（於：エクセル２）

電 子 線 （ Ｅ Ｂ ） 描 画 室

ＥＢ描画室・フォトルームの配置図はこちら

電子ビームを用いて0.1ミリ以下の精度で素子パターンを形成することが出来ます。ＣＡＤワークステーションとデータリンクし、直接描画からフォトマスクやＸ線マスクのリソグラフィを行います。