音響制御用マイクロフォンの製作　マルチチップサービス(

◆ マルチチップサービス(MICS)を用いた音響制御用マイクロフォンの製作を行なっている。ノイズ低減等の音響制御を行なうためには、入射音の特性を検出するデバイスが必要である。本研究では、入射音の検出用デバイスとして静電型マイクロフォンを採用している。静電型マイクロフォンは、振動板(電極)と固定電極板を細隙を隔てて平行に設置し、その間の電気容量の変化を検出するデバイスである。構造が簡単であり、周波数応答が安定な利点がある。

◆ 静電型マイクロフォンの概略図をFig.1に設計仕様をTable.1に示す。設計では、2kHz以下の低周波領域での使用を想定して共振周波数を約2.9kHzに設定した。振動板であるダイアフラムと固定電極板はMICSの3層ポリシリコン構造を用いて製作した。MICSによる製作プロセスをFig.2に示す。

◆ プロセスの手順は以下の通りである。

①Si基板上にＳｉ３Ｎ４をLPCVDにより成膜する。

②Poly‐SiをLPCVDで成膜。

③Poly-SiをRIEによりパタ－ニング。

④ＰＳＧをAPCVDにより成膜。

⑤PSGをRIEによりパターニング。

⑥Poly-SiをLPCVDにより成膜。

⑦Poly-SiをRIEによりパターニング。

⑧PSGをAPCVD　により成膜。

⑨PSGをRIEによりパターニング。

⑩Poly-　SiをLPCVDにより成膜。

⑪Polｙ-SiをRIEによりパターニング。

⑫Au /Crを蒸着しAu /Crをウエットエッチングによりパターニグを行なう。最後にリリースを行いダイアフラムを形成する。

Fig.2　MICSによる静電型マイクロフォンの製作工程