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1998年度 杉山研究室 論文･学会発表

Apr. '98 - Mar. '99

No. 発表形態 著者／発表者 著書・論文名等 出版社／掲載誌／学会名等
1 論文 N. Nakamura, S. Sugiyama, T. Chigira, M. Sugimori and H. Yamamoto A Point Mass Circular Movement Gyroscope 電気学会論文誌E, 118巻, 4号, pp.235-239 (1998.4)
2 論文 Masayoshi Esashi, Susumu Sugiyama, Kyouichi Ikeda, Yuelin Wang and Haruzo Miyashita Vacuum-Sealed Silicon Micromachined Pressure Sensors Proceedings of the IEEE, Vol.86, No.8, pp.1627- 1639 (1998.8)
3 論文 Susumu Sugiyama Role of the Microfabrication Foundry in MEMS R&D Proceedings of the Fourth International Micromachine Symposium, Tokyo, Japan, pp.37-44, Oct. 29, 1998
4 論文 Susumu Sugiyama Multi-user Integration Chip Service Project for MEMS IEEE, Proceedings of the 1998 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, Nagoya, Japan, pp.35-40, Nov. 25-28, 1998
5 論文 杉山　進 小型シンクロトロン放射光を用いた高アスペクト比マイクロマシン製作の研究 「放射線と産業」第81号, pp.25-31 (1999.2)
6 論文 小西　聡, 与田光宏, 杉山　進, 秋下貞夫 微少音響アレーを用いた特性可変吸音デバイス 電子情報通信学会論文誌C-Ⅱ, Vol.J82 -C-Ⅱ, No.3, pp.95-100 (1999.3)
7 国際学会発表 Susumu Sugiyama Role of the Microfabrication Foundry in MEMS R&D The Fourth International Micromachine Symposium, Tokyo, Japan, Oct. 29, 1998
8 国際学会発表 Susumu Sugiyama Multi-user Integration Chip Service Project for MEMS The 1998 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, IEEE, Nagoya, Japan, Nov. 25-28, 1998
9 国際学会発表 Ryoji Kondo, Kenichiro Suzuki and Susumu Sugiyama Study on Fabrication of High Aspect Ratio Electrostatic Micro Actuators Using LIGA Process IEEE, Proceedings of the 1998 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, Nagoya, Japan, pp.155-160, Nov. 25-28, 1998
10 国際学会発表 Toshiyuki Toriyama and Susumu Sugiyama Crystal Anisotropy of Elastoresistance Effect of Semiconductive Piezoresistor and Its Application to Transducers Proceedings of the 1998 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, Nagoya, Japan, pp.183-188, Nov. 25-28, 1998
11 国際学会発表 Satoshi Konishi, Kazuhiro Honsho and Susumu Sugiyama Direct Drawing for Microfabrication without Photolithography Twelfth IEEE International Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS'99), Florida, USA, pp.194-199, Jan. 17-21, 1999
12 国内学会発表 杉山　進 LIGAプロセスの現状とマイクロマシンへの応用 次世代センサ協議会, センサ・アクチュエータ／ウィーク'98総合シンポジウム, pp.17-23, 東京 (1998.4)
13 国内学会発表 杉山　進 マイクロマシニングとその応用 電気学会東京支部栃木支所講演会, 宇都宮 (1998.4)
14 国内学会発表 Kazuya Sawa, Masato Arai, Toshiyuki Toriyama and Susumu Sugiyama Piezoresistive Force Sensor Utilizing Combination of Three-Axis Stress Components Technical Digest of the 16th Sensor Symposium, 電気学会, pp.45-50, 川崎 (1998.6)
15 国内学会発表 H. Ueno, M. Hosaka, O. Tabata, S. Konishi and S. Sugiyama X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process Technical Digest of the 16th Sensor Symposium, 電気学会, pp.189-194, 川崎 (1998.6)
16 国内学会発表 Ryoji Kondo, Makoto Hosaka, Kenichiro Suzuki and Susumu Sugiyama Study on Fabrication of High Aspect Ratio Electrostatic Micro Actuators Using LIGA Process Technical Digest of the 16th Sensor Symposium, 電気学会, pp.195-198, 川崎 (1998.6)
17 国内学会発表 Mitsuhiro Yoda, Satoshi Konishi, Makoto Hosaka, Susumu Sugiyama and Sadao Akishita Tunable Acoustic Absorbing System Using A Micro Hole Array Technical Digest of the 16th Sensor Symposium, 電気学会, pp.253-256, 川崎 (1998.6)
18 国内学会発表 与田光宏, 小西　聡, 保坂　誠, 杉山　進, 秋下貞夫 マイクロホールアレイを用いた適応吸音システム 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'98講演論文集, 1AⅣ1-5, 仙台 (1998.6)
19 国内学会発表 近藤亮史, 保坂　誠, 鈴木健一郎, 杉山　進 LIGAプロセスによる静電マイクロアクチュエーター製作の検討 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'98講演論文集, 1AⅣ1-7, 仙台 (1998.6)
20 国内学会発表 杉山　進 放射光を用いた高アスペクト比マイクロマシニング（LIGA） 応用物理学会, 関西支部セミナー, pp.13-19, 大阪 (1998.7)
21 国内学会発表 杉山　進 MICS (Multi-user Integration Chip Service) SEMI Japan, 電気学会, The 2nd SEMI　Microsystem/MEMS Seminar, pp.87-99, 千葉 (1998.12)
22 国内学会発表 長谷貴充, 小西　聡, 与田光宏, 鳥山寿之, 杉山　進 マルチチップサービスを用いた薄膜ダイアフラムデバイスの開発 電気学会マイクロマシン研究会, 研究会資料MM-99-9, pp.15-20, 草津 (1999.3)
23 国内学会発表 田所秀介, 小西　聡, 杉山　進, 後藤友彰, 松下浩二, 谷口克己 低Ｇ検出用静電容量型加速度センサ 電気学会マイクロマシン研究会, 研究会資料MM-99-10, pp.21-26, 草津 (1999.3)
24 国内学会発表 杉山　進 マルチユーザー集積化チップサービス (MICS) の概要 平成11年度電気学会全国大会講演論文集[3], pp.S.18-1-4, 山口 (1999.3)