研究領域/立命館大学　先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター

マイクロファブリケーション技術

●バルクマイクロマシニング、サーフェスマイクロマシニング、ＬＩＧＡプロセスに加え、さらに物理化学現象を利用した新規三次元加工プロセス技術など、革新的なマイクロファブリケーション技術を開発します。

●シンクロトロン放射光あるいはレーザなどの量子ビーム加工技術の開発に取り組みます。

●マイクロマシニングとＶＬＳＩプロセスを融合した集積化技術の研究を行います。

マイクロシステム技術

●マイクロマシニング技術を利用して実現できる機械システムあるいは機械と電気が融合したマイクロシステムの概念とその有用性を示すとともに、さらなるニーズを創製するための研究をします。

●多くの賢いマイクロマシンを散りばめた分散型マイクロシステムや、比較的単純な要素デバイス群が協調動作して複雑な仕事をする協調動作型システムの研究を行い、広い視野に基づいてマイクロシステム技術の可能性を追求していきます。

デバイスデザイン技術

●機械量（圧力・加速度など）や、光・磁気を中心にした物理センサ、および静電型、圧電型、電熱型などのアクチュエータの検出原理から掘り下げた新規デバイスの開発を推進します。

●センサ、アクチュエータ、マイクロリアクターなどの機能デバイス、処理回路を同一基板上に一体集積した光集積システム、化学分析システム（μ－ＴＡＳ）

●バイオチップなど、デバイス化に関する研究やシミュレーションによって机上研究のみでなく実際に「モノ」を作り、その性能評価に取り組みます。

　　力センサ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ワブルモーター

マイクロ機能材料・評価技術

●マイクロシステムに適した機能材料の創出、マイクロ･ナノスケールにおける材料のもつ優れた特性活用法、微細加工工程の基礎解析、工程管理に必要な主々のパラメータの計測・評価等の研究を行います。

●新規な微細加工技術をメカニズムの基礎から応用までの広い視点で理解するために、原子レベルの解析、ナノスケールの計測評価から加工されたマイクロパーツの強度測定といった、マクロな計測・評価までを取扱います。

マイクロ材料試験片　　　　　　　　　　　　　　AFM評価技術

立命館大学　先端マイクロ・ナノシステム技術研究センター事務局

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