- 研究の概要・・・
マイクロロボット、マイクロマシン、マイクロセンサのデザイン、製法の研究。世界的に有名な本学のシンクロトロン放射光を使ってマイクロ加工をしています。人間の五感であるセンサと、頭脳であるマイクロコンピュータと、手足となるアクチュエータを数ミリ角のシリコンチップ（ICの基板）上にミクロン以下の寸法精度で作り上げ、いろいろな仕事（分析、計測、反応、情報変換、刺激など）をさせるマイクロチップのデザインや応用を研究しています。将来人間に近いロボットに組み込まれる重要なパーツやエンジンになるでしょう。
- 当研究室では・・・
◆「センサ・アクチュエータ・処理回路を一体化したマイクロ電気・機械システム(MEMS)の実現と産業応用」
を目標に、 デバイス設計技術
・マイクロプロセス技術
・処理回路技術
を３本柱とした研究を進めています。
◆マイクロマシン技術とは具体的には・・・
(最近の杉山研はこういうテーマで研究を進めています。)
- 杉山 進
教授 とは・・・
- 当研究室ＯＢの就職先は・・・
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