1996年度 杉山研究室 論文･学会発表
Apr. '96 - Mar. '97
| No. | 発表形態 | 著者／発表者 |
著書・論文名等 |
出版社／掲載誌／学会名等 |
| 1 | 論文 | 杉山 進 | マイクロマシニング・マルチチップサービスの期待と課題 | 電気学会論文誌Ｅ, 116巻, 6号, pp.209-212 (1996.6) |
| 2 | 論文 | 保坂 誠, 張 延平, 上野 洋, 井上泰伸, 杉山 進 | 小型ＳＲビームラインを用いたＰＭＭＡの高アスペクト比Ｘ線リソグラフィーの検討 | 立命館大学理工学研究所紀要, No.55, pp.155-162 (1997.3) |
| 3 | 国際学会発表 | R. Maeda, K. Kikuchi, S. Matsumoto and S. Sugiyama | Mask Fabrication for Micro Three Dimensional Structuring by UV Laser and X-ray | 3rd France-Japan congress & 1st Europe-Asia congress on Mechatronics, Besancon, France, pp.546-550, Oct. 1-3, 1996 |
| 4 | 国際学会発表 | S. Sugiyama, Y. Zhang, H. Ueno, M. Hosaka, T. Fujimoto, R. Maeda and T. Tanaka | A Compact SR Beamline for Fabrication of High Aspect Ratio MEMS Microparts | IEEE, Proceedings of the Seventh International Symposium on Micro Machine and Human Science (MHS'96), Nagoya, Japan, pp.79-84, Oct. 2-4, 1996 |
| 5 | 国内学会発表 | 杉山 進 | マイクロマシニング技術とその応用 | 電気学会「インテリジェントセンサデバイスの技術動向」講習会, 東京 (1996.5) |
| 6 | 国内学会発表 | 杉山 進 | Scope for Micromachining Multi-project Chip Service in Japan | 電気学会, The 14th Sensor Symposium, 川崎（"Technical Digest of the 14th Sensor Symposium", pp.15-18） (1996.6) |
| 7 | 国内学会発表 | 杉山 進 | 立命館大学におけるシンクロトロン光利用研究 | 応用物理学会MicroProcess'96 先端技術フォーラム in 九州 -シンクロトロン光応用技術とリソグラフィ技術-, 小倉 (1996.7) |
| 8 | 国内学会発表 | 杉山 進 | マイクロマシニング応用センサ | 日本機械学会第74期全国大会講演資料集(V), pp.120-122, 京都 (1996.9) |
| 9 | 国内学会発表 | 前田龍太郎, 菊地 薫, 松本壮平, 田中 誠, 杉山 進 | ハイアスペクト比加工用マスクの作成技術 | 日本機械学会第６回設計工学・システム部門講演会, pp.153-155, 東京 (1996.10) |
| 10 | 国内学会発表 | 杉山 進 | センサの集積化プロセス技術 | 日本電子工業振興協会先端機能集積システム専門委員会, 東京 (1996.11) |
| 11 | 国内学会発表 | 保坂 誠, 張 延平, 上野 洋, 井上泰伸, 杉山 進 | 小型ＳＲ光ビームラインを用いた高アスペクト比マイクロマシン製作の検討 | 電気学会マイクロマシン研究会, 研究会資料ＭＭ-97-6, pp.31-35, 草津 (1997.2) |
| 12 | 国内学会発表 | 中村倫之, 千明達生, 杉森正巳, 山本 博, 杉山 進 | 円運動型ジャイロセンサの軌跡解析 | 平成9年電気学会全国大会講演論文集[3], pp.3-260, 京都 (1997.3) |
| 13 | 国内学会発表 | 保坂 誠, 張 延平, 井上泰伸, 杉山 進 | MEMS用高アスペクト比Ｘ線リソグラフィの研究 | 1997年春季第44回応用物理学会関係連合講演会講演予稿集，No.2，30a-X-7, p.630, 船橋 (1997.3) |