 圧力、磁気、赤外線などの物理センサや静電力
圧電効果などを応用したアクチュエータの動作
原理からもの作りまでを研究し、新しいマイク
ロデバイスの開発をめざしています。写真は小型力センサ(測定範囲２００Ｎ) の開発例を示します。 NEXT |
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| 圧力、磁気、赤外線などの物理センサや静電力
圧電効果などを応用したアクチュエータの動作
原理からもの作りまでを研究し、新しいマイク
ロデバイスの開発をめざしています。 写真は小型力センサ(測定範囲２００Ｎ) の開発例を示します。 NEXT |
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 バルクマイクロマシニング、サーフェスマイク
ロマシニングおよびLIGAプロセスの３つの主要
プロセス技術を融合した３次元マイクロマシニ
ングプロセスの研究を行っています。写真はＬＩＧＡプロセスを用いて製作し たＮｉマイクロワブルモーター（直径１ミリ、 高さ100ミクロン）のＳＥＭ写真を示します。 Back Next |
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センサの信号処理(増幅、補償、調整)、アクチュ
エータの制御に最適な処理回路ＩＣの設計など集
積化マイクロシステムの研究を行っています。写真はセンサ信号処理用オリジナルＡＳＩＣ のチップ写真を示します。 Back |
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