SORIS =
　 SOR-Photoelectron Spectroscopy
　　Combined with Ion Scattering

SOR（SRとも言う)とは、蓄積リング(AURORA)の中で電子をほぼ光速度で加速度運動させ、その際に電子軌道の接線方向に発生する高輝度な連続光(放射光）を取り出し、利用できるようにした装置です。立命館大学では、私学として初めてSRが導入され 1997年から運転を開始しています。

SORIS SYSTEMは、
「MEIS(中エネルギーイオン散乱)とSR-PES(光電子分光)を結合し、固体表面を総合的かつ高分解能で分析する」
という城戸教授のコンセプトの下にデザインされました。

SORIS SYSTEMは他にもたくさんの装置で構成されており、 現在も拡張・改良がなされています。
（近日中に反応室をセットアップ予定）

以下では一部ではありますが、細かな要素を紹介します。
（画像はクリックで拡大します）

SORIS SYSTEM概観

MEIS =
　　Meddium Energy Ion Scattering
　　中エネルギーイオン散乱

中エネルギーイオン散乱は、数10ｋeV〜数100ｋeVに加速させたイオンを固体表面に入射し、散乱されてくるイオンのエネルギーや角度分布を測定することで、固体表面の原子配列や組成分析が実空間で決定できます。

エネルギー分析器としはトロイダル型静電分析器を用いています。そのエネルギー分解能は、この型では世界最高のΔE/E=9×10^-4を有し、原子層ごとの散乱成分を分離して取り出すことが可能です。

エネルギー分析器	トロイダル型静電分析器
イオン種	H＋・He＋・Ne＋
エネルギー範囲	5〜150 [keV]
分解能	ΔE/E=9×10-4
真空度	2.0×10-10 [Torr]
ビームサイズ	0.2×2 [mm2]
ゴニオメーター	回転３軸、並進３軸 昇温(RT〜500 [℃])

MEIS概観
トロイダル型静電分析器

MBE =
　　Molecular Beam Epitaxy
　　分子線エピタキシー

RHEED =
　　Reflection High Energy Electron Diffraction
　　高速反射電子線回折

K-Cell	Si・Ni・Au
真空度	4.0×10-11 [torr]
ゴニオメーター	回転２軸、並進２軸 昇温(RT〜1000 [℃])

Al₂O₃/NiAl(110)

真空度	1.0×10-10 [torr]
Arスパッタ装置	〜1.5[kV]
赤外線加熱装置	RT〜1200 [℃]
ガス導入装置	16O・18O・NO・N2

赤外線加熱装置