| 研 究 設 備 一 覧 |
（於：エクセル２） マイクロプロセス実験室
|
||
|---|---|---|
| 装置名 | 型番 | メーカー |
| 拡散・酸化・アニール炉（４段×２台） | (株)リケン | |
| プラズマＣＶＤ装置 | ＰＤ２４００改 | (株)サムコインターナショナル研究所 |
| 反応性イオンエッチング装置 | ＲＩＥ－１０Ｎ改 | (株)サムコインターナショナル研究所 |
| スパッタ装置 | 日本真空(株) | |
| ＥＢ蒸着装置 | 日本真空(株) | |
| 真空蒸着装置 | 日本真空(株) | |
| ワイヤーボンダー | ４１２４(Ｍ) | Kulicke & Soffa (Japan) LTD |
| ウェットエッチング・洗浄ステーション | ヤマト科学(株) | |
（於：エクセル２） |
||
|---|---|---|
| 装置名 | 型番 | メーカー |
| ＥＢ描画装置 | ＪＢＸ－５０００ＬＳ | 日本電子(株) |
| 両面マスクアライナー | ＰＥＭ－８００ | ユニオン光学(株) |
| マスクアライナー | 共和理研 | |
| 光造形装置 | DENKEN | |
（於：SRセンター, エクセル２） ＬＩＧＡプロセス設備 |
||
|---|---|---|
| 装置名 | 型番 | メーカー |
| シンクロトロン放射光ビームライン | ＡＵＲＯＲＡ | 住友重機械工業(株) |
| Ｘ線露光装置 | 住友重機械工業(株) | |
| Ｎｉメッキ装置 | 日鉱メタルプレーティング(株)他 | |
| レジスト作業ステーション | ||