M2修論発表プログラム

研究室	発表時間	発表題目	発表者
小西研	10:00～10:20	非接触搬送システムによる物体マニピュレーション	浦田直紀
	10:20～10:40	バイオインタフェース用マイクロチャンネルアレイ	江崎隆博
	10:40～11:00	マイクロパラレルリニアアクチュエータシステム	大野和幸
	11:00～11:20	神経インタフェースのための接触制御用カフアクチュエータ	小林大造
	11:20～11:40	高アスペクト比構造を用いた低Ｇ用静電容量型加速度センサ	疋田雄児
	11:40～12:40	休憩
杉山研	12:40～13:00	LIGAプロセスによる高アスペクト比高周波厚膜磁心の製作に関する研究	瀧本晋輔
	13:00～13:20	シリコンナノワイヤピエゾ抵抗素子の製作と特性評価に関する研究	谷本靖忠
	13:20～13:40	シンクロトロン放射光を用いた三次元微細エッチングに関する研究	西　信嘉
	13:40～14:00	UV厚膜レジストを用いた高密度実装用マイクロコネクタの製作に関する研究	横山好彦
田畑研	14:00～14:20	可変剛性積層フィルム構造体とアクチュエータへの応用に関する研究	伊藤雄一
	14:20～14:40	振動式加速度センサに関する研究	倉嶋毅尚
	14:40～15:00	XeF2エッチングに関する研究	菅野公二
	15:00～15:15	総評