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No.	PRESEN- TATION	AUTHOR／ COAUTHOR	TITLE	JOURNAL & PUBLISHER ／ CONFERENCE NAME
1	PAPER	Hiroshi Ueno, Makoto Hosaka, Osamu Tabata, Satoshi Konishi and Susumu Sugiyama	X-ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process	The Transactions of The Institute of Electrical Engineers of Japan, Vol.119-E, No.4, pp.229-235 (Apr. 1999)
2	PAPER	Kazuya Sawa, Masato Arai, Toshiyuki Toriyama and Susumu Sugiyama	Piezoresistive Force Sensor Utilizing Combination of Three-Axis Stress Components	The Transactions of The Institute of Electrical Engineers of Japan, Vol.119-E, No.6, pp.327-333 (June 2000)
3	PAPER	Ryoji Kondo, Kenichiro Suzuki and Susumu Sugiyama	Study on Fabrication of High Aspect Ratio Electrostatic Micro Actuators Using LIGA Process	Memoirs of the SR Center, Ritsumeikan University, No1, pp.23-32, October 1999
4	PAPER	H. Ueno, M. Hosaka, O. Tabata, S. Konishi and S. Sugiyama	X-Ray Mask with SiC Membrane for LIGA Process	Memoirs of the SR Center, Ritsumeikan University, No1, pp.33-44, October 1999
5	PAPER	谷本靖忠、鳥山寿之､澤和也、杉山進	3軸の応力成分を利用した高圧測定用シリコンピエゾ抵抗型圧力センサの開発	立命館大学理工学研究所紀要、第58号、1999年、pp.103-113　(2000.3)
6	INT'L CONFERENCE	Toshiyuki Toriyama, Yoshihiko Yokoyama, Mikihiro Nakazawa and Susumu Sugiyama	Isotropic Piezoresistance Properties of Polycrystalline Semiconductors	The 10th International Conference on Solid State Sensors and Actuators (Transducers'99), Digest of Technical Papers, pp.568-571, Sendai, Japan June 7-10, 1999.
7	INT'L CONFERENCE	Kazuya Sawa, Yasutada Tanimoto, Toshiyuki Toriyama and Susumu Sugiyama	A New Force Sensor Utilizing Combination of Three-Axis Stress Components	The 10th International Conference on Solid State Sensors and Actuators (Transducers'99), Digest of Technical Papers, pp.1624-1627, Sendai, Japan June 7-10, 1999.
8	INT'L CONFERENCE	H. Ueno, Y. Zhang, N. Nishi and S. Sugiyama	Fabrication of Sub-Micron　Structures for MEMS Using Deep X-ray Lithography	Book of Abstract The Third　International Workshop on High Aspect Ratio Microstructure Technology　(HARMST'99), pp.44-45, Kisarazu, June 13-15, 1999
9	INT'L CONFERENCE	R. Kondo, S. Takimoto, K. Suzuki and S. Sugiyama	High Aspect Ratio Electrostatic Micro Actuators Using LIGA Process	Book of Abstract The Third International Workshop on High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST'99), pp.138-139, Kisarazu, June 13-15, 1999
10	INT'L CONFERENCE	S. Sugiyama	LIGA Multi-user Integration Chip Service Project	Book of Abstract The Third International Workshop on High Aspect Ratio Microstructure Technology (HARMST'99), pp. 34-35, Kisarazu, June 13-15, 1999
11	INT'L CONFERENCE	S. Sugiyama	High Aspect Ratio Micro Electro Mechanical Devices -Fabrication and Applications-	The Microsystem in Harsh Environments Workshop, Glennan Micro-systems Initiative, NASA and OAI, Cleveland, USA, Oct. 20-21, 1999
12	INT'L CONFERENCE	T. Toriyama, K. Sawa, Y. Tanimoto and S. Sugiyama	A New Piezoresistive High Pressure Sensor Utilizing Combination of Three-Axis Normal Stress Components	Proceeding of the 1999 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, pp.215-220, Nagoya, November 23-26, 1999
13	INT'L CONFERENCE	H. Ueno, N, Nishi and S. Sugiyama	Study on Fabrication of Sub-Micron Structures for MEMS Using Deep X-Ray Lithography	Proceeding of the 1999 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, pp.87-92, Nagoya, November 23-26, 1999
14	INT'L CONFERENCE	N, Nishi, T. Katoh, H. Ueno, S. Konishi and S. Sugiyama	3-Dimensional Micromachining of PTFE Using Synchrotron Radiation Direct Photo-Etching	Proceeding of the 1999 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, pp. 93-98, Nagoya, November 23-26, 1999
15	INT'L CONFERENCE	S. Takimoto, R. Kondo, K. Suzuki and S. Sugiyama	Fabrication of Micromotors Using LIGA Process	Proceeding of the 1999 International Symposium on Micromechatronics and Human Science, pp.221-226, Nagoya, November 23-26, 1999
16	INT'L CONFERENCE	T. Katoh, N. Nishi, M. Fukagawa, H. Ueno and S. Sugiyama	Direct Writing for Three-Dimensional Microfabrication Using Synchrotron Radiation Etching	Proceedings IEEE The Thirteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2000), pp.556-561, Miyazaki, January 23-27, 2000
17	INT'L CONFERENCE	H. Ueno, N. Nishi and S. Sugiyama	Fabrication of Sub-Micron Structures with High Aspect Ratio for MEMS Using Deep X-Ray Lithography	Proceedings IEEE The Thirteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2000), pp.596-601, Miyazaki, January 23-27, 2000
18	DOMESTIC CONFERENCE	杉山　進	LIGAによる高アスペクト比マイクロストラクチャのセンサーへの応用	第116回センシング技術応用研究会, 研究会資料 , pp.1-7, 大阪 (1999.4)
19	DOMESTIC CONFERENCE	杉山　進	シンクロトロン放射光による精密電鋳プロセス	日本機械学会講習会「精密工学の最先端と情報通信機器への応用」, pp.29-34, 東京 (1999.5)
20	DOMESTIC CONFERENCE	浜田博之, 進元幸治, 杉山進	バイモルフ型マイクロバルブの製作	日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会’99, 1P2-60-088(CD-ROM), 東京 (1999.6)
21	DOMESTIC CONFERENCE	濱田博之, 福島敏道, 杉山進	圧電バイモルフ型マイクロバルブの製作	平成11年度電気学会東京支部連合研究会, マイクロマシン研究会, 研究会資料MM-99-19, 東京 (1999.9)
22	DOMESTIC CONFERENCE	杉山　進	ＳＲ光における超微細構造体の製作	平成11年度電気学会東京支部連合研究会, 光・量子デバイス研究会, 研究会資料OQD-99-40, pp.1-6, 東京 (1999.9)
23	DOMESTIC CONFERENCE	杉山　進	LIGAプロセス技術	日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会第43回研究会, 東京 (1999.9)
24	DOMESTIC CONFERENCE	杉山　進	X線リソグラフィーを用いたマイクロマシンの製作技術	京都府産学官新技術交流フェア, 第２分科会(新素材･加工技術）講演要旨, pp.27-33, 精華 (1999.10)
25	DOMESTIC CONFERENCE	宮村和宏, 仲野　聡, 杉山　進	円運動型マイクロジャイロスコープに関する研究	電気学会センサ・マイクロマシン準部門平成11年度総合研究会、物理センサ研究会, 研究会資料PS-99-10, 東京 (1999.11)
26	DOMESTIC CONFERENCE	杉山　進	LIGAプロセスによる高アスペクト比マイクロ構造の製作	精密工学会マイクロメカニズム専門委員会, 東京 (2000.1)
27	DOMESTIC CONFERENCE	杉山　進	X線リソグラフィーを用いたマイクロマシンの製作技術	表面技術協会関西支部講演会, 草津 (2000.1)
28	DOMESTIC CONFERENCE	杉山　進	高アスペクト比MEMSの製作技術と応用	第6回高度技術セミナー, 名古屋大学先端技術共同研究センター, 講演資料, pp.86-96, 名古屋 (2000.2)
29	DOMESTIC CONFERENCE	鳥山寿之, 杉山　進	価電子バンドに基づくp型Siのピエゾ抵抗効果の解析	電気学会マイクロマシン研究会, 研究会資料MM-00-5, pp.25-30, 草津 (2000.2)
30	DOMESTIC CONFERENCE	山本秀俊, 鳥山寿之, 杉山　進, 村上健介, 川上司	センサ用薄膜内部応力のアニール効果のラマン分光法による検討	電気学会マイクロマシン研究会, 研究会資料MM-00-7, pp.37-40, 草津 (2000.2)
31	DOMESTIC CONFERENCE	杉山　進	マイクロマシン・マルチチップサービス（MICS）の活動報告	平成12年電気学会全国大会講演論文集[3], 3-S19-7, pp.1343-1344 (2000.3)
32	DOMESTIC CONFERENCE	谷本靖忠, 鳥山寿之, 杉山　進	ポリシリコンナノワイヤーピエゾ抵抗素子の製作	平成12年電気学会全国大会講演論文集[3], 3-157, p.1113 (2000.3)