本研究室では、薄膜形成・微細加工・電気光学評価を研究室内で一貫して行い、光センサ、光発電デバイス、人工シナプスなどの研究に取り組んでいます。

薄膜作製・微細加工系

 薄膜機械電子物性 第２実験室　成膜エリア　（蒸着装置、スパッタ装置など）

各種の金属、半導体、絶縁体の薄膜を作製します。 

ITO透明電極の スパッタ成膜の様子

計測・評価系

 薄膜機械電子物性 第２実験室 計測・評価エリア （ソースメジャーユニット、疑似太陽光源、波長可変光源、分光光度計、電気化学アナライザなど）

疑似太陽光や各種波長光やメカ的変形への材料・デバイスの応答を評価します。

断続光への材料・デバイスの応答性を評価します。 

材料に光を照射した際の透過スペクトルを評価します。