杉山  　進  《略歴》
Professor  Susumu　SUGIYAMA

業 績 データ ・ 略 歴
(立命館大学研究者プロフィール)

■1946年  愛知県名古屋市生まれ

■所属・職名：

立命館大学　立命館グローバル・イノベーション研究機構　教授、工学博士
　　　　〒525-8577 滋賀県草津市野路東1-1-1
　　　　Tel＆Fax: 077-561-2845,  E-mail
　　　　http://www.ritsumei.ac.jp/~sugiyama/index.html

電気学会フェロー、エレクトロニクス実装学会常務理事、（NEDO）技術研究組合NMEMS研究機構　上席主幹研究員、上海交通大学　招待教授

■学歴・学位：

愛知県立東山工業高等学校卒業、名城大学理工学部電気工学科卒業
工学博士(東京工業大学)

■研究歴

1965.4-1995.3 （株）豊田中央研究所
主任研究員　 (1991.10-1995.3)
シリコンデバイス研究室長　 (1992.2-1993.2)
デバイス開発室長　 (1993.2-1995.3)

〔研究内容〕

 ・半導体ひずみゲージ、機械量センサ
・シリコン集積化センサの研究
・半導体パワー素子（SIT）の研究
・マイクロマシニング応用センサの研究
1995.4-至現在 立命館大学　教授　（1995.4-現在）

立命館大学理工学部　教授　（1995.4-2007.3）
　　機械工学科　教授　（1995.4-1996.3）
　　ロボティクス学科　教授　 (1996.4-2004.3)
　　マイクロ機械システム工学科　教授　(2004.4-2007.3)
立命館大学　COE推進機構　教授　（2007.4-2008.3）
立命館大学　立命館ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙ･ｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝ研究機構　教授　（2008.4-現在）

（兼任）
立命館大学SRセンター　副センター長　（兼任1998.4-2002.3）
立命館大学ﾅﾉﾏｼﾝｼｽﾃﾑ技術研究ｾﾝﾀｰ長　（兼任2000.12-2010.12）
　　（旧：ﾏｲｸﾛｼｽﾃﾑ技術研究ｾﾝﾀｰ、現：先端ﾏｲｸﾛ･ﾅﾉｼｽﾃﾑ技術研究ｾﾝﾀｰ）

ナノデバイス・システム研究所　CEO　（2001.4.2-2006.2.28)
文部科学省平成14年度「21世紀COEプログラム」　拠点リーダー(2002.10-2007.3)
（JICA）日本学術振興会/国際協力機構　科学技術専門家（スリランカ派遣）　（2009.9-2011.3）
（NEDO）技術研究組合　BEANS研究所　主席研究員　（2010.4-2011.3）
（NEDO）技術研究組合　NMEMS研究機構　上席主幹研究員　（2011.9-現在）

エレクトロニクス実装学会　理事　（2007.5-2011.5　2009.5-現在：常務理事）
電気学会　理事、センサ・マイクロマシン部門長　（2008.5-2010.5、2011.5-現在：電気学会フェロー）

上海交通大学　招待教授　（2005.12-現在）
早稲田大学　客員教授　（2007.4-2010.4）

〔研究内容〕

 ・シンクロトロン放射光応用マイクロマシニングの研究
・マイクロセンサ・アクチュエータ・システムの研究

■受賞歴・表彰歴

　1992.11　　日刊工業新聞社第8回技術・科学図書文化賞優秀賞　受賞　(「ﾏｲｸﾛﾏｼｰﾆﾝｸﾞとﾏｲｸﾛﾒｶﾄﾛﾆｸｽ」)
　1993. 9　　　R&D 100 Award　受賞 （"Thin Film Young's Modulus Measurement Apparatus", selected as
　 　　　　　　　　one of the 100 Most Technologically Significant New Products of the Year, by R&D Magazine, USA）
　2000. 5　　電気学会優秀技術活動賞特別賞　受賞　（ﾏｲｸﾛﾏｼﾆﾝｸﾞ･ﾏﾙﾁﾁｯﾌﾟｻｰﾋﾞｽ協同研究活動）
　2002.10　　MHS2002(IEEE)最優秀論文賞　受賞　("100nm Square Single Crystal Silicon Shear Strain Gauge")
　2003.10　　MHS2003(IEEE)最優秀論文賞　受賞　（"Design and Fabrication of Flexible Thermopile for Power Generation")
　2004. 4　　平成16年度文部科学大臣賞(研究功績者) 受賞　(「シンクロトロン放射光マイクロ・ナノマシニング技術の研究」)
　2007.10　　電気学会「第24回ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝと応用ｼｽﾃﾑｼﾝﾎﾟｼﾞｳﾑ」最優秀ポスター賞　受賞
　　　　　　　　("Blood Separattion Device Using Capillary Phenomenon"「毛細管現象を用いた血液分離デバイスの製作および評価」)
　2008.11　　MHS2008（IEEE)最優秀論文賞　受賞　("Micro Ratcheting Transmission Systems Based on Electrostatic Actuator")

■研究業績

【主な研究論文及び著書】















[1]杉山進, 山下士郎, 船橋博文, 島岡敬一, 瀧川光治, 五十嵐伊勢美: ワンチップ集積化圧力センサ電気学会論文誌C, Vol.109-C, No.12, pp.855-861, 1989

[2]杉山進, 川畑賢, 船橋博文, 瀧川光治, 五十嵐伊勢美: CMOS処理回路を内蔵した32×32（１k）圧力センサアレー, 電気情報通信学会論文誌C, Vol.J 74-C-II, No.5, pp.411-420, 1991

[3]江刺正喜, 藤田博之, 五十嵐伊勢美, 杉山進: 「マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス」, 培風館, 1992

[4]Susumu Sugiyama, Keiichi Shimaoka and Osamu Tabata: Surface-Micromachined Microdiaphragm Pressure Sensors, Sensors and Materials, Vol.4, No.5, pp.265-275, 1993

[5]Masayoshi Esashi, Susumu Sugiyama, Kyouichi Ikeda, Yuelin Wang and Haruzo Miyashita: Vacuum-Sealed Silicon Micromachined Pressure Sensors, Proceedings of the IEEE, Vol.86, No.8, pp.1627- 1639 ,1998

【研究成果】

　・拡散形半導体圧力センサを発表 (1970年)
　・自動車搭載の基礎となるシリコン圧力センサを発表（1975年）
　・圧力センサとＩＣが一体化した集積化圧力センサを発表 (1983年)
　・世界最小(受圧面80μm角)のマイクロ圧力センサを発表 (1986年)
　・圧力センサを1024個集積した圧力センサアレーを発表  (1987年)

業績データ・略歴 (立命館大学研究者プロフィール)