大学院では新たに、情報システム学専攻 「システムVLSIコース」・物質理工学専攻 「集積エレクトロニクスコース」と2つのコース設け、学部MELPECと連携させ、学部MELPEC教育を基礎とするプロフェッショナル教育を行う。
今後のシステムとLSIの融合分野の展開を視野に入れて、LSIデザインの技術者・研究者を養成する。
原子・分子レベルから電子デバイスまでのLSIプロセスに関する技術者・研究者を養成する。
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