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Theses
of Sugiyama Lab. (Dr.&Master&Bachelor)
杉山研 卒業論文・修士論文・博士論文
<2003-2006年度:杉山・田中研究室>
<2002-2006:文部科学省21世紀COEプログラム拠点研究室>
年度(FY) : 2012 ・ 2011 ・ 2008 ・ 2007 ・ 2006 ・ 2005 ・ 2004 ・ 2003 ・ 2002 ・
2001
・ 2000
・ 1999 ・
1998 ・
1997 ・
1996 ・
1995
■Dr■Master■Bachelor
2012年度
氏 名 | 論 題 | 備 考 | |
博士論文 | 田中 雄介 (社会人Dr) Tanaka |
貫通孔を有する穿刺用超音波探触子の基礎特性と針先端の検出原理に関する研究 Studies on Basic Properties of Ultrasonic Probes with a Through-Hole and on the Detection Principle of the Needle Tip |
2013.3.
博士(工学)取得 (平井研) |
2011年度
氏 名 | 論 題 | 備 考 | |
博士論文 | BUI, Thanh Tung | Study on Strain
Sensing Effect in Silicon Photonic Crystal Nanocavities シリコンフォトニック結晶ナノキャビティのひずみセンシング効果に関する研究 |
2011.9.25
博士(工学)取得 (杉山研) |
博士論文 | 天谷 諭 (社会人Dr) Amaya |
インプリント成形を用いた可動構造を有するポリマーMEMSの製作技術に関する研究 Study on Fabrication Process of Polymer MEMS with Movable Structures Utilizing Hot Embossing |
2011.9.25
博士(工学)取得 (杉山研) |
研究論文 | 田中 雄介Tanaka | 医療用貫通型超音波探触子の基礎特性と針の検出原理 Basic Properties and Detection Principle of an Ultrasonic Probe with Through Hole for Medical Applications |
2012.3.31
一貫性博士課程(フロンティア理工学専攻)単位取得 (杉山研) |
就職先 | (独)産業技術総合研究所 (AIST)、TOWA梶Aジャパンプローブ |
2008年度
2007年度
氏 名 | 論 題 | 備 考 | |
博士論文 | PHAM, Phuc Hong | Study on Micro
Transportation Systems Based on Electrostatic Actuators
Utilizing Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
Technology MEMS技術を用いた静電アクチュエータに基づくマイクロ搬送システムに関する研究 |
07.9.25博士(工学)取得 |
修士論文 | 相田冨実二 Aita |
毛管カラムを用いた血球分離デバイスの開発に関する研究 | (木股研) |
修士論文 | 梶田 俊輔 Kajita |
シンクロトロン放射光を用いたマスクレス三次元リソグラフィーに関する研究Study on Mask-less 3-D Lithography Utilizing Synchrotron Radiation | (鈴木研) |
修士論文 | 酒井 麻光 Sakai |
ピエゾ抵抗効果を用いた超小型3軸加速度センサの開発に関する研究 | (高野研) |
修士論文 | 坂本 竜平 Sakamoto |
圧電駆動型バルブレスマイクロジェットポンプの開発に関する研究 | (鳥山研) |
修士論文 | 通堂 真 Tsuudou |
シンクロトロン放射光によるPTFEの三次元微細構造体の製作に関する研究Study on Fabrication of 3-D PTFE Microstructures Utilizing Synchrotron Radiation | (宮野研) |
修士論文 | 宮岡 明寛 Miyaoka |
フレキシブルサーモパイルジェネレータの製作に関する研究 | (小西研) |
論文(M2') | BUI, Thanh Tung | 3-Degree of Freedom Piezoresistive Accelerometer with Wireless Readout | (鳥山研) |
論文(F2) | 田中 雄介 Tanaka Y. |
手術支援用超音波探触子に関する研究 | F3進学 |
就職先 | Hanoi Univ. of Technology、アイシン精機(株)、オムロン(株)、(株)島津製作所、(株)デンソー、松下電工(株)、三菱重工業(株)、ベトナム・ハノイ工科大学 |
2006年度
*田中研
氏 名 | 論 題 | 備 考 | |
博士論文 | 佐々木 昌 (社会人Dr) Sasaki |
サーモパイルを用いた熱式MEMSフローセンサに関する研究 Research on Thermal Type MEMS Flow Sensor Using Thermopile |
07.3.31博士(工学)取得 |
博士論文 | YATTOWITA WITHANAGE, Ranjith Amarasinghe |
Study on Silicon
Piezoresistive Multi-Axis Micro Accelerometers シリコンピエゾ抵抗型マイクロ多軸加速度センサに関する研究 |
07.3.9博士(工学)取得(乙号) |
博士論文 | DAU, Thanh Van |
Study on Silicon
Thermoresistive Fluidic Inertial Sensors Utilizing
Microelectromechanical Ssytems (MEMS) Technology MEMS技術を用いたシリコン熱抵抗型流体慣性センサに関する研究 |
07.3.31博士(工学)取得 |
修士論文 | LI, Shipeng | Study on Fabrication of Polymer Electrostatic Actuator | '06.9修士修了 |
修士論文 | 王 強 Wang |
Development of Multi-Axis Soft Fingertip Sensor Utilizing Micro Force Moment Sensing Chip | ’06.3修士修了 |
修士論文 | 李 凌瀚 Li |
Research on Semiconductor Type NO2 Gas Sensor Integrated with Micro Heater for SNA-MEMS Chip | Dr.進学 (東大) |
修士論文 | 岡村 暁* Okamura |
ピエゾ抵抗素子を用いた500μm角3軸加速度センサの製作に関する研究 | |
修士論文 | 田中 俊行 Tanaka T. |
毛細管現象を利用した粒子、液体分離技術に関する研究 | |
修士論文 | 玉置 宗一朗 Tamaoki |
蛍光修飾核酸プローブを用いた低濃度mRNA検出法に関する研究 | |
修士論文 | 畑 端佳* Hata |
弾性表面波を用いた一方向性マイクロ流体アクチュエータに関する研究 | |
修士論文 | 林田 昌丈* Hayashida |
自然対流を用いた二軸マイクロ熱型加速度センサに関する研究 | |
修士論文 | 藤岡 和也 Fujioka |
SR光リソグラフィーによるマイクロニードルアレイの製作に関する研究 | |
修士論文 | 藤縄 伸哉 Fujinawa |
シンクロトロン放射光リソグラフィーによる回折光学素子の製作に関する研究 | |
修士論文 | 堀田 雄一 Hotta |
シンクロトロン放射光を用いたサブ波長構造製作に関する研究 | |
修士論文 | 井出 雅人* Ide |
バルクPb(Zr,Ti)O3を用いた圧電駆動型マイクロポンプの製作に関する研究 | |
修士論文 | 土屋 芳城* Tsuchiya |
圧電型焦点可変ミラーデバイスの作製に関する研究 | |
修士論文 | 濱ア 良平* Hamazaki |
アルミ薄膜を用いた静電駆動型マイクロミラーデバイスの製作に関する研究 | |
修士論文 | 富田 進吾* Tomita |
||
卒業論文 | 稲葉 清士* Inaba |
超音波センサの医療と防災の応用に関する基礎研究 | M進学 |
卒業論文 | 大嶽 知則 Ohtake |
検出部位にpn接合を用いた熱加速度センサに関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 佐々 瑛 Sasa |
シンクロトロン放射光による光学回折格子のバルクPMMA上への製作に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 千川 啓 Senkawa |
静電型アクチュエータとラチェット機構を用いたマイクロコンベアシステムの開発に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 高島 勇希 Takashima |
6軸マイクロフォースモーメントセンサを用いた指先センサの信号処理回路の最適化に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 辻 和広* Tsuji |
圧電駆動型マイクロポンプの製作に関する研究 | M進学 (他大学) |
卒業論文 | 古市 卓* Furuichi |
アルミ薄膜構造体を用いた静電駆動型マイクロミラーデバイスの製作に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 中澤 忠貴 Nakazawa |
ピエゾ抵抗素子を用いた高感度超小型3軸加速度センサの製作に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 万田 純裕 Manta |
単相型IDTによるSAWを用いた一方向性流体アクチュエータに関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 山口 早紀 Yamaguchi |
LIGAプロセスによるマイクロニードル製作のための現像温度に関する研究 | |
卒業論文 | 西村 航士 Nishimura |
誘電泳動法を利用したマイクロ・ナノ微粒子のトラップに関する研究 | |
就職先 | オリンパスメディカルシステムズ(株)、(株)共立メンテナンス、(株)島津製作所、住友重機械工業(株)、セイコーエプソン(株)、(株)ディスコ、(株)デンソー、日東電工(株)、ブラザー工業(株)、本田技研工業(株)、三菱重工業(株)、三菱電機(株)、(株)村田製作所、立命館大学ポストドクトラルフェロー>>パナソニック(株) |
2005年度
*田中研
氏 名 | 論 題 | 備 考 | |
博士論文 | KHUMPUANG, Sommawan | Development
of Microneedles Fabricated by Synchrotron Radiation
Lithography for Bio-medical Applications バイオメディカル応用のためのSR光リソグラフィーによるマイクロニードルの開発 |
06.3.31博士(工学)取得 |
博士論文 | 岡田 和廣(社会人Dr) Okada |
MEMS技術を用いた多軸モーションセンサに関する研究 Research of Multi-Axis Motion Sensor Using MEMS Technologies |
06.3.31博士(工学)取得 |
博士論文 | 積 知範(社会人Dr) Seki |
DC-GHz帯有接点RF-MEMSスイッチ/リレーの研究 Study of Metal-contact RF-MEMS Switch/relay from DC to GHz |
06.3.31博士(工学)取得 |
修士論文 | 阿部 悠平 Abe |
RFID タグ付きセンサネットワークにおけるデータ処理に関する研究 | |
修士論文 | 岡田 康宏 Okada |
レシプロ型小型内燃機関における間欠燃焼駆動の実証に関する研究 | |
修士論文 | 塩ア 真良 Shiozaki |
高効率熱電薄膜を用いたフレキシブル熱電発電素子の開発に関する研究 | |
修士論文 | 清 優介 Sei |
6軸マイクロフォースモーメントセンサを搭載した柔軟接触部を有する4軸指先触覚センサの開発に関する研究 | |
修士論文 | 洞出 光洋 Horade |
SR光リソグラフィによる高精度三次元微細加工に関する研究 | Dr進学 |
修士論文 | 小西 隆寛* Konishi |
バルクセラミックスPb(Zr,Ti)O3を用いた圧電型マイクロアクチュエータの作製に関する研究 | |
修士論文 | 島津 明宏* Shimazu |
多面型超音波アレイトランスデューサーに関する研究 | |
論文(F2) | 加藤 史樹 Katoh |
シンクロトロン放射光リソグラフィにおける超微細マスクパターンによるレジスト加工形状に関する研究 | F3進学 |
卒業論文 | 相田 冨実二 Aita |
検査・分析装置用粒子分離デバイスに関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 伊登 大造* Itou |
自由対流の熱移動に基づく加速度センサの研究 | |
卒業論文 | 今井 聡司* Imai |
圧電型形状可変ミラーデバイスに関する研究 | |
卒業論文 | 梶田 俊輔 Kajita |
SR光を用いた三次元構造体製作における形状予測シミュレーションに関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 河村 俊* Kawamura |
アルミ構造を用いた静電駆動型マイクロミラーデバイスの作製に関する研究 | |
卒業論文 | 酒井 麻光* Sakai |
ナノスケールピエゾ抵抗素子を用いた超小型3軸加速度センサの製作 | M進学 |
卒業論文 | 坂本 竜平* Sakamoto |
圧電型マイクロポンプの製作と駆動特性評価に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 通堂 真 Tsuudou |
LIGAビームライン5および6におけるSR光照射強度とレジスト加工深さの比較に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 西川 千尋* Nishikawa |
KrFエキシマレーザによる圧電セラミックスの微細加工技術 | |
卒業論文 | 宮岡 明寛 Miyaoka |
PDMSパッケージングによるフレキシブルサーモパイルジェネレータの製作に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 西村 航士 Nishimura |
→杉山研'06年度卒 | |
卒業論文 | 小峰 啓司 Komine |
→宮野研 | |
就職先 | オムロン(株)、オリンパス(株)、カシオ計算機(株)、極東貿易(株)、本田技研工業(株)、(株)村田製作所、日本写真印刷(株)、ローム(株)、(株)村田製作所、(株)森精機製作所、杉山研ポスドク研究員>>(独)産業技術総合研究所 (AIST) |
2004年度
*田中研
氏 名 | 論 題 | 備 考 | |
博士論文 | 海野 敏典(社会人Dr) Unno |
UV-LIGAプロセスを用いたマイクロコネクタの製作に関する研究 Study on Fabrication of Micro Connector Using UV-LIGA Process |
2005.3.31博士(工学) |
修士論文 | DAU, Van Thanh | Integrated Gyro Sensor Based on MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) Technology | 2004.9修士修了、Dr.進学 |
修士論文 | 遠藤 隆史 Endo |
LIGAプロセスによる回折光学素子の製作に関する研究 | 2005.3 |
修士論文 | 小川 潤治 Ogawa |
MEMS技術による超小型内燃機関の実証に関する研究 | 2005.3 |
修士論文 | 河田 芳秀 Kawata |
SR光を用いたサブ波長格子製作に関する研究 | 2005.3 |
修士論文 | 久瀬 亘* Kuze |
圧電型形状可変ミラーデバイスの研究 | 2005.3 |
修士論文 | 腰越 真知子 Koshigoe |
ナノメートルピエゾ抵抗素子を用いた超小形加速度センサの製作に関する研究 | 2005.3 |
修士論文 | 松本 倫人 Matsumoto |
LIGAプロセスにおけるNi/ダイヤモンド複合めっきに関する研究 | 2005.3 |
卒業論文 | 浅地 伸洋* Asaji |
静電型マイクロミラーデバイスの設計と製作 | M進学* |
卒業論文 | 井出 雅人* Ide |
圧電型マイクロセンサ・アクチュエータ作製のための接合技術とレーザ加工技術 | M進学 |
卒業論文 | 碓井 泰典 Usui |
熱電材料Bi-Teを用いた柔軟構造熱電発電デバイスの開発に関する研究 | |
卒業論文 | 岡村 暁* Okamura |
単結晶シリコンナノワイヤーを用いた超小型3軸加速度センサの研究 | M進学 |
卒業論文 | 木下 浩一* Kinoshita |
Pb(Zr,Ti)O3バルクセラミックスを用いたマイクロアクチュエータの作製 | |
卒業論文 | 田中 俊行 Tanaka T. |
KrFエキシマレーザーによる微細加工応用に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 田中 雄介* Tanaka Y. |
内視鏡用超音波トランスデューサの設計に関する研究 | |
卒業論文 | 玉置 宗一朗 Tamaoki |
OMUpy2-probeを用いた液相型RNA検出チップの製作に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 土屋 芳城* Tsuchiya |
圧電型形状可変ミラーデバイスの製作に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 畑 端佳* Hata |
弾性表面波を用いた流体アクチュエータに関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 濱ア 良平* Hamazaki |
アルミ二層構造による静電マイクロミラーデバイスの設計と製作 | M進学 |
卒業論文 | 林田 昌丈* Hayashida |
シリコンの抵抗熱効果を用いたガスレートジャイロの研究 | M進学 |
卒業論文 | 藤岡 和也 Fujioka |
マイクロニードル応用を目指したPMMAチャネル毛細管上昇に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 藤縄 伸哉 Fujinawa |
SR光リソグラフィーによる回折光学素子の製作に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 堀田 雄一 Hotta |
LIGAプロセスを用いたサブ波長格子製作に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 吉川 智史 Yoshikawa |
エキシマレーザーを用いたX線マスクの製作に関する研究 | |
就職先 | オムロン(株)、オリンパス(株)、(株)キーエンス、キヤノン(株)、船井電機(株)、カシオ計算機(株)、菱電商事(株)、富士通VLSI(株) |
2003年度
*田中研
氏 名 | 論 題 | 備 考 | |
修士論文 | YIN, Pon-Tien(Tim)* |
Design and Fabrication of Electrostatic Actuated RF MEMS Switches | 03.9. |
修士論文 | NGUYEN, Tuan Anh |
Measurement of Forces and Moments Acting on a Particle in Turbulent Water Flow by Using 6-DOF Micro Sensor | 03.9. |
修士論文 | 磯田 康吉* Isoda |
接触型および可変インピーダンス型RF-MEMSスイッチの設計と試作に関する研究 | 04.3 |
修士論文 | 川口 岳 Kawaguchi |
SR光を用いたマイクロニードルアレイの製作に関する研究 | 04.3 |
修士論文 | 東海林志有* Shoji |
静電駆動型マイクロミラーデバイスの製作に関する研究 | 04.3 home |
修士論文 | 橋本 圭嗣 Hashimoto |
発電用マイクロレシプロエンジンの開発に関する研究 | 04.3 |
修士論文 | 長谷部臣哉 Hasebe |
柔軟構造を有するフレキシブルサーモパイル発電デバイスの開発に関する研究 | 04.3 |
修士論文 | 松原 誠 Matsubara |
ピエゾ抵抗型多軸触覚センサの試作に関する研究 | 04.3 |
卒業論文 | 阿部 悠平 Abe |
同期型センサネットワークの基本設計に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 岡田 康宏 Okada |
発電用マイクロレシプロエンジンのパッケージングに関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 勝田 匡彦* Katsuda |
マイクロデバイス用PZT-Si機能材料の接合技術に関する研究 | |
卒業論文 | 木村 崇浩 Kimura |
LIGAプロセスにおけるNi電鋳に関する研究 | |
卒業論文 | 權 赫彰 Kwon |
ピエゾ抵抗型ナノスケール加速度センサの製作に関する研究 | M進学Fr |
卒業論文 | 小西 隆寛* Konishi |
圧電型マイクロアクチュエータ・センサのダイアフラム構造に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 塩崎 真良 Shiozaki |
フレキシブルサーモパイルジェネレータの評価に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 清 優介 Sei |
フォースモーメントセンサを用いた指先センサの製作 | M進学 |
卒業論文 | 高田 和範* Takada |
静電駆動式焦点可変ミラーデバイスの製作に関する研究 | |
卒業論文 | 津田耕太郎 Tsuda |
マイクロコネクタ用のTi薄膜の形成に関する研究 | |
卒業論文 | 冨田 祐資* Tomita |
平面パターン・断面転写法(PCT)を用いたマイクロニードルアレイ製法の研究 | |
卒業論文 | 本田 和大* Honda |
フォトレジストを犠牲層に用いたアルミトーションバー型ミラーの製作に関する研究 | |
就職先 | ブラザー工業(株)、キヤノン(株)、ローム(株)、スズキ(株)、(株)島津製作所、(株)堀場製作所、(株)富士通研究所、Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Ltd.、アイシン・エイ・ダブリュ(株)、セイコーエプソン(株)、合同製鐵(株)、住友電装(株)、(株)メイテック |
2002年度
氏 名 | 論 題 | 備考 | |
博士論文 | DAO, Viet Dzung | Study on Silicon
Piezoresistive Six-Degree of Freedom Micro Force-Moment
Sensors and Application to Fluid Mechanics シリコンピエゾ抵抗型6軸マイクロ力モーメントセンサと流体力学への応用に関する研究 |
03.3.31博士(工学). |
修士論文 | 今村 栄司 Imai |
LIGAプロセスによるナノ構造体製作に関する研究 | |
修士論文 | 土佐 秀樹 Tosa |
マスクパターン最適化によるSR光を用いたマイクロニードルアレイの製作研究 | |
卒業論文 | 石関 宏之 Ishizeki |
マイクロコネクタにおける接触抵抗と接触力の評価に関する研究 | M進学* |
卒業論文 | 遠藤 隆史 Endo |
SURF-MICSを用いた静電型マイクロミラーの製作に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 小川 潤治 Ogawa |
フレキシブルサーモパイルジェネレータの製作に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 加藤 史樹 Katoh |
LIGAプロセスにおけるNi構造体の製作に関する研究 | *~04.3 ’04M進学Fr |
卒業論文 | 河田 芳秀 Kawata |
LIGAプロセスによるナノ構造体製作に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 久瀬 亘 Kuze |
SURF-MICSを用いたRFスイッチの設計に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 久保 孝司 Kubo |
SR光を用いた平面パターン断面転写法における形状シミュレータの開発 | |
卒業論文 | 腰越真知子 Koshigoe |
DNA分析のためのナノギャップ電極形成に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 坂根 泰樹 Sakane |
マイクロレシプロエンジン型発電機における点火装置の研究 | M進学* |
卒業論文 | 松本 倫人 Matsumoto |
LIGAプロセスにおけるNi電鋳構造体の金属組織学的研究 | M進学 |
就職先 | 立命館大学ポスドク研究員>>Griffith Univ., Australia、NTTアドバンステクノロジ(株)、日本ヒューレット・パッカード(株)、(株)ニッソーサービス |
2001年度
氏 名 | 論 題 | 備考 | |
修士論文 | 川瀬 和典 Kawase |
LIGAプロセスによる高アスペクト比微細構造体の製作プロセスに関する研究 | |
修士論文 | 仲野 聡 Nakano |
レシプロエンジン型マイクロパワージェネレータの試作に関する研究 | |
修士論文 | 西嶋 洋一 Nishijima |
ピエゾ抵抗型4自由度触覚センサの開発に関する研究 | |
修士論文 | 深川 雅史 Fukagawa |
LIGAプロセスによるパーマロイ高周波厚膜磁心の製作に関する研究 | |
修士論文 | 船井 大輔 Funai |
シリコンナノワイヤーブリッジの製作とそのピエゾ抵抗測定に関する研究 | |
修士論文 | 松井 洋文 Matsui |
UV厚膜レジストを用いた導波路アレイ型光スイッチ用ミラーの製作に関する研究 | |
修士論文 | 矢島 正一 Yajima |
ポリシリコン・メタルサーモパイルを用いたマイクロパワージェネレータの試作に関する研究 | |
卒業論文 | 佐藤 仁彦 Sato |
ピエゾ抵抗型多軸力覚センサの試作に関する研究 | M進学* |
卒業論文 | 東海林志有 Shoji |
静電マイクロアクチュエータを用いたマイクロミラーデバイスの設計に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 橋本 圭嗣 Hashimoto |
マイクロレシプロエンジン型パワージェネレータの設計に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 深井 元樹 Fukai |
LIGAプロセスにおけるパーマロイ電鋳に関する研究 | |
卒業論文 | Abudullah Bin Muhammad | Fabrication of Polysilicon-Metal Thermopile for Micro Power Generator | *~02.9 |
卒業論文 | 山田 勝樹 Yamada |
UV厚膜レジストを用いたマイクロコネクタの製作に関する研究 | |
就職先 | 住友電気工業(株)、ソニー(株)、(株)INAX、(株)東芝、松下電工(株)、三菱電機(株)、横河電機(株)、TOWA(株)、(株)ジャパンアウトソーシング、(株)ジャステック |
2000年度
氏 名 | 論 題 | 備考 | |
博士論文 | 上野 洋 Ueno |
シンクロトロン放射光リソグラフィによる高アスペクト比超微細構造の製作に関する研究 | 2001.3.31博士(工学) |
修士論文 | 瀧本 晋輔 Takimoto |
LIGAプロセスによる高アスペクト比高周波厚膜磁心の製作に関する研究 | |
修士論文 | 谷本 靖忠 Tanimoto |
シリコンナノワイヤピエゾ抵抗素子の製作と特性評価に関する研究 | |
修士論文 | 西 信嘉 Nishi |
シンクロトロン放射光を用いた三次元微細エッチングに関する研究 | |
修士論文 | 横山 好彦 Yokoyama |
UV厚膜レジストを用いた高密度実装用マイクロコネクタの製作に関する研究 | |
卒業論文 | 秋岡 貴生 Akioka |
SR光を用いたSi-Si常温接合 | M進学* |
卒業論文 | 今村 栄司 Imamura |
犠牲層を用いたLIGAプロセスのための現像液開発に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 大澤 健一 Osawa |
単結晶シリコンのピエゾ抵抗効果測定のための多軸ひずみゲージの製作に関する研究 | |
卒業論文 | 小林 孝幸 Kobayashi |
AICMICSを用いたアナログ回路の試作とマイクロ力学量センサへの応用 | |
卒業論文 | 鈴木 章洋 Suzuki |
LIGAプロセスによる高周波厚膜磁心の為の高アスペクト比構造形成に関する研究 | *~01.9 |
卒業論文 | 田中 賢太 Tanaka K. |
単結晶シリコンを用いた4端子ピエゾ抵抗素子の製作とせん断応力測定に関する研究 | |
卒業論文 | 三谷 公洋 Mitani |
マイクロバルブに用いる小型圧電アクチュエータの特性評価に関する研究 | |
卒業論文 | 村山由香理 Murayama |
MICSを用いた静電型マイクロフォンの製作に関する研究 | |
就職先 | (株) 東海理、住友重機械工業 (株)、セイコーエプソン (株)、三菱電機 (株)、(株) 村田製作所、オプトニクス精密 (株)、(株) 川島織物、中西金属工業(株)、長野日本無線エンジニアリング (株)、(株) ユーシン精器 |
1999年度
氏 名 | 論 題 | 備考 | |
修士論文 | 濱田博之 | バイモルフ型圧電素子を用いたマイクロバルブに関する研究 | |
修士論文 | 宮村和宏 | 円運動型マイクロジャイロスコープの製作に関する研究 | |
修士論文 | 山本秀俊 | ラマン分光法を用いたセンサ用薄膜の内部応力のアニール効果に関する研究 | |
卒業論文 | 新井和繁 | 単結晶ピエゾ抵抗素子における感度の形状依存性に関する研究 | M進学* |
卒業論文 | 川瀬和典 | LIGAプロセスによる静電マイクロアクチュエータのばね要素の応力解析 | M進学 |
卒業論文 | 北村優子 | ポリシリコンピエゾ抵抗素子の温度特性の測定と評価 | |
卒業論文 | 高田麗恵子 | LIGAプロセスを用いたマイクロ磁心の狭スリット形成に関する研究 | |
卒業論文 | 深川雅史 | 常圧下におけるPTFEの三次元SR光エッチングに関する基礎研究 | M進学 |
卒業論文 | 福島敏道 | マイクロバルブ用バイモルフ型圧電アクチュエータの特性評価に関する研究 | M進学 *~01.9 |
卒業論文 | 仲野 聡 | カンチレバー型マイクロジャイロスコープの解析および特性評価 | M進学 |
卒業論文 | 福枡恵一郎 | マルチチップサービスを用いたポリシリコン熱電変換素子の製作 | M進学* |
卒業論文 | 松井洋文 | マルチチップサービスに用いられるポリシリコン薄膜の機械的性質の評価 | M進学 |
卒業論文 | 矢島正一 | 汎用有限要素法を用いたMEMSシミュレーションへの応力〜赤外線センサの有限要素法解析〜 | M進学 |
卒業論文 | 吉藤健次 | LIGAプロセスによる低G検出用静電容量型加速度センサの製作に関する研究 | M進学* |
卒業論文 | 若見学司 | サイドエッチングを利用したメンブレン形成に関する研究 | |
就職先 | (株)ダイハツテクナー、(株)堀場製作所、(株)松下情報システムテクノロジー、公務員(大東市)、大宏電機(株)、松下冷機(株) |
1998年度
氏 名 | 論 題 | 備考 | |
修士論文 | 近藤亮史 | LIGAプロセスによる静電マイクロアクチュエーターの製作に関する研究 | |
修士論文 | 澤 和也 | 応力の3軸成分を利用した高圧測定用ピエゾ抵抗型圧力センサに関する研究 | |
修士論文 | 田所秀介 | 低G検出用静電容量型加速度センサに関する研究 | |
卒業論文 | 浦山博史 | 陽極接合によるマイクロパッケージングに関する基礎研究 | 進学* |
卒業論文 | 進元幸治 | 圧電素子を用いたマイクロバルブの設計と製作に関する基礎研究 | |
卒業論文 | 瀧本晋輔 | LIGAプロセスによる高アスペクト比静電マイクロアクチュエーターの製作研究 | M進学 |
卒業論文 | 谷本靖忠 | ひずみゲージ試験機の製作と半導体ひずみゲージの特性評価への応用 | M進学 |
卒業論文 | 西 信嘉 | EBリソグラフィーによるX線マスク吸収体形成用サブミクロン構造体製作に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 村上和正 | KOHによるシリコン異方性エッチング特性の測定と薄膜形成技術への応用 | |
卒業論文 | 横山好彦 | 多結晶シリコンのピエゾ抵抗効果に関する研究 | M進学 |
就職先 | オムロン(株)、キャノン(株)、三洋電機(株) マツダ(株)、三菱重工業(株) |
1997年度
氏 名 | 論 題 | 備考 | |
修士論文 | 新井雅人 | 応力の3軸成分を利用したピエゾ抵抗型圧力センサの開発 | |
修士論文 | 上野 洋 | LIGAプロセス用X線マスクの製作に関する研究 | D進学 |
修士論文 | 中村倫之 | 円運動型マイクロジャイロスコープに関する研究 | |
修士論文 | 西倉裕貴 | UVレジストを用いた高アスペクト比Auマイクロコイルの製作に関する研究 | |
修士論文 | 保坂 誠 | LIGAプロセスを用いた微細構造体の製作に関する研究 | |
卒業論文 | 出雲一臣 | LIGAプロセスにおける電鋳工程の最適化に関する研究 | |
卒業論文 | 大村雅章 | 塗布拡散源を用いたP形不純物(B)の熱拡散に関する基礎研究 | |
卒業論文 | 西山寛二 | UV露光用厚膜レジストのフォトリソグラフィーに関する基礎研究 | |
卒業論文 | 三谷由美 | LIGA用PMMAレジスト層の高精度厚さ制御の検討 | |
卒業論文 | 宮村和宏 | 位相差X線顕微鏡用位相板の製作に関する研究 | M進学 |
卒業論文 | 山内繁晴 | ピエゾ抵抗素子を配した片持ち梁の製作に関する研究 | |
卒業論文 | 山本秀俊 | マスタスライス方式オペアンブICの設計に関する研究 | M進学 |
就職先 | キャノン(株)、(株)デンソー、村田機械(株)、山科精器(株) 愛三工業(株)、オルガノ(株)、(株)京都製作所、住友電装(株)、日清紡績(株) |
1996年度
氏 名 | 論 題 | 備考 | |
卒業論文 | 井上泰伸 | 小型SR装置「AURORA」を用いた高アスペクト比リソグラフィ特性の把握 | |
卒業論文 | 近藤亮史 | UVリソグラフィーによる高アスペクト比レジストパターン形成の基礎実験 | M進学 |
卒業論文 | 笹井英一 | 熱酸化法によるシリコン基板上へのSiO2の生成 | |
卒業論文 | 澤 和也 | 高圧計測用半導体圧力センサの基礎研究 | M進学 |
卒業論文 | 田所秀介 | UVリソグラフィーによるLIGA用X線マスク製作の基礎研究 | M進学 |
卒業論文 | 二川幸司 | マイクロマシンの駆動に関する研究 −電磁アクチュエータの応用−(共同研究) | |
卒業論文 | 村岡広樹 | マイクロマシンの駆動に関する研究 −電磁アクチュエータの応用−(共同研究) | |
就職先 | NTT四国、関西日本電気、福岡建材、(株)村田製作所 |
1995年度
氏 名 | 論 題 | 備考 | |
卒業論文 | 新井雅人 | 光センサの基本特性把握と応用の一検討 | M進学 |
卒業論文 | 上野 洋 | マイクロマシンの駆動に関する研究 −電磁アクチュエータの応用− | M進学 |
卒業論文 | 岡根正樹 | ホール素子の特性評価方法の検討と基本性能把握 | |
卒業論文 | 澤村陽二 | マイクロロボットの駆動に関する研究 −圧電アクチュエータの応用− | |
卒業論文 | 清水伸洋 | 圧力センサの特性測定システムの製作と測定結果 | |
卒業論文 | 中村倫之 | マイクロマシンの駆動に関する研究 −電磁アクチュエータの応用− | M進学 |
卒業論文 | 宮川圭司 | マイクロロボットの駆動に関する研究 −圧電アクチュエータの応用− | |
就職先 | オムロン(株)、(株)ダイケン、TOWA(株)、(株)冨永製作所 |