Œ¤‹†ˆõˆê——�i2013”N4ŒŽŒ»�Ý�j

Œ¤‹†ˆõ Œ¤‹†Žå‘è�Eƒvƒ�ƒtƒB�[ƒ‹
ƒZƒ“ƒ^�[’·
–ØŒÒ ‰ë�Í ‹³Žö
�W�ω»MEMSƒZƒ“ƒT
http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/29/0002832/profile.html
•›ƒZƒ“ƒ^�[’·
’¹ŽR Žõ”V‹³Žö

MEMS‹Z�p‚ð‰ž—p‚µ‚½ƒ}ƒCƒNƒ�ƒ^�[ƒ{‹@ŠB—v‘f‚ÌŒ¤‹†

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/38/0003753/profile.html
�™ŽR�i ‹³Žö
ƒ}ƒCƒNƒ��Eƒiƒmƒ}ƒVƒ“�AƒZƒ“ƒT�A�W�Ï“dŽq‹@ŠBƒVƒXƒeƒ€

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/37/0003645/profile.html
—é–ØŒ’ˆê˜Y ‹³Žö
Œg‘Ñ’[––—pRF-MEMS‚¨‚æ‚ÑŒõMEMSƒfƒoƒCƒX‚È‚ç‚тɂ±‚ê‚ç‚ð”­“W‚³‚¹‚½�W�Ï‹@ŠB‰ñ˜H‚ÌŒ¤‹†

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/28/0002788/profile.html
‹{–ì�®�Æ ‹³Žö�@
ƒZƒ“ƒTƒlƒbƒgƒ��[ƒN�Aˆã—pƒVƒXƒeƒ€‚ւ̉ž—p

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/28/0002745/profile.html
�¬�¼‘� ‹³Žö�@�@�@
ƒ}ƒCƒNƒ�/ƒiƒmƒ�ƒJƒgƒ�ƒjƒNƒX�AMEMS

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/38/0003701/profile.html
“c’†�Ž•F ‹qˆõ‹³Žö
ƒ}ƒCƒNƒ�“d‹C‹@ŠBƒVƒXƒeƒ€(MEMS)‚ÌŒ¤‹†

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/28/0002751/profile.html
ˆ¹ŽRœ¨ ‹³Žö
‹à‘®�AƒZƒ‰ƒ~ƒNƒX�Þ—¿‚Ì�ÞŽ¿�§Œä�A�\‘¢‰ð�Í�A’´�‚‹­“x�E�‚‰„�«�Þ—¿‚ÌŠJ”­

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/33/0003296/profile.html
�¡ˆä–Î ‹³Žö
’P“dŽqƒfƒoƒCƒX‚Ì—�˜_“IŒ¤‹†

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/38/0003705/profile.html
”’�Î�°Ž÷ ‹³Žö�@
ƒvƒŠƒ“‰–Šî‹y‚Ñ‚»‚Ì—U“±‘̂Ɋւ·‚é“d‹C‰»Šw“IŽ_‰»ŠÒŒ³‹““®‚ÌŒ¤‹†
http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/33/0003224/profile.html
‹Ê’u�ƒ ‹³Žö
–³‹@‹@”\�«�Þ—¿‚Ì�ÝŒv‚Æ‚»‚Ì‹@”\
http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/38/0003707/profile.html
‘å�ã–F•¶ ‹³Žö
ƒRƒ“ƒsƒ…�[ƒ^‚É‚æ‚é—¬‘̂̉^“®‚̉ð�Í‚Æ�HŠw“I‰ž—p

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/37/0003674/profile.html
’J‘×�O ‹³Žö
�æ’[“I‹@ŠB‰Á�H‹Z�p‚ÌŠJ”­

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/30/0002951/profile.html
Š}Œ´Œ’ˆê�@‹³Žö
ŠÂ‹«�EƒGƒlƒ‹ƒM�[—p’†�ÔŠOŒõƒfƒoƒCƒX‚ƃZƒ“ƒVƒ“ƒO�AŠÄŽ‹ƒlƒbƒgƒ��[ƒN‰»‹Z�p‚ÌŒ¤‹†

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/28/0002740/profile.html
ꎓ¡–Î�@‹³Žö
Œõ’Ê�Mƒlƒbƒgƒ��[ƒN‚ÉŠÖ‚·‚錤‹†

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/26/0002600/profile.html
�X�è‹v—Y ‹³Žö
”÷�¶•¨�×–E‚Ì•\–Ê“Á�«‚̉ð�Í‚¨‚æ‚Ñ”÷�¶•¨�\ŠE–ÊŠÔ‘ŠŒÝ�ì—p‚̉ð–¾

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/36/0003507/profile.html
‹v•ÛŠ² ‹³Žö
�¶•¨�HŠw‚ð—p‚¢‚½ŠÂ‹«ƒoƒCƒIƒeƒNƒmƒ�ƒW�[
http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/38/0003738/profile.html
•½ˆä�Tˆê ‹³Žö
—ÍŠw‚ðŠî‘b‚Æ‚·‚é‹@ŠBƒVƒXƒeƒ€‚Ì’m”\‰»

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/37/0003671/profile.html
�À‹�‹M—z ‹³Žö
—ÊŽqƒGƒŒƒNƒgƒ�ƒjƒNƒXƒfƒoƒCƒX/ƒVƒXƒeƒ€

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/28/0002728/profile.html
�r–Ø“w �y‹³Žö
ŽŸ�¢‘ã‚ð’S‚¤”¼“±‘Ì�Þ—¿‚Ì�ì�»‚Æ•]‰¿

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/38/0003798/profile.html
�¬“‡ˆê’j ‹³Žö
ƒKƒ‰ƒX�AŒ‹�»�A‚¨‚æ‚Ñ—n‰t’†‚Ì‹à‘®�ö‘Ì‚Ì�‡�¬�E”½‰ž�E�\‘¢

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/33/0003222/profile.html
•ž“¡Œ›Ži ‹³Žö �@
http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/54/0005387/profile.html
�@�@
�ã–ì–¾ ‹³Žö
MEMS—p�Þ—¿‚ðŠÜ‚ß‚½ŠeŽí�H‹Æ—p�Þ—¿‚Ì”÷�¬—̈æ‚É‚¨‚¯‚é”j‰ó‚ð�§Œä‚·‚邽‚߂̊î‘bŒ¤‹†

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/62/0006143/profile.html
ˆÀ“¡–­Žq �y‹³Žö
MEMS‚ð—p‚¢‚½Œv‘ª‹Z�p‚ÌŠJ”­�C‚¨‚æ‚у}ƒCƒNƒ��Eƒiƒm�Þ—¿‚Ì“Á�«•]‰¿�E”j‰óƒ�ƒJƒjƒYƒ€‚̉ð–¾

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/63/0006241/profile.html
‘¾“c�r–¾ ‹³Žö
ƒVƒ“ƒNƒ�ƒgƒ�ƒ“•úŽËŒõ‚ð—p‚¢‚½•¨�«‰ÈŠw‚ÌŒ¤‹†

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/29/0002856/profile.html
“¡Ž}ˆê˜Y ‹³Žö
“dŽq�EŒõƒfƒoƒCƒX‚Ɖ摜�î•ñ‹@Ší‚ւ̉ž—p

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/28/0002729/profile.html
�–ö�Ž�M ‹³Žö
‡@�‚�o—Í�[އŠO”¼“±‘Ì”­Œõ‘fŽq‚ÌŠJ”­‚Æ‚»‚̊‹«ƒGƒŒƒNƒgƒ�ƒjƒNƒX�AƒoƒCƒI‚ւ̉ž—p
‡Aƒjƒ…�[ƒ�ƒ“‚É‚¨‚¯‚é�_Œo�î•ñ“`’B‚Ì“d‹C“I�§Œä

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/41/0004021/profile.html
“¿“cŒ÷�@‹³Žö
�¶–½Œn‚É‚¨‚¯‚郊ƒYƒ€‹@�\‚̉𖾂Ƃ»‚Ì�HŠw‰ž—p

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/91/0009061/profile.html
‰F–ì�d�N�@�y‹³Žö
ƒiƒmƒGƒŒƒNƒgƒ�ƒjƒNƒXŒ¤‹†‚¨‚æ‚Ñ‚»‚̃oƒCƒIƒPƒ~ƒJƒ‹ƒZƒ“ƒT�[‰ž—p

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/91/0009035/profile.html
•õŒ³�‚Žu �y‹³Žö
ŽŸ�¢‘ãŒ^�‚�«”\Œõ“d•ÏŠ·ƒfƒoƒCƒX‚Ì‘n�¶
http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/26/0002555/profile.html
ˆî“c�N�G�@‹³Žö
‹à‘®‰»ŠwŽí‚ðŠˆ�«’†�S‚Æ‚·‚é–³‹@�G”}”½‰ž‹@�\‚̉𖾂ƎžŠÔ•ª‰ðX�ü•ªŒõ–@‚ÌŠJ”­

http://research-db.ritsumei.ac.jp/Profiles/64/0006341/profile.html
”ìŒã–î‹g ‹qˆõ‹³Žö
‹à‘®�Þ—¿‚Ì“Á�«•]‰¿

http://researchmap.jp/read0047210
�]“¡�„Ž¡ ‹qˆõ‹³Žö
http://researchmap.jp/read0034094/



—§–½ŠÙ‘åŠw�@�æ’[ƒ}ƒCƒNƒ��EƒiƒmƒVƒXƒeƒ€‹Z�pŒ¤‹†ƒZƒ“ƒ^�[Ž––±‹Ç

�§525-8577
Ž ‰êŒ§‘�’ÃŽs–ì˜H“Œ1-1-1
—§–½ŠÙ‘åŠw‚т킱�E‚­‚³‚ƒLƒƒƒ“ƒpƒX�@ƒŠƒT�[ƒ`ƒIƒtƒBƒX�i‚a‚j‚b�j
ƒeƒNƒmƒRƒ“ƒvƒŒƒNƒX‚PŠK

TEL:077-561-2802 FAX:077-561-2811
e-mail: microsys@st.ritsumei.ac.jp

Copyright 2012 Advanced Micro/Nano System Technology Research Center at Ritsumeikan University : All Rights Reserved