| フォトルーム ＿＿＿＿＿＿＿ＥＢ描画室
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|---|---|---|---|
| No. | フォトルーム | No. | ＥＢ描画室 |
１ |
レジストワークベンチ | ７ |
ＥＢ描画装置 |
２ |
顕微鏡 | ８ |
エアーシャワー |
３ |
クリーンオーブン | ||
４ |
光造形装置 | ||
５ |
両面マスクアライナー | ||
６ |
片面マスクアライナー | ||
| ＥＢ描画室・フォトルーム
＜ ク リ ー ン ル ー ム ＞ |
| フォトルーム ＿＿＿＿＿＿＿ＥＢ描画室
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|---|---|---|---|
| No. | フォトルーム | No. | ＥＢ描画室 |
１ |
レジストワークベンチ | ７ |
ＥＢ描画装置 |
２ |
顕微鏡 | ８ |
エアーシャワー |
３ |
クリーンオーブン | ||
４ |
光造形装置 | ||
５ |
両面マスクアライナー | ||
６ |
片面マスクアライナー | ||
