太陽電池作製装置
◇スパッタ装置
RF1元スパッタ
RF3元スパッタ
RF4元スパッタ
ARスパッタ
◇MBE装置
◇ランプ加熱装置
◇抵抗加熱蒸着装置
卓上型RTA
簡易型赤外線RTA
◇汎用熱処理装置
◇H
2
S環状炉
評価装置
◇Ｘ線回折装置
◇走査型電子顕微鏡
◇分光光度計
◇QE測定装置
◇Solar simulator
◇時間分解PL測定装置
◇LBIC測定装置
◇触針式表面形状測定器
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02.jpg "MBE装置④")
