卒業論文公聴会

時間	発表題目	発表者
14：40～ 14：50	SR光を用いたSi-Si常温接合	秋岡貴生
14：50～ 15：00	犠牲層を用いたLIGAプロセスのための現像液開発に関する研究	今村栄司
15：00～ 15：10	単結晶シリコンのピエゾ抵抗効果測定のための多軸ひずみゲージの製作に関する研究	大澤健一
15：10～ 15：20	AICMICSを用いたアナログ回路の試作とマイクロ力学量センサへの応用	小林孝幸
15：20～ 15：30	LIGAプロセスによる高周波厚膜磁心の為の高アスペクト比構造形成に関する研究	鈴木章洋
15：30～ 15：40	単結晶シリコンを用いた４端子ピエゾ抵抗素子の製作とせん断応力測定に関する研究	田中賢太
15：40～ 15：50	マイクロバルブに用いる小型圧電アクチュエータの特性評価に関する研究	三谷公洋
15：50～ 16：00	MICSを用いた静電型マイクロフォンの製作に関する研究	村山由香里
16：00～ 16：15	総　評