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Theses of Sugiyama Lab. (Dr.&Master&Bachelor)
杉山研 卒業論文・修士論文・博士論文
<2003-2006年度:杉山・田中研究室>
<2002-2006:文部科学省21世紀COEプログラム拠点研究室>

年度(FY) : 2012 ・ 201120082007 ・ 2006 ・ 2005 ・ 2004 ・ 20032002
   
200120001999 1998 1997 1996 1995   

DrMasterBachelor

2012年度

   氏 名 論 題 備 考
博士論文 田中 雄介
(社会人Dr)
Tanaka
貫通孔を有する穿刺用超音波探触子の基礎特性と針先端の検出原理に関する研究
Studies on Basic Properties of Ultrasonic Probes with a Through-Hole and on the Detection Principle of the Needle Tip
2013.3. 博士(工学)取得
(平井研)

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2011年度

   氏 名 論 題 備 考
博士論文 BUI, Thanh Tung Study on Strain Sensing Effect in Silicon Photonic Crystal Nanocavities
シリコンフォトニック結晶ナノキャビティのひずみセンシング効果に関する研究
2011.9.25 博士(工学)取得
(杉山研)
博士論文 天谷 諭
(社会人Dr)
Amaya
インプリント成形を用いた可動構造を有するポリマーMEMSの製作技術に関する研究
Study on Fabrication Process of Polymer MEMS with Movable Structures Utilizing Hot Embossing
2011.9.25 博士(工学)取得
(杉山研)
研究論文 田中 雄介Tanaka 医療用貫通型超音波探触子の基礎特性と針の検出原理
Basic Properties and Detection Principle of an Ultrasonic Probe with Through Hole for Medical Applications
2012.3.31 一貫性博士課程(フロンティア理工学専攻)単位取得
(杉山研)
就職先 (独)産業技術総合研究所 (AIST)、TOWA梶Aジャパンプローブ

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2008年度

   氏 名 論 題 備 考
博士論文 洞出 光洋
Horade
シンクロトロン放射光を用いた三次元微細構造体形成に関する研究
Study on Three-Dimensional Microstructures Fabricated by Using Synchrotron Radiation
'09.3.31博士(工学)取得
(鳥山研)よければ見てください
博士論文 木内 万里夫
Kiuchi
MEMS技術を援用したFIB-CVDカーボンナノワイヤのマルチフィジックス特性評価に関する研究
Mechanical and Electrical Evaluations of FIB-CVD Carbon Nanowire Using MEMS Device
'09.3 31博士(工学)取得
(杉山研)
博士論文 加藤 史樹
Katoh
シンクロトロン放射光を用いたサブミクロン構造体の製作と その光学応用に関する研究
Study on Fabrication of Submicrometer Structures Using Synchrotron Radiation Lithography for Optical Applications
'09.3.31博士(工学)取得
(杉山研)
博士論文 LE, Nam Cao Hoai Development of Microfabricated Total Internal Reflection (TIR)‐based Devices for Fluorescence Imaging
マイクロ加工による蛍光観察用全反射型デバイスの開発
'09.3.31博士(工学)取得
(鳥山研)
修士論文 万田 純裕
Manta
誘電泳動と交流電気浸透流を用いたλDNA分子の操作技術に関する研究 (宮野研)
修士論文 高島 勇希
Takashima
柔軟物体対応触覚センサの開発に関する研究 (宮野研)
修士論文 稲葉 清士
Inaba
超小型ピエゾ3軸加速度センサに関する研究 (小西研)
修士論文 大嶽 知則
Ohtake
流体式多軸慣性センサの開発に関する研究 (小西研)
修士論文 佐々 瑛
Sasa
SR放射光に対するPDMS吸収特性を利用した加工技術の開発
Study on Development of the Fabrication Method Using the PDMS Absorbing Characteristic to Synchrotron Radiation
(木股研)
修士論文 千川 啓
Senkawa
静電駆動型マイクロ搬送システムの高機能化に関する研究 (鈴木研)
修士論文 中澤 忠貴
Nakazawa
小型フォースモーメントセンサを用いたジョイスティックの開発に関する研究 (鈴木研)
修士論文 古市 卓
Furuichi
PZT形状記憶効果の基礎特性に関する研究 (鳥山研)
就職先 (独)日本学術振興会(特別研究員)>>名古屋大学大学院理学研究科生命理学 ERATO東山ライブホロニクスプロジェクト 研究員、(独)産業技術総合研究所、住友精密工業梶ABiomedical Diagnostics Inst., Dublin City Univ., Ireland>>CSIRO, Australia、大日本スクリーン製造梶Aトヨタ自動車梶Aトヨタ紡績梶Aパナソニック梶A本田技研工業梶A三菱鉛筆梶A椛コ田製作所

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2007年度

   氏 名 論 題 備 考
博士論文 PHAM, Phuc Hong Study on Micro Transportation Systems Based on Electrostatic Actuators Utilizing Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) Technology
MEMS技術を用いた静電アクチュエータに基づくマイクロ搬送システムに関する研究
07.9.25博士(工学)取得
修士論文 相田冨実二
Aita
毛管カラムを用いた血球分離デバイスの開発に関する研究 (木股研)
修士論文 梶田 俊輔
Kajita
シンクロトロン放射光を用いたマスクレス三次元リソグラフィーに関する研究Study on Mask-less 3-D Lithography Utilizing Synchrotron Radiation (鈴木研)
修士論文 酒井 麻光
Sakai
ピエゾ抵抗効果を用いた超小型3軸加速度センサの開発に関する研究 (高野研)
修士論文 坂本 竜平
Sakamoto
圧電駆動型バルブレスマイクロジェットポンプの開発に関する研究 (鳥山研)
修士論文 通堂 真
Tsuudou
シンクロトロン放射光によるPTFEの三次元微細構造体の製作に関する研究Study on Fabrication of 3-D PTFE Microstructures Utilizing Synchrotron Radiation (宮野研)
修士論文 宮岡 明寛
Miyaoka
フレキシブルサーモパイルジェネレータの製作に関する研究 (小西研)
論文(M2') BUI, Thanh Tung 3-Degree of Freedom Piezoresistive Accelerometer with Wireless Readout (鳥山研)
論文(F2) 田中 雄介
Tanaka Y.
手術支援用超音波探触子に関する研究 F3進学
就職先 Hanoi Univ. of Technology、アイシン精機(株)、オムロン(株)、(株)島津製作所、(株)デンソー、松下電工(株)、三菱重工業(株)、ベトナム・ハノイ工科大学

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2006年度

       *田中研

   氏 名 論 題 備 考
博士論文 佐々木 昌
(社会人Dr)
Sasaki
サーモパイルを用いた熱式MEMSフローセンサに関する研究
Research on Thermal Type MEMS Flow Sensor Using Thermopile
07.3.31博士(工学)取得
博士論文 YATTOWITA
WITHANAGE,
Ranjith Amarasinghe
Study on Silicon Piezoresistive Multi-Axis Micro Accelerometers
シリコンピエゾ抵抗型マイクロ多軸加速度センサに関する研究
07.3.9博士(工学)取得(乙号)
博士論文 DAU,
Thanh Van
Study on Silicon Thermoresistive Fluidic Inertial Sensors Utilizing Microelectromechanical Ssytems (MEMS) Technology
MEMS技術を用いたシリコン熱抵抗型流体慣性センサに関する研究
07.3.31博士(工学)取得
修士論文 LI, Shipeng Study on Fabrication of Polymer Electrostatic Actuator '06.9修士修了
修士論文 王 強
Wang
Development of Multi-Axis Soft Fingertip Sensor Utilizing Micro Force Moment Sensing Chip ’06.3修士修了
修士論文 李 凌瀚
Li
Research on Semiconductor Type NO2 Gas Sensor Integrated with Micro Heater for SNA-MEMS Chip Dr.進学
(東大)
修士論文 岡村 暁*
Okamura
ピエゾ抵抗素子を用いた500μm角3軸加速度センサの製作に関する研究  
修士論文 田中 俊行
Tanaka T.
毛細管現象を利用した粒子、液体分離技術に関する研究  
修士論文 玉置 宗一朗
Tamaoki
蛍光修飾核酸プローブを用いた低濃度mRNA検出法に関する研究  
修士論文 畑 端佳*
Hata
弾性表面波を用いた一方向性マイクロ流体アクチュエータに関する研究  
修士論文 林田 昌丈*
Hayashida
自然対流を用いた二軸マイクロ熱型加速度センサに関する研究  
修士論文 藤岡 和也
Fujioka
SR光リソグラフィーによるマイクロニードルアレイの製作に関する研究  
修士論文 藤縄 伸哉
Fujinawa
シンクロトロン放射光リソグラフィーによる回折光学素子の製作に関する研究  
修士論文 堀田 雄一
Hotta
シンクロトロン放射光を用いたサブ波長構造製作に関する研究  
修士論文 井出 雅人*
Ide
バルクPb(Zr,Ti)O3を用いた圧電駆動型マイクロポンプの製作に関する研究  
修士論文 土屋 芳城*
Tsuchiya
圧電型焦点可変ミラーデバイスの作製に関する研究  
修士論文 濱ア 良平*
Hamazaki
アルミ薄膜を用いた静電駆動型マイクロミラーデバイスの製作に関する研究  
修士論文 富田 進吾*
Tomita
   
卒業論文 稲葉 清士*
Inaba
超音波センサの医療と防災の応用に関する基礎研究 M進学
卒業論文 大嶽 知則
Ohtake
検出部位にpn接合を用いた熱加速度センサに関する研究 M進学
卒業論文 佐々 瑛
Sasa
シンクロトロン放射光による光学回折格子のバルクPMMA上への製作に関する研究 M進学
卒業論文 千川 啓
Senkawa
静電型アクチュエータとラチェット機構を用いたマイクロコンベアシステムの開発に関する研究 M進学
卒業論文 高島 勇希
Takashima
6軸マイクロフォースモーメントセンサを用いた指先センサの信号処理回路の最適化に関する研究 M進学
卒業論文 辻 和広*
Tsuji
圧電駆動型マイクロポンプの製作に関する研究 M進学
(他大学)
卒業論文 古市 卓*
Furuichi
アルミ薄膜構造体を用いた静電駆動型マイクロミラーデバイスの製作に関する研究 M進学
卒業論文 中澤 忠貴
Nakazawa
ピエゾ抵抗素子を用いた高感度超小型3軸加速度センサの製作に関する研究 M進学
卒業論文 万田 純裕
Manta
単相型IDTによるSAWを用いた一方向性流体アクチュエータに関する研究 M進学
卒業論文 山口 早紀
Yamaguchi
LIGAプロセスによるマイクロニードル製作のための現像温度に関する研究  
卒業論文 西村 航士
Nishimura
誘電泳動法を利用したマイクロ・ナノ微粒子のトラップに関する研究  
就職先 オリンパスメディカルシステムズ(株)、(株)共立メンテナンス、(株)島津製作所、住友重機械工業(株)、セイコーエプソン(株)、(株)ディスコ、(株)デンソー、日東電工(株)、ブラザー工業(株)、本田技研工業(株)、三菱重工業(株)、三菱電機(株)、(株)村田製作所、立命館大学ポストドクトラルフェロー>>パナソニック(株)

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2005年度

          *田中研

  氏 名 論 題 備 考
博士論文 KHUMPUANG, Sommawan Development of Microneedles Fabricated by Synchrotron Radiation Lithography for Bio-medical Applications
バイオメディカル応用のためのSR光リソグラフィーによるマイクロニードルの開発 
06.3.31博士(工学)取得
博士論文 岡田 和廣(社会人Dr)
Okada
MEMS技術を用いた多軸モーションセンサに関する研究
Research of Multi-Axis Motion Sensor Using MEMS Technologies
06.3.31博士(工学)取得
博士論文 積  知範(社会人Dr)
Seki
DC-GHz帯有接点RF-MEMSスイッチ/リレーの研究
Study of Metal-contact RF-MEMS Switch/relay from DC to GHz
06.3.31博士(工学)取得
修士論文 阿部 悠平
Abe
RFID タグ付きセンサネットワークにおけるデータ処理に関する研究  
修士論文 岡田 康宏
Okada
レシプロ型小型内燃機関における間欠燃焼駆動の実証に関する研究  
修士論文 塩ア 真良
Shiozaki
高効率熱電薄膜を用いたフレキシブル熱電発電素子の開発に関する研究  
修士論文 清   優介
Sei
6軸マイクロフォースモーメントセンサを搭載した柔軟接触部を有する4軸指先触覚センサの開発に関する研究  
修士論文 洞出 光洋
Horade
SR光リソグラフィによる高精度三次元微細加工に関する研究 Dr進学
修士論文 小西 隆寛*
Konishi
バルクセラミックスPb(Zr,Ti)O3を用いた圧電型マイクロアクチュエータの作製に関する研究  
修士論文 島津 明宏*
Shimazu
多面型超音波アレイトランスデューサーに関する研究  
論文(F2) 加藤 史樹
Katoh
シンクロトロン放射光リソグラフィにおける超微細マスクパターンによるレジスト加工形状に関する研究 F3進学
卒業論文 相田 冨実二
Aita
検査・分析装置用粒子分離デバイスに関する研究 M進学
卒業論文 伊登 大造*
Itou
自由対流の熱移動に基づく加速度センサの研究  
卒業論文 今井 聡司*
Imai
圧電型形状可変ミラーデバイスに関する研究  
卒業論文 梶田 俊輔
Kajita
SR光を用いた三次元構造体製作における形状予測シミュレーションに関する研究 M進学
卒業論文 河村 俊*
Kawamura
アルミ構造を用いた静電駆動型マイクロミラーデバイスの作製に関する研究  
卒業論文 酒井 麻光*
Sakai
ナノスケールピエゾ抵抗素子を用いた超小型3軸加速度センサの製作 M進学
卒業論文 坂本 竜平*
Sakamoto
圧電型マイクロポンプの製作と駆動特性評価に関する研究 M進学
卒業論文 通堂 真
Tsuudou
LIGAビームライン5および6におけるSR光照射強度とレジスト加工深さの比較に関する研究 M進学
卒業論文 西川 千尋*
Nishikawa
KrFエキシマレーザによる圧電セラミックスの微細加工技術  
卒業論文 宮岡 明寛
Miyaoka
PDMSパッケージングによるフレキシブルサーモパイルジェネレータの製作に関する研究 M進学
卒業論文 西村 航士
Nishimura
  →杉山研'06年度卒
卒業論文 小峰 啓司
Komine
  →宮野研
就職先 オムロン(株)、オリンパス(株)、カシオ計算機(株)、極東貿易(株)、本田技研工業(株)、(株)村田製作所、日本写真印刷(株)、ローム(株)、(株)村田製作所、(株)森精機製作所、杉山研ポスドク研究員>>(独)産業技術総合研究所 (AIST)

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2004年度

          *田中研

  氏 名 論 題 備 考
博士論文 海野 敏典(社会人Dr)
Unno
UV-LIGAプロセスを用いたマイクロコネクタの製作に関する研究
Study on Fabrication of Micro Connector Using UV-LIGA Process
2005.3.31博士(工学)
修士論文 DAU, Van Thanh Integrated Gyro Sensor Based on MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) Technology 2004.9修士修了、Dr.進学
修士論文 遠藤 隆史
Endo
LIGAプロセスによる回折光学素子の製作に関する研究 2005.3
修士論文 小川 潤治
Ogawa
MEMS技術による超小型内燃機関の実証に関する研究 2005.3
修士論文 河田 芳秀
Kawata
SR光を用いたサブ波長格子製作に関する研究 2005.3
修士論文 久瀬 亘*
Kuze
圧電型形状可変ミラーデバイスの研究 2005.3
修士論文 腰越 真知子
Koshigoe
ナノメートルピエゾ抵抗素子を用いた超小形加速度センサの製作に関する研究 2005.3
修士論文 松本 倫人
Matsumoto
LIGAプロセスにおけるNi/ダイヤモンド複合めっきに関する研究 2005.3
卒業論文 浅地 伸洋*
Asaji
静電型マイクロミラーデバイスの設計と製作 M進学*
卒業論文 井出 雅人*
Ide
圧電型マイクロセンサ・アクチュエータ作製のための接合技術とレーザ加工技術 M進学
卒業論文 碓井 泰典
Usui
熱電材料Bi-Teを用いた柔軟構造熱電発電デバイスの開発に関する研究  
卒業論文 岡村 暁*
Okamura
単結晶シリコンナノワイヤーを用いた超小型3軸加速度センサの研究 M進学
卒業論文 木下 浩一*
Kinoshita
Pb(Zr,Ti)O3バルクセラミックスを用いたマイクロアクチュエータの作製  
卒業論文 田中 俊行
Tanaka T.
KrFエキシマレーザーによる微細加工応用に関する研究 M進学
卒業論文 田中 雄介*
Tanaka Y.
内視鏡用超音波トランスデューサの設計に関する研究  
卒業論文 玉置 宗一朗
Tamaoki
OMUpy2-probeを用いた液相型RNA検出チップの製作に関する研究 M進学
卒業論文 土屋 芳城*
Tsuchiya
圧電型形状可変ミラーデバイスの製作に関する研究 M進学
卒業論文 畑 端佳*
Hata
弾性表面波を用いた流体アクチュエータに関する研究 M進学
卒業論文 濱ア 良平*
Hamazaki
アルミ二層構造による静電マイクロミラーデバイスの設計と製作 M進学
卒業論文 林田 昌丈*
Hayashida
シリコンの抵抗熱効果を用いたガスレートジャイロの研究 M進学
卒業論文 藤岡 和也
Fujioka
マイクロニードル応用を目指したPMMAチャネル毛細管上昇に関する研究 M進学
卒業論文 藤縄 伸哉
Fujinawa
SR光リソグラフィーによる回折光学素子の製作に関する研究 M進学
卒業論文 堀田 雄一
Hotta
LIGAプロセスを用いたサブ波長格子製作に関する研究 M進学
卒業論文 吉川 智史
Yoshikawa
エキシマレーザーを用いたX線マスクの製作に関する研究  
就職先 オムロン(株)、オリンパス(株)、(株)キーエンス、キヤノン(株)、船井電機(株)、カシオ計算機(株)、菱電商事(株)、富士通VLSI(株)

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2003年度

         *田中研

  氏 名 論 題 備 考
修士論文 YIN,
Pon-Tien(Tim)*
Design and Fabrication of Electrostatic Actuated RF MEMS Switches 03.9.
修士論文 NGUYEN,
Tuan Anh
Measurement of Forces and Moments Acting on a Particle in Turbulent Water Flow by Using 6-DOF Micro Sensor 03.9.
修士論文 磯田 康吉*
Isoda
接触型および可変インピーダンス型RF-MEMSスイッチの設計と試作に関する研究 04.3
修士論文 川口 岳
Kawaguchi
SR光を用いたマイクロニードルアレイの製作に関する研究 04.3
修士論文 東海林志有*
Shoji
静電駆動型マイクロミラーデバイスの製作に関する研究 04.3
home
修士論文 橋本 圭嗣
Hashimoto
発電用マイクロレシプロエンジンの開発に関する研究 04.3
修士論文 長谷部臣哉
Hasebe
柔軟構造を有するフレキシブルサーモパイル発電デバイスの開発に関する研究 04.3
修士論文 松原 誠
Matsubara
ピエゾ抵抗型多軸触覚センサの試作に関する研究 04.3
卒業論文 阿部 悠平
Abe
同期型センサネットワークの基本設計に関する研究 M進学
卒業論文 岡田 康宏
Okada
発電用マイクロレシプロエンジンのパッケージングに関する研究 M進学
卒業論文 勝田 匡彦*
Katsuda
マイクロデバイス用PZT-Si機能材料の接合技術に関する研究  
卒業論文 木村 崇浩
Kimura
LIGAプロセスにおけるNi電鋳に関する研究  
卒業論文 權 赫彰
Kwon
ピエゾ抵抗型ナノスケール加速度センサの製作に関する研究 M進学Fr
卒業論文 小西 隆寛*
Konishi
圧電型マイクロアクチュエータ・センサのダイアフラム構造に関する研究 M進学
卒業論文 塩崎 真良
Shiozaki
フレキシブルサーモパイルジェネレータの評価に関する研究 M進学
卒業論文 清 優介
Sei
フォースモーメントセンサを用いた指先センサの製作 M進学
卒業論文 高田 和範*
Takada
静電駆動式焦点可変ミラーデバイスの製作に関する研究  
卒業論文 津田耕太郎
Tsuda
マイクロコネクタ用のTi薄膜の形成に関する研究  
卒業論文 冨田 祐資*
Tomita
平面パターン・断面転写法(PCT)を用いたマイクロニードルアレイ製法の研究  
卒業論文 本田 和大*
Honda
フォトレジストを犠牲層に用いたアルミトーションバー型ミラーの製作に関する研究  
就職先 ブラザー工業(株)、キヤノン(株)、ローム(株)、スズキ(株)、(株)島津製作所、(株)堀場製作所、(株)富士通研究所、Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Ltd.、アイシン・エイ・ダブリュ(株)、セイコーエプソン(株)、合同製鐵(株)、住友電装(株)、(株)メイテック

 

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2002年度

   氏 名  論 題 備考
博士論文 DAO, Viet Dzung Study on Silicon Piezoresistive Six-Degree of Freedom Micro Force-Moment Sensors and Application to Fluid Mechanics
シリコンピエゾ抵抗型6軸マイクロ力モーメントセンサと流体力学への応用に関する研究
03.3.31博士(工学).
修士論文 今村 栄司
Imai
LIGAプロセスによるナノ構造体製作に関する研究  
修士論文 土佐 秀樹
Tosa
マスクパターン最適化によるSR光を用いたマイクロニードルアレイの製作研究  
卒業論文 石関 宏之
Ishizeki
マイクロコネクタにおける接触抵抗と接触力の評価に関する研究 M進学*
卒業論文 遠藤 隆史
Endo
SURF-MICSを用いた静電型マイクロミラーの製作に関する研究 M進学
卒業論文 小川 潤治
Ogawa
フレキシブルサーモパイルジェネレータの製作に関する研究 M進学
卒業論文 加藤 史樹
Katoh
LIGAプロセスにおけるNi構造体の製作に関する研究 *~04.3
’04M進学Fr
卒業論文 河田 芳秀
Kawata
LIGAプロセスによるナノ構造体製作に関する研究 M進学
卒業論文 久瀬 亘
Kuze
SURF-MICSを用いたRFスイッチの設計に関する研究 M進学
卒業論文 久保 孝司
Kubo
SR光を用いた平面パターン断面転写法における形状シミュレータの開発  
卒業論文 腰越真知子
Koshigoe
DNA分析のためのナノギャップ電極形成に関する研究 M進学
卒業論文 坂根 泰樹
Sakane
マイクロレシプロエンジン型発電機における点火装置の研究 M進学*
卒業論文 松本 倫人
Matsumoto
LIGAプロセスにおけるNi電鋳構造体の金属組織学的研究 M進学
就職先 立命館大学ポスドク研究員>>Griffith Univ., Australia、NTTアドバンステクノロジ(株)、日本ヒューレット・パッカード(株)、(株)ニッソーサービス


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2001年度

  氏 名 論 題 備考
修士論文 川瀬 和典
Kawase
LIGAプロセスによる高アスペクト比微細構造体の製作プロセスに関する研究  
修士論文 仲野 聡
Nakano
レシプロエンジン型マイクロパワージェネレータの試作に関する研究  
修士論文 西嶋 洋一
Nishijima
ピエゾ抵抗型4自由度触覚センサの開発に関する研究  
修士論文 深川 雅史
Fukagawa
LIGAプロセスによるパーマロイ高周波厚膜磁心の製作に関する研究  
修士論文 船井 大輔
Funai
シリコンナノワイヤーブリッジの製作とそのピエゾ抵抗測定に関する研究  
修士論文 松井 洋文
Matsui
UV厚膜レジストを用いた導波路アレイ型光スイッチ用ミラーの製作に関する研究  
修士論文 矢島 正一
Yajima
ポリシリコン・メタルサーモパイルを用いたマイクロパワージェネレータの試作に関する研究  
卒業論文 佐藤 仁彦
Sato
ピエゾ抵抗型多軸力覚センサの試作に関する研究 M進学*
卒業論文 東海林志有
Shoji
静電マイクロアクチュエータを用いたマイクロミラーデバイスの設計に関する研究 M進学
卒業論文 橋本 圭嗣
Hashimoto
マイクロレシプロエンジン型パワージェネレータの設計に関する研究 M進学
卒業論文 深井 元樹
Fukai
LIGAプロセスにおけるパーマロイ電鋳に関する研究  
卒業論文 Abudullah Bin Muhammad Fabrication of Polysilicon-Metal Thermopile for Micro Power Generator *~02.9
卒業論文 山田 勝樹
Yamada
UV厚膜レジストを用いたマイクロコネクタの製作に関する研究  
就職先 住友電気工業(株)、ソニー(株)、(株)INAX、(株)東芝、松下電工(株)、三菱電機(株)、横河電機(株)、TOWA(株)、(株)ジャパンアウトソーシング、(株)ジャステック

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2000年度

  氏 名 論 題 備考
博士論文 上野 洋
Ueno
シンクロトロン放射光リソグラフィによる高アスペクト比超微細構造の製作に関する研究  2001.3.31博士(工学)
修士論文 瀧本 晋輔
Takimoto
LIGAプロセスによる高アスペクト比高周波厚膜磁心の製作に関する研究  
修士論文 谷本 靖忠
Tanimoto
シリコンナノワイヤピエゾ抵抗素子の製作と特性評価に関する研究  
修士論文 西 信嘉
Nishi
シンクロトロン放射光を用いた三次元微細エッチングに関する研究  
修士論文 横山 好彦
Yokoyama
UV厚膜レジストを用いた高密度実装用マイクロコネクタの製作に関する研究  
卒業論文 秋岡 貴生
Akioka
SR光を用いたSi-Si常温接合 M進学*
卒業論文 今村 栄司
Imamura
犠牲層を用いたLIGAプロセスのための現像液開発に関する研究 M進学
卒業論文 大澤 健一
Osawa
単結晶シリコンのピエゾ抵抗効果測定のための多軸ひずみゲージの製作に関する研究  
卒業論文 小林 孝幸
Kobayashi
AICMICSを用いたアナログ回路の試作とマイクロ力学量センサへの応用  
卒業論文 鈴木 章洋
Suzuki
LIGAプロセスによる高周波厚膜磁心の為の高アスペクト比構造形成に関する研究 *~01.9
卒業論文 田中 賢太
Tanaka K.
単結晶シリコンを用いた4端子ピエゾ抵抗素子の製作とせん断応力測定に関する研究  
卒業論文 三谷 公洋
Mitani
マイクロバルブに用いる小型圧電アクチュエータの特性評価に関する研究  
卒業論文 村山由香理
Murayama
MICSを用いた静電型マイクロフォンの製作に関する研究  
就職先 (株) 東海理、住友重機械工業 (株)、セイコーエプソン (株)、三菱電機 (株)、(株) 村田製作所オプトニクス精密 (株)、(株) 川島織物、中西金属工業(株)、長野日本無線エンジニアリング (株)、(株) ユーシン精器

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1999年度

  氏 名 論 題 備考
修士論文 濱田博之 バイモルフ型圧電素子を用いたマイクロバルブに関する研究  
修士論文 宮村和宏 円運動型マイクロジャイロスコープの製作に関する研究  
修士論文 山本秀俊 ラマン分光法を用いたセンサ用薄膜の内部応力のアニール効果に関する研究  
卒業論文 新井和繁 単結晶ピエゾ抵抗素子における感度の形状依存性に関する研究 M進学*
卒業論文 川瀬和典 LIGAプロセスによる静電マイクロアクチュエータのばね要素の応力解析 M進学
卒業論文 北村優子 ポリシリコンピエゾ抵抗素子の温度特性の測定と評価  
卒業論文 高田麗恵子 LIGAプロセスを用いたマイクロ磁心の狭スリット形成に関する研究  
卒業論文 深川雅史 常圧下におけるPTFEの三次元SR光エッチングに関する基礎研究 M進学
卒業論文 福島敏道 マイクロバルブ用バイモルフ型圧電アクチュエータの特性評価に関する研究 M進学
*~01.9
卒業論文 仲野 聡 カンチレバー型マイクロジャイロスコープの解析および特性評価 M進学
卒業論文 福枡恵一郎 マルチチップサービスを用いたポリシリコン熱電変換素子の製作 M進学*
卒業論文 松井洋文 マルチチップサービスに用いられるポリシリコン薄膜の機械的性質の評価 M進学
卒業論文 矢島正一 汎用有限要素法を用いたMEMSシミュレーションへの応力〜赤外線センサの有限要素法解析〜 M進学
卒業論文 吉藤健次 LIGAプロセスによる低G検出用静電容量型加速度センサの製作に関する研究 M進学*
卒業論文 若見学司 サイドエッチングを利用したメンブレン形成に関する研究  
就職先 (株)ダイハツテクナー、(株)堀場製作所、(株)松下情報システムテクノロジー、公務員(大東市)、大宏電機(株)、松下冷機(株)

 

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1998年度

  氏 名 論 題 備考
修士論文 近藤亮史 LIGAプロセスによる静電マイクロアクチュエーターの製作に関する研究  
修士論文 澤 和也 応力の3軸成分を利用した高圧測定用ピエゾ抵抗型圧力センサに関する研究  
修士論文 田所秀介 低G検出用静電容量型加速度センサに関する研究  
卒業論文 浦山博史 陽極接合によるマイクロパッケージングに関する基礎研究 進学*
卒業論文 進元幸治 圧電素子を用いたマイクロバルブの設計と製作に関する基礎研究  
卒業論文 瀧本晋輔 LIGAプロセスによる高アスペクト比静電マイクロアクチュエーターの製作研究 M進学
卒業論文 谷本靖忠 ひずみゲージ試験機の製作と半導体ひずみゲージの特性評価への応用 M進学
卒業論文 西 信嘉 EBリソグラフィーによるX線マスク吸収体形成用サブミクロン構造体製作に関する研究 M進学
卒業論文 村上和正 KOHによるシリコン異方性エッチング特性の測定と薄膜形成技術への応用  
卒業論文 横山好彦 多結晶シリコンのピエゾ抵抗効果に関する研究 M進学
就職先 オムロン(株)、キャノン(株)、三洋電機(株)
マツダ(株)、三菱重工業(株)

 

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1997年度

  氏 名 論 題 備考
修士論文 新井雅人 応力の3軸成分を利用したピエゾ抵抗型圧力センサの開発  
修士論文 上野 洋 LIGAプロセス用X線マスクの製作に関する研究 D進学
修士論文 中村倫之 円運動型マイクロジャイロスコープに関する研究  
修士論文 西倉裕貴 UVレジストを用いた高アスペクト比Auマイクロコイルの製作に関する研究  
修士論文 保坂 誠 LIGAプロセスを用いた微細構造体の製作に関する研究  
卒業論文 出雲一臣 LIGAプロセスにおける電鋳工程の最適化に関する研究  
卒業論文 大村雅章 塗布拡散源を用いたP形不純物(B)の熱拡散に関する基礎研究  
卒業論文 西山寛二 UV露光用厚膜レジストのフォトリソグラフィーに関する基礎研究  
卒業論文 三谷由美 LIGA用PMMAレジスト層の高精度厚さ制御の検討  
卒業論文 宮村和宏 位相差X線顕微鏡用位相板の製作に関する研究 M進学
卒業論文 山内繁晴 ピエゾ抵抗素子を配した片持ち梁の製作に関する研究  
卒業論文 山本秀俊 マスタスライス方式オペアンブICの設計に関する研究 M進学
就職先 キャノン(株)、(株)デンソー、村田機械(株)、山科精器(株)
愛三工業(株)、オルガノ(株)、(株)京都製作所、住友電装(株)、日清紡績(株)

 

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1996年度

  氏 名 論 題 備考
卒業論文 井上泰伸 小型SR装置「AURORA」を用いた高アスペクト比リソグラフィ特性の把握  
卒業論文 近藤亮史 UVリソグラフィーによる高アスペクト比レジストパターン形成の基礎実験 M進学
卒業論文 笹井英一 熱酸化法によるシリコン基板上へのSiOの生成  
卒業論文 澤 和也 高圧計測用半導体圧力センサの基礎研究 M進学
卒業論文 田所秀介 UVリソグラフィーによるLIGA用X線マスク製作の基礎研究 M進学
卒業論文 二川幸司 マイクロマシンの駆動に関する研究 −電磁アクチュエータの応用−(共同研究)  
卒業論文 村岡広樹 マイクロマシンの駆動に関する研究 −電磁アクチュエータの応用−(共同研究)  
就職先 NTT四国、関西日本電気、福岡建材、(株)村田製作所

 

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1995年度

  氏 名 論 題 備考
卒業論文 新井雅人 光センサの基本特性把握と応用の一検討 M進学
卒業論文 上野 洋 マイクロマシンの駆動に関する研究 −電磁アクチュエータの応用− M進学
卒業論文 岡根正樹 ホール素子の特性評価方法の検討と基本性能把握  
卒業論文 澤村陽二 マイクロロボットの駆動に関する研究 −圧電アクチュエータの応用−  
卒業論文 清水伸洋 圧力センサの特性測定システムの製作と測定結果  
卒業論文 中村倫之 マイクロマシンの駆動に関する研究 −電磁アクチュエータの応用− M進学
卒業論文 宮川圭司 マイクロロボットの駆動に関する研究 −圧電アクチュエータの応用−  
就職先 オムロン(株)、(株)ダイケン、TOWA(株)、(株)冨永製作所