圧電アクチュエータ

図１：分極の様子

　 　

図２：圧電効果　　　　　　　　　　　　　　　図３：逆圧電効果

図４：逆圧電効果による歪み

　　 　

図５：積層型圧電アクチュエータ　　　　 図６：ヒステリシスの例

図７：超精密位置決めステージ

図８：バイモルフ型圧電アクチュエータ

図９：パーツフィーダ

　　　

図10：表面波モータの基本原理　　 　図11：回転形表面波モータ

図12：回転形表面波モータの構成例

図13：回転形表面波モータの弾性体表面上の安定波

図14：回転形表面波モータの構造

図15：非接触変位計の構成

図16：ブリッジ回路

図17：バイモルフ型圧電アクチュエータの特性測定機器構成

図18：回転形表面波モータの結線

図19：回転形表面波モータの負荷特性の測定機器構成