マイクロ・ナノシステム技術に関連する領域は電気、光、物理、化学、生物、医療と広範囲にわたっています。この分野における技術開発のスピードが急加速し、研究者、技術者間の密接な連携が不可欠となったため、2000年にマイクロシステム技術研究センターが設立されました。
現在は、先端マイクロ・ナノ技術研究センターと改組され基盤研究から産業向け応用研究まで、様々な共同研究や受託研究、公的プロジェクトが行われています。