PUBLISHED PAPERS & PRESENTATIONS BY SUGIYAMA LAB.
<Apr. '97 - Mar. '98>
| No. | PRESEN- TATION |
AUTHOR／ COAUTHOR | TITLE | JOURNAL & PUBLISHER ／CONFERENCE NAME |
| 1 | PAPER | 杉山 進 | 機械工学年鑑(18章) | 日本機械学会誌, Vol.100, No.945, p.78 (1997.8) |
| 2 | PAPER | 杉山 進 | マイクロマシン協同試作プロジェクト | 応用物理学会誌, 第66巻, 第11号, p.1240 (1997.11) |
| 3 | PAPER | 杉山 進 | マイクロマシーニングのセンサへの応用 | 電気学会誌, 117巻, 12号, pp.828-831 (1997.12) |
| 4 | PAPER | K. Suzuki, S. Sugiyama | Silicon IC Compatible LIGA Mask-Fabrication Process | Microsystem Technologies, Vol.4, No. 1, pp.7-11 (1997.12) |
| 5 | PAPER | S. Sugiyama, Y. Zhang, M. Hosaka, H. Ueno, O. Tabata, S. Konishi and R. Maeda | Study on Fabrication of High Aspect Ratio MEMS Microparts Using a Compact SR Beamline | Microsystem Technologies, Vol.4, No. 2, pp.61-63 (1998.2) |
| 6 | PAPER | 鳥山寿之, 杉山 進 | 半導体ピエゾ抵抗素子のひずみ-抵抗係数とその結晶方位依存性 | 立命館大学理工学研究所紀要, 第56号, pp.157-170 (1998.3) |
| 7 | INT'L CONFERENCE | S. Sugiyama, Y. Zhang, M. Hosaka, H. Ueno, O. Tabata and R. Maeda | Study on Fabrication of High Aspect Ratio MEMS Microparts Using a Compact SR Beamline | Book of Abstracts of High Aspect Ratio Micro Structure Technology (HARMST '97), Madison, USA (1997.6) |
| 8 | INT'L CONFERENCE | Kenichiro Suzuki and Susumu Sugiyama | Silicon IC Compatible LIGA Mask Fabrication Process | Book of Abstracts of High Aspect Ratio Micro Structure Technology (HARMST '97) Madison, USA (1997.6) |
| 9 | INT'L CONFERENCE | H. Ueno, M. Hosaka, Y. Zhang, O. Tabata, S. Konishi and S. Sugiyama | Study on Fabrication of High Aspect Ratio Microparts Using the LIGA Process | IEEE, Proceeding of the 1997 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, Nagoya, Japan, pp.49-54, Oct. 6, 1997. |
| 10 | INT'L CONFERENCE | S. Konishi, M. Yoda, N. Hosaka, S. Sugiyama and S. Akishita | Tunable Acoustic Absorbing System Using a Deep Hole Array | Proceeding of The Eleventh Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS'99), Heidelberg, Germany, pp.655-660, Jan. 25-29, 1998. |
| 11 | DOMESTIC CONFERENCE |
N. Nakamura, S. sugiyama, T. Chigira, M. Sugimori and H. Yamamoto | A Point Mass Circular Movement Gyroscope | Technical Digest of the 15th Sensor Symposium, IEEJ, Kawasaki, Japan, pp.35-38 (1997.6) |
| 12 | DOMESTIC CONFERENCE |
K. Maenaka, T. Fujita, S. Sugiyama and M. Maeda | Design and Realization of ASIC for Silicon Gyroscopes, by using Multi-Chip Service | Technical Digest of the 15th Sensor Symposium, IEEJ, Kawasaki, Japan, pp.271-274 (1997.6) |
| 13 | DOMESTIC CONFERENCE |
K. Suzuki, H. Ueno, N. Nakamura and S. Sugiyama | An X-ray Mask with a Low-Stress Controlled Polysilicon Membrane in Use for High Aspect Ratio Pattern Lithography | Technical Digest of the 15th Sensor Symposium, IEEJ, Kawasaki, Japan, pp.197-200 (1997.6) |
| 14 | DOMESTIC CONFERENCE |
上野 洋, 保坂 誠, 張 延平, 田畑 修, 杉山 進 | LIGAプロセスを用いた高アスペクト比マイクロマシン製作の検討 | 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'97 講演論文集(A) 7A3-103, 厚木, pp.101-102 (1997.6) |
| 15 | DOMESTIC CONFERENCE |
杉山 進 | マイクロストラクチャーの加工法 | 日本材料学会関西支部材料シンポジウム-マイクロマテリアルの創製とその評価-, 大阪, pp.10-19 (1997.6) |
| 16 | DOMESTIC CONFERENCE |
杉山 進 | シリコン圧力センサ | 電気学会東海支部専門講習会「センサの基礎と応用」, 名古屋, pp.27-35 (1997.11) |
| 17 | DOMESTIC CONFERENCE |
西倉裕貴, 田畑 修, 杉山 進 | ＵＶ厚膜レジストによる高アスペクト比マイクロストラクチャの製作 | 電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会（マイクロマシン研究会）研究会資料MM-97-8, 東京, pp.1-5 (1997.11) |
| 18 | DOMESTIC CONFERENCE |
前中一介, 藤田孝之, 杉山 進, 前田宗雄 | マルチチップサービス初回ランで試作したアナログＩＣの報告 | 電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会（物理センサ研究会）研究会資料PS-97-31, 東京, pp.51-57 (1997.11) |
| 19 | DOMESTIC CONFERENCE |
新井雅人, 澤 和也, 鳥山寿之, 杉山 進 | 応力の３軸成分を有効利用したピエゾ抵抗型力センサ | 電気学会マイクロマシン研究会, 研究会資料MM-98-3, 草津, pp.11-16 (1998.2) |
| 20 | DOMESTIC CONFERENCE |
鳥山寿之, 杉山 進 | 半導体ひずみゲージのひずみ-抵抗係数とその結晶方位依存性 | 平成10年電気学会全国大会講演論文集[3], pp.3-182 (1998.3) |
| 21 | DOMESTIC CONFERENCE |
上野 洋, 保坂 誠, 田畑 修, 小西 聡, 杉山 進 | SiCメンブレンを用いたLIGAプロセス用Ｘ線マスクの製作 | 平成10年電気学会全国大会講演論文集[3], pp.3-193 (1998.3) |