◆　本研究に用いているSR光源は立命館大学SRセンターに設置されている超電導小型SR装置「AURORA」で、その中のビームライン No.6(BL-6)にLIGAプロセス用露光装置が設置されている。　SR光源と露光チャンバーの間には、厚さ200μｍのベリリウム窓、および厚さ50μｍのカプトン窓が設置され、レジスト露光に有効な短波長成分が選択されている(Fig.1、Fig.2)。露光チャンバー内はヘリウムで満たされ、X線の減衰を押さえると共に、X線マスクの放熱媒体としても作用する。

◆　Fig.3に製作したPMMA構造体のSEM写真を、Fig.4に製作した Ni構造体のSEM写真を示す。

Fig.1　ビームラインの構成図

Fig.2　ビームラインの構造図

Fig.3　製作されたPMMA構造体

Fig.4　製作されたNi構造体