵一郎	〃
10:59 - 11:16	インクジェットプリンティング手法に基づくマイクロデバイス構造形成技術の確立	味波　勲	〃
11:16 - 12:30	昼休み
12:30 - 12:47	LIGAプロセスによる高アスペクト比微細構造体の製作プロセスに関する研究	川瀬　和典	杉山研（司会：小西研）
12:47 - 13:04	レシプロエンジン型マイクロパワージェネレータの試作に関する研究	仲野　聡	〃
13:04 - 13:21	ピエゾ抵抗型4自由度触覚センサの開発に関する研究	西嶋　洋一	〃
13:21 - 13:38	LIGAプロセスによるパーマロイ高周波厚膜磁心の製作に関する研究	深川　雅史	〃
13:38 - 13:55	シリコンナノワイヤーブリッジの製作とそのピエゾ抵抗測定に関する研究	船井　大輔	〃
13:55 - 14:12	UV厚膜レジストを用いた導波路アレイ型光スイッチ用ミラーの製作に関する研究	松井　洋文	〃
14:12 - 14:29	ポリシリコン・メタルサーモパイルを用いたマイクロパワージェネレータの試作に関する研究	矢島　正一	〃
14:29 - 14:45	休　憩
14:45 - 15:02	3次元微細加工技術を用いた自励振動高分子ゲル繊毛アクチュエータに関する研究	青木　伸太郎	田畑研（司会：杉山研）
15:02 - 15:19	プラスチック成形を用いたμTASチップに関する研究	榎並　健一	〃
15:19 - 15:36	ポリイミドおよびシリコン窒化膜メンブレンを用いたLIGAマスクに関する研究	小西　康允	〃
15:36 - 15:53	μTASチップの接合に関する研究	柴田　伸介	〃
15:53 - 16:10	移動マスクX線リソグラフィーにおける最適マスク移動パターン決定手法に関する研究	松塚　直樹	〃
16:10 - 16:27	形状記憶合金薄膜を用いたデバイスの製作と応用に関する研究	吉川　弥	〃
16:27 - 16:44	移動マスクX線リソグラフィーのマイクロレンズ加工への応用に関する研究	山路　忠寛	〃
16:44 -	総　評