PUBLISHED PAPERS & PRESENTATIONS BY SUGIYAMA LAB.
<Apr. '98 - Mar. '99>
| No. | PRESEN- TATION |
AUTHOR／ COAUTHOR | TITLE | JOURNAL & PUBLISHER ／CONFERENCE NAME |
| 1 | PAPER | N. Nakamura, S. Sugiyama, T. Chigira, M. Sugimori and H. Yamamoto | A Point Mass Circular Movement Gyroscope | The Transactions of The Institute of Electrical Engineers of Japan, Vol.118-E, No.4, pp.235-239, Apr. 1998. |
| 2 | PAPER | Masayoshi Esashi, Susumu Sugiyama, Kyouichi Ikeda, Yuelin Wang and Haruzo Miyashita | Vacuum-Sealed Silicon Micromachined Pressure Sensors | Proceedings of the IEEE, Vol.86, No.8, pp.1627- 1639 (1998.8) |
| 3 | PAPER | Susumu Sugiyama | Role of the Microfabrication Foundry in MEMS R&D | Proceedings of the Fourth International Micromachine Symposium, Tokyo, Japan, pp.37-44, Oct. 29, 1998. |
| 4 | PAPER | Susumu Sugiyama | Multi-user Integration Chip Service Project for MEMS | IEEE, Proceedings of the 1998 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, Nagoya, Japan, pp.35-40, Nov. 25-28, 1998. |
| 5 | PAPER | 杉山 進 | 小型シンクロトロン放射光を用いた高アスペクト比マイクロマシン製作の研究 | 「放射線と産業」第81号, pp.25-31 (1999.2) |
| 6 | PAPER | 小西 聡, 与田光宏, 杉山 進, 秋下貞夫 | 微少音響アレーを用いた特性可変吸音デバイス | 電子情報通信学会論文誌C-Ⅱ, Vol.J82 -C-Ⅱ, No.3, pp.95-100 (1999.3) |
| 7 | INT'L CONFERENCE | Susumu Sugiyama | Role of the Microfabrication Foundry in MEMS R&D | The Fourth International Micromachine Symposium, Tokyo, Japan, Oct. 29, 1998. |
| 8 | INT'L CONFERENCE | Susumu Sugiyama | Multi-user Integration Chip Service Project for MEMS | The 1998 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, IEEE, Nagoya, Japan, Nov. 25-28, 1998. |
| 9 | INT'L CONFERENCE | Ryoji Kondo, Kenichiro Suzuki and Susumu Sugiyama | Study on Fabrication of High Aspect Ratio Electrostatic Micro Actuators Using LIGA Process | IEEE, Proceedings of the 1998 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, Nagoya, Japan, pp.155-160, Nov. 25-28, 1998. |
| 10 | INT'L CONFERENCE | Toshiyuki Toriyama and Susumu Sugiyama | Crystal Anisotropy of Elastoresistance Effect of Semiconductive Piezoresistor and Its Application to Transducers | Proceedings of the 1998 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, Nagoya, Japan, pp.183-188, Nov. 25-28, 1998. |
| 11 | INT'L CONFERENCE | Satoshi Konishi, Kazuhiro Honsho and Susumu Sugiyama | Direct Drawing for Microfabrication without Photolithography | Twelfth IEEE International Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS'99), Florida, USA, pp.194-199, Jan. 17-21, 1999. |
| 12 | DOMESTIC CONFERENCE | 杉山 進 | LIGAプロセスの現状とマイクロマシンへの応用 | 次世代センサ協議会, センサ・アクチュエータ／ウィーク'98総合シンポジウム, pp.17-23, 東京 (1998.4) |
| 13 | DOMESTIC CONFERENCE | 杉山 進 | マイクロマシニングとその応用 | 電気学会東京支部栃木支所講演会, 宇都宮 (1998.4) |
| 14 | DOMESTIC CONFERENCE | Kazuya Sawa, Masato Arai, Toshiyuki Toriyama and Susumu Sugiyama | Piezoresistive Force Sensor Utilizing Combination of Three-Axis Stress Components | Technical Digest of the 16th Sensor Symposium, IEEJ, Kawasaki, Japan, pp.45-50, (1998.6) |
| 15 | DOMESTIC CONFERENCE | H. Ueno, M. Hosaka, O. Tabata, S. Konishi and S. Sugiyama | X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process | Technical Digest of the 16th Sensor Symposium, IEEJ, Kawasaki, Japan, pp.189-194, (1998.6) |
| 16 | DOMESTIC CONFERENCE | Ryoji Kondo, Makoto Hosaka, Kenichiro Suzuki and Susumu Sugiyama | Study on Fabrication of High Aspect Ratio Electrostatic Micro Actuators Using LIGA Process | Technical Digest of the 16th Sensor Symposium, IEEJ, Kawasaki, Japan, pp.195-198, (1998.6) |
| 17 | DOMESTIC CONFERENCE | Mitsuhiro Yoda, Satoshi Konishi, Makoto Hosaka, Susumu Sugiyama and Sadao Akishita | Tunable Acoustic Absorbing System Using A Micro Hole Array | Technical Digest of the 16th Sensor Symposium, IEEJ, Kawasaki, Japan, pp.253-256 (1998.6) |
| 18 | DOMESTIC CONFERENCE | 与田光宏, 小西 聡, 保坂 誠, 杉山 進, 秋下貞夫 | マイクロホールアレイを用いた適応吸音システム | 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'98講演論文集, 1AⅣ1-5, 仙台 (1998.6) |
| 19 | DOMESTIC CONFERENCE | 近藤亮史, 保坂 誠, 鈴木健一郎, 杉山 進 | LIGAプロセスによる静電マイクロアクチュエーター製作の検討 | 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'98講演論文集, 1AⅣ1-7, 仙台 (1998.6) |
| 20 | DOMESTIC CONFERENCE | 杉山 進 | 放射光を用いた高アスペクト比マイクロマシニング（LIGA） | 応用物理学会, 関西支部セミナー, pp.13-19, 大阪 (1998.7) |
| 21 | DOMESTIC CONFERENCE | 杉山 進 | MICS (Multi-user Integration Chip Service) | SEMI Japan, 電気学会, The 2nd SEMI Microsystem/MEMS Seminar, pp.87-99, 千葉 (1998.12) |
| 22 | DOMESTIC CONFERENCE | 長谷貴充, 小西 聡, 与田光宏, 鳥山寿之, 杉山 進 | マルチチップサービスを用いた薄膜ダイアフラムデバイスの開発 | 電気学会マイクロマシン研究会, 研究会資料MM-99-9, pp.15-20, 草津 (1999.3) |
| 23 | DOMESTIC CONFERENCE | 田所秀介, 小西 聡, 杉山 進, 後藤友彰, 松下浩二, 谷口克己 | 低Ｇ検出用静電容量型加速度センサ | 電気学会マイクロマシン研究会, 研究会資料MM-99-10, pp.21-26, 草津 (1999.3) |
| 24 | DOMESTIC CONFERENCE | 杉山 進 | マルチユーザー集積化チップサービス (MICS) の概要 | 平成11年度電気学会全国大会講演論文集[3], pp.S.18-1-4, 山口 (1999.3) |