原子を観て、デバイスを創る。

ダイヤモンドを中心とするワイドバンドギャップ材料のマルチスケール設計に挑戦

結晶の中の1個の原子から、産業を動かす大型パワーデバイスへ。

私たちは材料とデバイスをつなぐ研究に取り組んでいます。

材料科学とデバイス工学、基礎と応用を橋渡ししながら、社会を支える革新的半導体デバイスの実現に貢献していきます。

研究の柱

ダイヤモンド半導体素子

高臨界電界・高熱伝導率を活かした高耐圧・低損失デバイスを研究。原子構造→界面特性→デバイス機能をつなぐ設計指針を創出

ダイヤモンド結晶成長

高配向性グラファイト上にダイヤモンド結晶を成長させ、高性能ヒートシンクを開発

ドーピング制御

ダイヤモンド半導体中のドーパント活性化、熱処理ウィンドウの探索、電気特性評価

ダイヤモンドパワーデバイス

ゲート絶縁膜設計とチャネル制御で高耐圧・高効率化

高性能ヒートシンク開発

高配向性グラファイト上にダイヤモンド結晶を成長させ、AIデバイスなど高い発熱が予想されるデバイス向けの高性能ヒートシンク

ヘテロエピタキシャル成長基板探索

高品質なダイヤモンド結晶成長が実現できる下地基板となる材料の探索と結晶成長プロセスの確立

実験装置

現在、コンテンツを準備中です(工事中)。

メンバー紹介

藤井 茉美Mami Fujii / 准教授 researchmap
矢野 海翔Kaito Yano
研究テーマ
ダイヤモンドへのイオン注入プロセス検討 n型
大西 駿士Shunji Onishi
研究テーマ
単結晶Ni基板上のダイヤモンドヘテロエピ成長
小林 茅依Chiyori Kobayashi
研究テーマ
多結晶ダイヤモンドの局所欠陥分析(AFM解析)
今井 晴Haru Imai
研究テーマ
ダイヤモンド成長基板としてのNi単結晶の結晶性評価
鍵田 晋平Shinpei Kagita
研究テーマ
金属/ダイヤ界面 終端状態による熱的・電気的特性への影響
近藤 知真Kazuma Kondo
研究テーマ
ダイヤモンドへのイオン注入プロセス検討 p型
中川 将吾Shogo Nakagawa
研究テーマ
GaN/ダイヤ界面の接合方法、終端状態、界面層による影響
野角 祐司Yuuji Nogaku
研究テーマ
水素プラズマによるダイヤモンド基板への影響
前田 益宏Masuhiro Maeda
研究テーマ
ミストCVD成膜Ir基板上へのダイヤモンド結晶成長検討
柳澤 匠吾Shogo Yanagisawa
研究テーマ
電磁波照射によるダイヤモンドの耐性評価
武田 渓Kei Takeda
研究テーマ
グラファイト基板のオフ角等による結晶成長への影響

主要成果

ニュース

活動カレンダー

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お問い合わせ

見学・入学希望 先進デバイス材料科学研究室 事務局
所在地:滋賀県草津市野路東 1-1-1 立命館大学びわこくさつキャンパス
Email: mnfujii [at] fc.ritsumei.ac.jp
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