|||R E S E A R C H
||| ナノマシニングプロセスとデバイス技術
Nano-machining Process and Device Technology |
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 マイクロ機械量センサ技術Micromechanical Sensor Technology |
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 サーフェスマイクロマシニングによるマイクロセンサSurface Micromachined Sensors |
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 圧電型マイクロポンプおよびマイクロバルブPiezoelecric Micropumps and Microvalves |
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| マイクロパッケージング Micropackaging |
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 SMILE（シンクロトロン放射光を用いたリソグラフィーとエッチング技術）SMILE (Synchrotron Radiation Micro Lithography and Etching) |
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| ヒューマン情報計測センサ Sensors for the Human Information |
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 マイクロロボットMicro Robot |
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 マイクロマシン集積チップサービスMICS (Micromachine Integrated Chip Service) |