（於：エクセル２）

フ ォ ト ル ー ム

フォトルーム・EB描画室の配置図はこちら

ＵＶリソグラフィーを用いて，マイクロオーダーの素子パターンの露光・現像が可能です。三次元マイクロファブリケーション用に両面アライナ、光造形システムが設置されています。