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2000年度 杉山研究室 論文･学会発表

Apr. 2000 - Mar. 2001

（last modified : Nov.25, 2011）

No. 発表形態

著者／発表者

著書・論文名等

出版社／掲載誌／学会名等
1 著書 杉山　進 電気工学ハンドブック、第6版10編第3章物理センサ 電気学会 (2001.2)
1 論文 Nobuyoshi Nishi, Takanori Katoh, Hiroshi Ueno and Susumu Sugiyama Study on 3-Dimensional Micromachining of PTFE Using Synchrotron Radiation Light Memoirs of the SR Center, Ritsumeikan University, No. 2, pp.29-37, April, 2000
2 論文 Hiroshi Ueno, Nobuyoshi Nishi and Susumu Sugiyama Fabrication of High Aspect Ratio Sub-Micron Structures Using LIGA Process Memoirs of the SR Center, Ritsumeikan University, No. 2, pp.39-49, April, 2000
3 論文 Hiroshi Ueno, Nobuyoshi Nishi and Susumu Sugiyama Fabrication of Sub-Micron Structures with High Aspect Ratio for Practical MEMS Trans. IEE of Japan, Vol. 120-E, No.7, July 2000, pp.339-344 (2000.7)
4 論文 H. Ueno, Y. Zhang, N. Nishi and S. Sugiyama Fabrication of Sub-Micron Structures for MEMS Using Deep X-ray Lithography Microsystem Technologies, Vol. 6, No. 6, Springer, pp.210-213(Nov. 2000)

5

論文

 R. Kondo, S. Takimoto, K.Suzuki and S. Sugiyama High Aspect Ratio Electrostatic Micro Actuators Using LIGA Process Microsystem Technologies, Vol. 6, No. 6, Springer, pp.218-221 (Nov. 2000)

6

論文

 Toshiyuki Toriyama, Yoshihiko Yokoyama and Susumu Sugiyama Isotropic Piezoresistance in Polycrystalline Silicon for In-plane Shear-and Normal-Stress Gauges Sensors and Mateials, Vol. 12, No. 8, pp.473-490 (2000)
7 論文 Hiroshi Ueno and Susumu Sugiyama A Study on the Sub-Micron LIGA Process Trans. IEE of Japan, Vol. 121-E, No.1, Jan. 2001, pp.45-50 (2001.1)
8 国際学会発表 Susumu Sugiyama Academic MEMS Commercialization Activities in Ritsumeikan University The Commercialization of Microsystems 2000, Santa Fe, New Mexico, USA, Sept. 5-9, 2000
9 国際学会発表 M.M.I. Bhuiyan, Toshinori Unno, Yoshihiko Yokoyama, Toshiyuki Toriyama and Susumu Sugiyama Micro Connector Fabricated by Micro Process Technology IEEE Proceedings of the 2000 International Symposium on Micromechatronics and Humen Science, pp.83-88, Nagoya, Oct. 22-25, 2000
10 国際学会発表 Toshiyuki Toriyama and Susumu Sugiyama Analysis of the Piezoresistive Effect in n-typeβ-SiC Based on Electron Transport and Deformation Potential Theory IEEE Proceedings of the 2000 International Symposium on Micromechatronics and Humen Science, pp.175-180, Nagoya, Oct. 22-25, 2000
11 国際学会発表 Masakazu Yajima, Toshiyuki Toriyama, Susumu Sugiyama, Keiichirou Fukumasu and Satoshi Konishi Fabrication of Self-Supporting Polysilicon Thermopile IEEE Proceedings of the 2000 International Symposium on Micromechatronics and Humen Science, pp.237-241, Nagoya, Oct. 22-25, 2000
12 国際学会発表 Shinsuke Takimoto, Hiroshi Ueno, Susumu Sugiyama, Masahiro Yamaguchi, Makoto Baba and Ken-Ichi Arai Fabrication of Structured Thick Magnetic Film for High Frequency Magnetic Cores Using LIGA Process Abstract of The 8th Joint MMM-Intermag Conference, p.115, San Antonio, Texas, USA, Jan. 2001
13

国際学会発表

 (Poster)
Toshiyuki Toriyama, Yasutada Tanimoto and Susumu Sugiyama		 Characteristics of Silicon Nano Wire as Piezoresistor for Nano Electromechanical Systems The 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 01), pp.305-308, Jan. 2001
14

国際学会発表

 (Poster)
Toshiyuki Toriyama, Masakazu Yajima and Susumu Sugiyama		 Thermoelectric Micro Power Generator Utilizing Self-Standing Polysilicon-Metal Thermopile The 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 01), pp.562-565, Jan. 2001
15 国内学会発表 杉山 進 シンクロトロン放射光リソグラフィーによる高アスペクト比マイクロマシンの製作 第25回マテリアルズ・テーラリング研究会、研究会資料、東京 (2000.4)
16 国内学会発表 杉山 進 シンクロトロン放射光リソグラフィによる3次元マイクロ構造の製作と応用 超精密技術部会 第117回定例会資料、東京 (2000.5)
17 国内学会発表 谷本靖忠、鳥山寿之、杉山 進 Characteristics of Polycrystalline Si Nano Wire Piezoresistors Technical Digest of the 17th Sensor Symposium 2000, pp.195-198, 電気学会、川崎 (2000.5)
18 国内学会発表 吉村千里、小林靖功、青木彦治、上野 洋、杉山 進 Development of Plastic Injection Molding Using the LIGA Process Technical Digest of the 17th Sensor Symposium 2000, pp.407-412, 電気学会、川崎 (2000.5)
19 国内学会発表 上野 洋、杉山 進 A Study on the Sub-Micron LIGA Process Technical Digest of the 17th Sensor Symposium 2000, pp.413-418, 電気学会、川崎 (2000.5)
20 国内学会発表 西 信嘉、加藤隆典、上野 洋、杉山 進 Three-Dimensional Micromachining of PTFE Using Synchrotron Radiation Light Technical Digest of the 17th Sensor Symposium 2000, pp.419-422, 電気学会、川崎 (2000.5)
21 国内学会発表 海野敏典、モイヌル ブイヤン、横山好彦、鳥山寿之、杉山 進 マイクロプロセスにより製作したマイクロコネクタ 『第17回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演概要集』電気学会、川崎 (2000.5)
22 国内学会発表 杉山 進 シンクロトロン放射光リソグラフィによる高アスペクト比マイクロマシンの製作 大阪府立大学ニュー・フロンティア材料研究会第152回講演会「微細加工技術の新局面：新しいプロセス・新しい応用」 (2000.6)
23 国内学会発表 杉山 進 シンクロトロン放射光リソグラフィーによる三次元マイクロ構造の製作と応用 放射光の半導体への応用技術研究委員会第44回定例会 (2000.6)
24

国内学会発表

 瀧本晋輔、上野 洋、杉山 進、山口正洋、馬場　誠、荒井賢一 LIGAプロセスによる高周波厚膜磁心の製作に関する研究 電気学会研究会資料、電気学会マグネティクス研究会、pp.73-78 (2000.7)
25 国内学会発表 福枡恵一郎､矢島正一、鳥山寿之、小西 聡、杉山 進 自立型ポリシリコン熱電変換デバイスの製作 2000年度年次大会講演論文集, Vol. (No.00-1), pp.721-722, 日本機械学会, 名古屋 (2000.8)
26 国内学会発表 西 信嘉、加藤隆典、上野 洋、吉藤健次、小西 聡、杉山 進 シンクロトロン放射光ビーム直接描画によるPTFEの三次元マイクロ加工 第18回日本ロボット学会学術講演会予稿集、日本ロボット学会、Vol.1, pp.359-360 (2000.9)
27 国内学会発表 疋田雄児、吉藤健次、杉山 進、小西 聡 低G用静電容量型加速度センサ構造の高アスペクト比化効果に関する検討 第18回日本ロボット学会学術講演会予稿集、日本ロボット学会、Vol.1, pp.367-368 (2000.9)
28 国内学会発表 加藤隆典、西 信嘉、上野 洋、杉山 進 シンクロトロン放射光ドライエッチングによるPTFEの三次元マイクロ加工 第1回マイクロマテリアルシンポジウム講演論文集、日本材料学会、東京、pp.27-30 (2000.9)
29 国内学会発表 上野 洋、杉山 進 サブミクロンLIGAプロセスに関する研究 第1回マイクロマテリアルシンポジウム講演論文集、日本材料学会、東京、pp.31-34 (2000.9)
30 国内学会発表 杉山 進 シンクロトロン放射光リソグラフィーによる三次元マイクロ構造の製作と応用 2000年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2000)シンポジウム「マイクロプロセッシングのすべて」砥粒加工学会 (2000.9)
31 国内学会発表 谷本靖忠、鳥山寿之、杉山 進 単結晶シリコンナノワイヤーピエゾ抵抗素子の製作と特性評価 センサ・マイクロマシン準部門総合研究会、pp.17-20 (2000.12)
32 国内学会発表 鳥山寿之、杉山 進 n型β-SiCのピエゾ抵抗効果の電子輸送と変形ポテンシャル理論に基づく解析 センサ・マイクロマシン準部門総合研究会、pp.21-25 (2000.12)
33 国内学会発表 横山好彦、M.M.I.Bhuiyan、海野俊典、鳥山寿之、杉山 進 マイクロプロセス技術によるマイクロコネクタの製作 センサ・マイクロマシン準部門総合研究会、pp.57-61 (2000.12)
34 国内学会発表 西 信嘉、上野 洋、杉山 進、加藤隆典 シンクロトロン放射光によるPTFEのドライエッチングに及ぼす加工環境の影響 電気学会マグネティックス／マイクロマシン・センサシステム合同研究会資料、草津(MAG-01-13/MSS-01-01)pp.1-5　(2001.2)
35 国内学会発表 上野 洋、杉山 進 SR光を用いた平面パターン−断面転写法による三次元微細構造体の製作 電気学会マグネティックス／マイクロマシン・センサシステム合同研究会資料、草津(MAG-01-14/MSS-01-02)pp.7-11　(2001.2)
36 国内学会発表 鳥山寿之、谷本靖忠、杉山　進 シリコンナノワイヤーピエゾ抵抗素子の特性評価 日本機械学会関西支部第76期定時総会講演会講演論文集、No.014-1、摂南大学工学部、pp.4-51〜4-52(2001.3)
37 国内学会発表 疋田雄児、吉藤健次、杉山 進、小西 聡 高アスペクト比構造を用いた低G用加速度センサ 平成13年電気学会全国大会講演論文集[3]、名古屋、p.1079　(2001.3)
38 国内学会発表 杉山 進 ハイアスペクト比X線リソグラフィー（LIGA） 平成13年電気学会全国大会講演論文集[3]、名古屋、pp.1167-1168 (2001.3)
39 国内学会発表 杉山 進 MICSプロジェクトのファウンドリーサービスの現状と課題 平成13年電気学会全国大会講演論文集[3]、名古屋、pp.1170-1171 (2001.3)