1996年度 杉山研究室 論文・学会発表
Apr. '96 - Mar. '97
No. | 発表形態 | 著者/発表者 |
著書・論文名等 |
出版社/掲載誌/学会名等 |
1 | 論文 | 杉山 進 | マイクロマシニング・マルチチップサービスの期待と課題 | 電気学会論文誌E, 116巻, 6号, pp.209-212 (1996.6) |
2 | 論文 | 保坂 誠, 張 延平, 上野 洋, 井上泰伸, 杉山 進 | 小型SRビームラインを用いたPMMAの高アスペクト比X線リソグラフィーの検討 | 立命館大学理工学研究所紀要, No.55, pp.155-162 (1997.3) |
3 | 国際学会発表 | R. Maeda, K. Kikuchi, S. Matsumoto and S. Sugiyama | Mask Fabrication for Micro Three Dimensional Structuring by UV Laser and X-ray | 3rd France-Japan congress & 1st Europe-Asia congress on Mechatronics, Besancon, France, pp.546-550, Oct. 1-3, 1996 |
4 | 国際学会発表 | S. Sugiyama, Y. Zhang, H. Ueno, M. Hosaka, T. Fujimoto, R. Maeda and T. Tanaka | A Compact SR Beamline for Fabrication of High Aspect Ratio MEMS Microparts | IEEE, Proceedings of the Seventh International Symposium on Micro Machine and Human Science (MHS'96), Nagoya, Japan, pp.79-84, Oct. 2-4, 1996 |
5 | 国内学会発表 | 杉山 進 | マイクロマシニング技術とその応用 | 電気学会「インテリジェントセンサデバイスの技術動向」講習会, 東京 (1996.5) |
6 | 国内学会発表 | 杉山 進 | Scope for Micromachining Multi-project Chip Service in Japan | 電気学会, The 14th Sensor Symposium, 川崎("Technical Digest of the 14th Sensor Symposium", pp.15-18) (1996.6) |
7 | 国内学会発表 | 杉山 進 | 立命館大学におけるシンクロトロン光利用研究 | 応用物理学会MicroProcess'96 先端技術フォーラム in 九州 -シンクロトロン光応用技術とリソグラフィ技術-, 小倉 (1996.7) |
8 | 国内学会発表 | 杉山 進 | マイクロマシニング応用センサ | 日本機械学会第74期全国大会講演資料集(V), pp.120-122, 京都 (1996.9) |
9 | 国内学会発表 | 前田龍太郎, 菊地 薫, 松本壮平, 田中 誠, 杉山 進 | ハイアスペクト比加工用マスクの作成技術 | 日本機械学会第6回設計工学・システム部門講演会, pp.153-155, 東京 (1996.10) |
10 | 国内学会発表 | 杉山 進 | センサの集積化プロセス技術 | 日本電子工業振興協会先端機能集積システム専門委員会, 東京 (1996.11) |
11 | 国内学会発表 | 保坂 誠, 張 延平, 上野 洋, 井上泰伸, 杉山 進 | 小型SR光ビームラインを用いた高アスペクト比マイクロマシン製作の検討 | 電気学会マイクロマシン研究会, 研究会資料MM-97-6, pp.31-35, 草津 (1997.2) |
12 | 国内学会発表 | 中村倫之, 千明達生, 杉森正巳, 山本 博, 杉山 進 | 円運動型ジャイロセンサの軌跡解析 | 平成9年電気学会全国大会講演論文集[3], pp.3-260, 京都 (1997.3) |
13 | 国内学会発表 | 保坂 誠, 張 延平, 井上泰伸, 杉山 進 | MEMS用高アスペクト比X線リソグラフィの研究 | 1997年春季第44回応用物理学会関係連合講演会講演予稿集,No.2,30a-X-7, p.630, 船橋 (1997.3) |