| 第２実験室＿＿＿＿＿＿＿＿第１実験室
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|---|---|---|---|
| No. | マイクロプロセス第２実験室 | No. | マイクロプロセス第１実験室 |
１ |
シリンダーキャビネット | 11 |
酸化・拡散炉 |
２ |
多層膜ＣＶＤ装置 | 12 |
アニール炉 |
３ |
ＥＢ蒸着装置 | 13 |
エピタキシャル成長炉 |
４ |
真空蒸着装置 | 14 |
Ｎｉメッキ装置 |
５ |
エリプソメーター | 15 |
ウェットベンチ |
６ |
ボンダー | ||
７ |
プラズマＣＶＤ装置 | ||
８ |
ＲＩＥ装置 | ||
９ |
スパッタ装置 | ||
10 |
コンプレッサー | ||
