杉山  　進  《略歴》
Professor  Susumu　SUGIYAMA

業 績 データ ・ 略 歴
(立命館大学研究者プロフィール)

■1946年  愛知県名古屋市生まれ

■所属・職名：

立命館大学　立命館グローバル・イノベーション研究機構 (R-GIRO)　教授、工学博士
　　　　〒525-8577 滋賀県草津市野路東1-1-1
　　　　Tel＆Fax: 077-561-2845,  E-mail
　　　　http://www.ritsumei.ac.jp/~sugiyama/index.html

電気学会フェロー、一般社団法人 産業科学技術支援機構 (SORIST) 代表

■学歴・学位：

愛知県立東山工業高等学校卒業、名城大学理工学部電気工学科卒業
工学博士(東京工業大学)

■研究歴・委員歴

1965.4-1995.3 （株）豊田中央研究所
主任研究員　 (1991.10-1995.3)
シリコンデバイス研究室長　 (1992.2-1993.2)
デバイス開発室長　 (1993.2-1995.3)

〔研究内容〕

 ・半導体ひずみゲージ、機械量センサ
・シリコン集積化センサの研究
・半導体パワー素子（SIT）の研究
・マイクロマシニング応用センサの研究
1995.4-至現在 立命館大学　教授　（1995.4-現在）

立命館大学理工学部　教授　（1995.4-2007.3）
　　機械工学科　教授　（1995.4-1996.3）
　　ロボティクス学科　教授　 (1996.4-2004.3)
　　マイクロ機械システム工学科　教授　(2004.4-2007.3)
立命館大学　COE推進機構　教授　（2007.4-2008.3）
立命館大学　立命館ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙ･ｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝ研究機構 (R-GIRO)　教授　（2008.4-現在）

【以下兼任】

立命館大学SRセンター　副センター長　（兼任1998.4-2002.3）
立命館大学ﾅﾉﾏｼﾝｼｽﾃﾑ技術研究ｾﾝﾀｰ長　（兼任2000.12-2010.12）
　　（旧：ﾏｲｸﾛｼｽﾃﾑ技術研究ｾﾝﾀｰ、現：先端ﾏｲｸﾛ･ﾅﾉｼｽﾃﾑ技術研究ｾﾝﾀｰ）

ナノデバイス・システム研究所　CEO　（2001.4.2-2006.2.28)

文部科学省平成14年度「21世紀COEプログラム」　拠点リーダー(2002.10-2007.3)

（JICA）日本学術振興会/国際協力機構　科学技術専門家（スリランカ派遣）　（2009.9-2011.3）
（NEDO）技術研究組合　BEANS研究所　主席研究員　（2010.4-2011.3）
（NEDO）技術研究組合　NMEMS研究機構　上席主幹研究員　（2011.9-2013.3）

エレクトロニクス実装学会　理事　（2007.5-2011.5　2009.5-2011.5：常務理事）
電気学会　理事、センサ・マイクロマシン部門長　（2008.5-2010.5、2011.5-現在：電気学会フェロー）

"Sensors and Materials" (MYU K.K., Tokyo) 編修委員長　(1995.5-2012)

上海交通大学　招待教授　（2005.12-2012.5）
早稲田大学　客員教授　（2007.4-2010.4）

〔研究内容〕

 ・シンクロトロン放射光応用マイクロマシニングの研究
・マイクロセンサ・アクチュエータ・システムの研究

　

■所属学会

IEEE、電気学会、エレクトロニクス実装学会、応用物理学会、日本機会学会、日本ロボット学会

■受賞歴・表彰歴

1992.11 日刊工業新聞社第8回技術・科学図書文化賞優秀賞　受賞　(「ﾏｲｸﾛﾏｼｰﾆﾝｸﾞとﾏｲｸﾛﾒｶﾄﾛﾆｸｽ」)
1993. 9 R&D 100 Award　受賞 （"Thin Film Young's Modulus Measurement Apparatus", selected as one of the 100 Most Technologically Significant New Products of the Year, by R&D Magazine, USA）
2000. 5 電気学会優秀技術活動賞特別賞　受賞　（ﾏｲｸﾛﾏｼﾆﾝｸﾞ･ﾏﾙﾁﾁｯﾌﾟｻｰﾋﾞｽ協同研究活動）
2002.10 MHS2002(IEEE)最優秀論文賞　受賞　("100nm Square Single Crystal Silicon Shear Strain Gauge")
2003.10 MHS2003(IEEE)最優秀論文賞　受賞　（"Design and Fabrication of Flexible Thermopile for Power Generation")
2004. 4 平成16年度文部科学大臣賞(研究功績者) 受賞　(「シンクロトロン放射光マイクロ・ナノマシニング技術の研究」)
2007.10 電気学会「第24回ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝと応用ｼｽﾃﾑｼﾝﾎﾟｼﾞｳﾑ」最優秀ポスター賞　受賞 ("Blood Separattion Device Using Capillary Phenomenon"「毛細管現象を用いた血液分離デバイスの製作および評価」)
2008.11 MHS2008（IEEE)最優秀論文賞　受賞　("Micro Ratcheting Transmission Systems Based on Electrostatic Actuator")
2009.11 (社)日本分析化学会　「東京コンファレンス2009」最優秀ポスター賞　受賞
2011.5 電気学会フェローの称号　授与
2012.5 電気学会　平成24年第21回業績賞　受賞
2012.8 山田啓二　京都府知事より　「感謝状」　授与　（京都府中小企業特別技術指導員として中小企業の技術課題の解決や研究開発の向上に尽力）


■研究業績

【主な研究論文及び著書】

[1] 杉山進, 山下士郎, 船橋博文, 島岡敬一, 瀧川光治, 五十嵐伊勢美: ワンチップ集積化圧力センサ電気学会論文誌C, Vol.109-C, No.12, pp.855-861, 1989
[2] 杉山進, 川畑賢, 船橋博文, 瀧川光治, 五十嵐伊勢美: CMOS処理回路を内蔵した32×32（１k）圧力センサアレー, 電気情報通信学会論文誌C, Vol.J 74-C-II, No.5, pp.411-420, 1991
[3] 江刺正喜, 藤田博之, 五十嵐伊勢美, 杉山進: 「マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス」, 培風館, 1992
[4] Susumu Sugiyama, Keiichi Shimaoka and Osamu Tabata: Surface-Micromachined Microdiaphragm Pressure Sensors, Sensors and Materials, Vol.4, No.5, pp.265-275, 1993
[5] Masayoshi Esashi, Susumu Sugiyama, Kyouichi Ikeda, Yuelin Wang and Haruzo Miyashita: Vacuum-Sealed Silicon Micromachined Pressure Sensors, Proceedings of the IEEE, Vol.86, No.8, pp.1627- 1639 ,1998

【研究成果】

　・拡散形半導体圧力センサを発表 (1970年)
　・自動車搭載の基礎となるシリコン圧力センサを発表（1975年）
　・圧力センサとＩＣが一体化した集積化圧力センサを発表 (1983年)
　・世界最小(受圧面80μm角)のマイクロ圧力センサを発表 (1986年)
　・圧力センサを1024個集積した圧力センサアレーを発表  (1987年)

業績データ・略歴 (立命館大学研究者プロフィール)