2001年度 杉山研究室 論文･学会発表
Apr. 2001 - Mar. 2002
（last modified : May 22, 2002）
| No. | 発表形態 | 著者／発表者 | 著書・論文名等 | 出版社／掲載誌／学会名等 |
| 1 | 論文 | Takanori Katoh, Nobuyoshi Nishi, Masafumi Fukagawa, Hiroshi Ueno and Susumu Sugiyama | Direct Writing for Three-Dimensional Microfabrication Using Synchrotron Radiation Etching | Sensors and Actuators, A, Physical, Vol.89, pp.10-15 (2001) |
| 2 | 論文 | Shinsuke Takimoto, Hiroshi Ueno, Susumu Sugiyama, Masahiro Yamaguchi, Makoto Baba and Ken-Ichi Arai | Fabrication of Thick Film Magnetic Cores for High Frequency Using LIGA Process | Memoires of the SR Center, Ritsumeikan University, No.3, Apr. 2001, pp. 33-41. |
| 3 | 論文 | Nobuyoshi Nishi, Takanori Katoh, Hiroshi Ueno and Susumu Sugiyama | Three-Dimensional Micromachining of PTFE Using Synchrotron Radiation Light | Memoires of the SR Center, Ritsumeikan University, No.3, Apr. 2001, pp. 43-51. |
| 4 | 論文 | Hiroshi Ueno and Susumu Sugiyama | A Study on the Sub-Micron LIGA Process | Memoires of the SR Center, Ritsumeikan University, No.3, Apr. 2001, pp. 53-65. |
| 5 | 論文 |
Chisato Yoshimura, Yasunori Kobayashi, Hikoharu Aoki, Hiroshi Ueno and Susumu Sugiyama | Development of Plastic Injection Molding Using the LIGA Process | Memoires of the SR Center, Ritsumeikan University, No.3, Apr. 2001, pp. 67-83. |
| 6 | 論文 |
Yuji Hikida, Kenji Yoshifuji, Susumu Sugiyama and Satoshi Konishi | High Aspect Ratio Structure for a Capacitive Low-G Accelerometer | Memoires of the SR Center, Ritsumeikan University, No.3, Apr. 2001, pp. 157-158. |
| 7 | 論文 | Nobuyoshi Nishi, Takanori Katoh, Hiroshi Ueno and Susumu Sugiyama | Three-Dimensional Micromachining of PTFE Using Synchrotron Radiation Light | Trans. IEE of Japan, Vol. 121-E, No.4, Apr. 2001, pp.204-208. |
| 8 | 論文 | Yasutada Tanimoto, Toshiyuki Toriyama and Susumu Sugiyama | Characteristics of Polycrystalline Si Nano Wire Piezoresistors | Trans. IEE of Japan, Vol. 121-E, No.4, Apr. 2001, pp.209-214. |
| 9 | 論文 | Chisato Yoshimura, Yasunori Kobayashi, Hikoharu Aoki, Hiroshi Ueno and Susumu Sugiyama | Development of Plastic Injection Molding Using the LIGA Process | Trans. IEE of Japan, Vol. 121-E, No.5, May 2001, pp.266-274. |
| 10 | 論文 | Dao Viet Dzung, Toshiyuki Toriyama, John Wells and Susumu Sugiyama | Design of a Micro Multi-Axis Force-Moment Sensor | Trans. IEE of Japan, Vol.122-E, No.1, Jan. 2002, IEEJ, pp.35-41. |
| 11 | 国際学会発表 | Toshiyuki Toriyama, Yasutada Tanimoto and Susumu Sugiyama | Single Crystalline Silicon Nano Wire Piezoresistors for Mechanical Sensors | Transducers'01 Eurosensors XV, Digest of Technical Papers, The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Munich, Germany, June 10-14, 2001, pp.1002-1005, Springer. |
| 12 | 国際学会発表 | Toshiyuki Toriyama and Susumu Sugiyama | n-Type β-SiC Piezoresistance Analysis Under High Temperature and High Impurity Concentration | Transducers'01 Eurosensors XV, Digest of Technical Papers, The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Munich, Germany, June 10-14, 2001, pp.1414-1417, Springer. |
| 13 | 国際学会発表 | Susumu Sugiyama and Hiroshi Ueno | Novel Shaped Microstructures Processed by Deep X-Ray Lithography | Transducers'01 Eurosensors XV, Digest of Technical Papers, The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Munich, Germany, June 10-14, 2001, pp.1574-1577, Springer. |
| 14 | 国際学会発表 | Hiroshi Ueno and Susumu Sugiyama | Novel Shaped Microstructures Processed by Deep X-Ray Lithography Using Plane Pattern-Cross Section Transfer Technique | HARMST '01, Fourth Int'l Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, Baden-Baden, Germany, June 17-19, 2001, pp.15-16. |
| 15 | 国際学会発表 | Nobuyoshi Nishi, Takanori Katoh, Hiroshi Ueno and Susumu Sugiyama | Study on Three-dimensional Micromachining Using Synchrotron Radiation Etching | HARMST '01, Fourth Int'l Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, Baden-Baden, Germany, June 17-19, 2001, pp.37-38. |
| 16 | 国際学会発表 | Shinsuke Takimoto, Hiroshi Ueno, Susumu Sugiyama, Masahiro Yamaguchi, Makoto Baba and Ken-Ichi Arai | Fabrication of Thick Film Magnetic Core with High Aspect Ratio and Long Stucture Using LIGA | HARMST '01, Fourth Int'l Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, Baden-Baden, Germany, June 17-19, 2001, pp.207-208. |
| 17 | 国際学会発表 | Satoshi Nakano, Toshiyuki Toriyama and Susumu Sugiyama | Sensitivity Analysis for a Piezoresistive Rotary Movement Micro Gyroscope | MHS 2001, IEEE Proceedings of the 2001 Int'l Symposium on Micromechatronics and Human Science, Nagoya, Japan, Sept. 9-12, 2001, pp.87-92. |
| 18 | 国際学会発表 | Dzung Viet Dao, Toshiyuki Toriyama, John Wells and Susumu Sugiyama | Micro Force-Moment Sensor with Six-Degree of Freedom | MHS 2001, IEEE Proceedings of the 2001 Int'l Symposium on Micromechatronics and Human Science, Nagoya, Japan, Sept. 9-12, 2001, pp.93-98. |
| 19 | 国際学会発表 Plenary |
Susumu Sugiyama | Fabrication of Microstructures Using Synchrotron Radiation Micro Lithography and Etching (SMILE) | MHS 2001, Int'l Symposium on Micromechatronics and Human Science, Nagoya, Japan, Sept. 9-12, 2001. |
| 20 | 国際学会発表 | Dzung Viet Dao, Toshiyuki Toriyama, John Wells and Susumu Sugiyama | Six-degree of Freedom Piezoresistive Force-moment Micro Sensor | Proc. of the Int'l Sensor Conf. 2001, Seoul, Korea, pp.19-22, Oct.11-12, 2001, Korean Sensors Soc./Intelligent Microsystem Center/IEEE Sensors Council |
| 21 | 国際学会発表 | Toshiyuki Toriyama, Daisuke Funai and Susumu Sugiyama | Electro-Mechanical Properties of Single Crystal Silicon Nano Wire | Proc. of the 2001, 1st IEEE Conf. on Nanotechnology (IEEE-NANO 2001), Oct. 28-30, Hawaii, pp.516-521 (2001) |
| 22 | 国際学会発表 | Susumu Sugiyama | Strategy of R&D for Next Generation Micromachine Technology-Prospect for Manufacturing Technology- | The 7th Int'l Micromachine Symposium, Oct. 31-Nov. 1, 2001, Tokyo |
| 23 | 国際学会発表 Invited |
Susumu Sugiyama | SMILE(Synchrotron Radiation Micro Lithography and Etching) at Ritsumeikan University | SRRC Seventh User's Meeting & Workshop, Meeting Booklet, Oct.31-Nov.2, 2001, Taiwan, Synchrotron Radiation Research Center |
| 24 | 国際学会発表 Invited |
Susumu Sugiyama | Synchrotron Radiation Micro Lithography and Etching (SMILE) for MEMS Fabrication | Digest of Papers Microprocesses and Nanotechnology 2001, 2001 Int'l Microprocesses and Nanotechnology Conf. (MNC 2001), pp.264-265, Oct.31-Nov.2, 2001, Shimane, Japan |
| 25 | 国際学会発表 | Dzung Viet Dao, Toshiyuki Toriyama, John Wells and Susumu Sugiyama | Six-degree of Freedom Micro Force-moment Sensor for Application in Geophysics | (MEMS2002)The 15th IEEE Int'l Conference on Micro Electro Mechanical Systems, pp.312-315, Jan.20-24, 2002, Las Vegas, Nevada, USA |
| 26 | 国内学会発表 | Masakazu Yajima, Toshiyuki Toriyama and Susumu Sugiyama | Self-standing Polysilicon-metal Thermopile for Micro Power Generator | Technical Digest of the 18th Sensor Symposium 2001, Kawasaki, pp.93-97 (2001.5) |
| 27 | 国内学会発表 | Toshinori Unno, Toshiyuki Toriyama, M.M.I. Bhuiyan, Yoshihiko Yokoyama and Susumu Sugiyama | Micro Connector for High Packaging Density Fabricated by Using UV Thick Photoresist | Technical Digest of the 18th Sensor Symposium 2001, Kawasaki , pp.165-170 (2001.5) |
| 28 | 国内学会発表 | H. Matsui, M. Yoda, T. Toriyama, S. Konishi and S. Sugiyama | Fabrication of a Condenser Microphone by Multi-User Integrated Chip Service | Technical Digest of the 18th Sensor Symposium 2001, Kawasaki, pp.259-262 (2001.5) |
| 29 | 国内学会発表 | Dzung Viet Dao, Toshiyuki Toriyama, John Wells and Susumu Sugiyama | Micro Multi-Axis Force-Moment Sensor | Technical Digest of the 18th Sensor Symposium 2001, Kawasaki, pp.273-278 (2001.5) |
| 30 | 国内学会発表 | Satoshi Nakano, Toshiyuki Toriyama and Susumu Sugiyama | A Piezoresistive Rotary Movement Micro Gyroscope | Technical Digest of the 18th Sensor Symposium 2001, Kawasaki, pp.289-292 (2001.5) |
| 31 | 国内学会発表 | 杉山 進 | 放射光リソグラフィーによる三次元マイクロマシンの製作 | 「商業化を目指した微細加工のキーテクノロジーとテクノリンケージ」精密工学会他共催、つくば、pp.6-15 (2001.8) |
| 32 | 国内学会発表 | 杉山 進 | 放射光リソグラフィーによる三次元マイクロマシンの製作 | （第20回メカトロニクスフォーラム／IEEE四国フォーラム）「知能メカトロニクス専門委員会研究会報告」精密工学会他共催、香川大学 (2001.8) |
| 33 | 国内学会発表 | 海野敏典、鳥山寿之、杉山 進 | ＵＶ厚膜レジストを用いた高密度実装用マイクロコネクタの製作と特性評価 | (MES2001)第11回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集、大阪大学コンベンションセンター、ＪＩＥＰ, pp.299-302 (2001.10) |
| 34 | 国内学会発表 | 宮野公樹、多賀谷和範、川瀬和典、飴山 惠、杉山 進 | 粉末焼結法による微小TiNi 形状記憶合金構造体の製作 | 電気学会研究会資料、マイクロマシン・センサシステム研究会、MSS-02-1〜13、電気学会, pp.1-6 (2002.2) |
| 35 | 国内学会発表 |
浅田和彦、赤鹿久美子、川瀬和典、宮野公樹、杉山 進 | LIGAプロセスによる連立撮像眼モジュール用隔壁の製作 | 電気学会研究会資料、マイクロマシン・センサシステム研究会、MSS-02-1〜13、電気学会, pp.7-10 (2002.2) |
| 36 | 国内学会発表 | 西嶋洋一、Dao Viet Dzung、鳥山寿之、杉山 進 | 精密マニピュレーションのための多軸力覚センサの製作と評価 | 電気学会研究会資料、マイクロマシン・センサシステム研究会、MSS-02-1〜13、電気学会, pp.17-22 (2002.2) |
| 37 | 国内学会発表 | 船井大輔、鳥山寿之、杉山 進 | 単結晶シリコンナノワイヤーブリッジのピエゾ抵抗効果の評価 | 平成14年電気学会全国大会講演論文集、工学院大学、2002年3月26-29日（CD-ROM） 第3分冊 p.144 (2002.3) |
| 38 | その他 (講演) | 杉山 進 | ＳＲ光を用いた三次元マイクロ加工（SMILE）とマイクロマシニング・試作サービス（MICS） | 日本機械学会関西支部・東海支部合同企画第34回座談会資料、大阪、pp.33-40 (2001.11) |
| 39 | その他 (講演) | 杉山 進 | 放射光を利用した三次元マイクロ構造の製作と応用 | 日本原子力産業会議「むつ小川原地域における放射光施設整備研究会」、札幌、pp.21-30 (2001.11) |
| 40 | その他 (講演) | 杉山 進 | 「LIGAプロセスによる３次元微細加工」−シンクロトロン放射光を用いた構造の製作と応用− | 機能性材料の３次元微細加工技術講演会「平成12年度機能性材料の3次元微細加工技術に関する調査研究報告書」（財）先端加工機械技術振興協会、東京、pp.55-63 (2001.12) |
| 41 | その他 (講演) | 杉山 進 | ＳＲを用いた超微細加工 | 第9回シンポジウム、原子・分子レベルで制御した材料創製とキャラクタリゼーション「超微細加工とキャラクタリゼーション」大阪電気通信大学、応用物理学会関西支部、精密工学会関西支部、他 (2001.12) |
| 42 | その他 (講演) | 杉山 進 | 新産業創出のキーとなるマイクロ･ナノマシンテクノロジー | 第21回研究成果の活用・事業化促進検討グループ、（社）関西経済連合会、大阪 (2001.12) |