研究内容
マイクロマシンやMEMSを開発する上で必要な，材料評価や製作方法の開発などの基盤研究を行っています．
マイクロ・ナノメートルスケールでの材料試験
- 単結晶シリコンはマイクロマシンの主材料です．開発設計に必要な機械物性を，マイクロメートルスケールで評価していきます．また，ナノメートルまで小さくなると通常では起きない現象が生じるため，これらについて詳しく調べています．
- ポリマーなどの高分子材料は，ウエアラブルデバイスやディスポーザブルデバイスなどの用途に向いています．ポリマーMEMS開発のために，ポリマーの材料評価も実施しています．
複雑なマイクロ３D構造の製作
- ウェットエッチング加工をシリコンに施し，３次元微細加工を実現します．また，より複雑な構造を製作するための新しい手法の開発を試みています．
- ナノインプリント加工でポリマーの微細加工を行います．アライメント技術・接合技術も取り入れ，複雑なポリマー構造を作製していきます．
局所領域を計測するセンサ要素技術
- ピエゾ抵抗効果に関する基礎研究を，解析の面と素子作成手法開発の面から行います．
- MEMS技術を利用した微小な熱線センサの開発を行っています．
