1995年度 杉山研究室 論文･学会発表
Apr. '95 - Mar. '96
| No. | 発表形態 | 著者／発表者 |
著書・論文名等 |
出版社／掲載誌／学会名等 |
| 1 | 論文 | O. Tabata, K. Shimaoka, R.Asahi and S. Sugiyama | Micromachined Sensors Using Polysilicon Sacrificial Layer Etching Technology | Sensors and Materials Vol.8, No.1, pp.57-67, MYU (1996.1) |
| 2 | 国際学会発表 | S. Sugiyama | Current and Future MEMS Application in Sensor Technology | Proceeding of Second Micro Electro-Mechanical System Workshop, Taiwan (1996.1) |
| 3 | 国内学会発表 | 杉山 進 | マイクロセンサの実用化技術 | 次世代センサ協議会第5回センサテクノスクール, PP.1-9 (1995.6) |
| 4 | 国内学会発表 | 杉山 進 | マイクロマシニングを応用した−センシング技術− | 日本機械学会東海支部・関西支部合同企画第28回座談会資料, pp.13-21 (1995.10) |
| 5 | 国内学会発表 | 杉山 進 | マイクロマシニングを応用したマイクロセンサ | 電気学会関西支部専門講習会講演論文集, pp.37-44 (1995.10) |
| 6 | 国内学会発表 | S. Sugiyama | Integrated Sensors Using Surface Micromachining | Proceeding of IEEE Forum on Micromachine and Micromechatronics, pp.103-114 (1995.10) |
| 7 | 調査報告 | 中村哲郎，川人祥二， 前中一介，杉山 進， 他３８名 | インテリジェントセンサデバイスの技術動向 | 電気学会技術報告， インテリジェントセンサデバイス調査専門 委員会 (1995.4) |
| 8 | 調査報告 | 杉山 進 | LIGA&マイクロマシーニング | 電気学会センサ・マイクロマシン部門 Transducers '95 報告会資料, pp.9-20 (1995.8) |