研究・産学官連携ニュース

2014.12.3-5

「セミコン・ジャパン2014」に出展

12月3日(水)~5日(金)、東京ビッグサイトにて、「セミコン・ジャパン2014」に出展し、本学が研究成果の出展を行った。

セミコン・ジャパンとは、世界最大級の半導体製造装置・材料の総合展示会であり、半導体関連デバイスの製造に関わるあらゆる製品・技術・サービスを日本から世界へ発信するイベントである。

本学からは、理工学部機械工学科の鈴木健一郎教授の「選択周波数を大きく変化させることができるMEMS帯域除去フィルムの試作」、「作製が容易なタイミング/フィルタ回路のための高効率シリコンMEMS共振器」、また同じく機械工学科の谷泰弘教授の「高機能研磨工具の開発」を紹介した。

3日間で約60,200人が来場した。