センター紹介/立命館大学　先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター

＜設立趣意および経緯＞

　１９８０年代後半に、ＬＳＩと同じ半導体プロセス技術を用いてシリコン基板上にミクロンサイズの歯車やモーターを作り上げる革命的なマイクロシステム技術が登場し、それ以来世界中の大学・企業で研究が進められてきました。現在は、「如何に作るか」から「何を作るか」の実用化研究のフェーズに移り始めました。近い将来、マイクロシステム技術はＩＴ産業が半導体ＬＳＩによって革命的な発展を遂げたように、新しい産業を創生する画期的な役割を果たすものと期待されています。立命館大学では、これからのマイクロシステム技術に対応した展開を図るべく、１９９５年にマイクロプロセス施設を、１９９６年にシンクロトロン放射光施設（ＳＲセンター）を、さらに２０００年にはマイクロシステムデザインルームを順次開設し、設計から試作・評価までをトータルにカバーするマイクロシステム技術の研究環境を整備するとともに、これら施設を活用して多くの企業・公的機関との産官学連携研究を積極的に進めてまいりました。これまでお力添え頂きました皆様方に心より感謝申し上げますとともに、微力ながら多少なりとも皆様の御役に立てたのではないかと自負している次第でございます。
　さて、マイクロシステム技術の関連領域は、機械、電気、光、物理、化学、生物と広範囲に渡っており、その技術開発スピードはますます加速されつつあります。２１世紀におけるマイクロシステム技術分野の一層の発展を支えるためには、マイクロシステム技術分野に関わる多くの研究者・技術者間の密接な情報交換が必要不可欠となっていると考えられます。
　そこで、立命館大学ではマイクロシステム技術の産官学連携研究をさらに推進するべく、そのコアとなる「マイクロシステム技術研究センター」の設立に着手いたしました。この研究センターでは、共同研究、受託研究、技術指導など、さらに多くの産官学連携研究を推進する所存です。

2007年4月に「マイクロシステム技術研究センター」を「ナノマシンシステム技術研究センター」に改称
2011年4月に「ナノマシンシステム技術研究センター」を現在の「先端マイクロ・ナノ技術研究センター」に改称

＜概要＞

-先端マイクロ・ナノシステム技術研究センターとは-

先端マイクロ・ナノシステム技術研究センターは、産業界や官系研究機関との連携研究を目的としたリエゾン型研究機関です。先端マイクロ・ナノナノシステム研究センターでは、積極的な産官学連携研究によってマイクロシステム技術を次世代の産業技術に応用するとともに、企業研究者・学生・大学院生、高度で実践的な研究力量をもった技術者の育成を推進しております。

＜事業内容＞

-研究事業-

●マイクロ・ナノデバイスデザインおよびシステム化技術の開発
●マイクロ・ナノファブリケーションおよびマイクロ・ナノマテリアル評価技術の開発

-産学官連携事業-

●産業界との共同研究，受託研究，技術指導などの交流

＜パンフレットダウンロード＞
先端マイクロ・ナノシステム技術研究センターパンフレット
　

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立命館大学　先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター事務局

〒525-8577
滋賀県草津市野路東1-1-1
立命館大学びわこ・くさつキャンパス　リサーチオフィス（ＢＫＣ）
テクノコンプレクス１階

TEL:077-561-2802 FAX:077-561-2811
e-mail: microsys@st.ritsumei.ac.jp