（於：SRセンター）

シンクロトロン放射光ビームライン

シンクロトロン放射光を用いて、高アスペクト比リソグラフィ、ＬＩＧＡ (Lithographie, Galvanoformung, Abformung ) 露光、三次元リソグラフィ、ＴＩＥＧＡ ( Teflon Induced Etching Galvanicforming ) を行うためのビームライン３基が設置されています。