太陽電池作製装置
| ◇スパッタ装置 | |||
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| RF1元スパッタ | RF3元スパッタ | RF4元スパッタ | ARスパッタ |
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| ◇MBE装置 | |||
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02.jpg "MBE装置④") |
| ◇ランプ加熱装置 | ◇抵抗加熱蒸着装置 | ||
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| 卓上型RTA | 簡易型赤外線RTA | ||
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| ◇汎用熱処理装置 | ◇H2S環状炉 |
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評価装置
| ◇Ｘ線回折装置 | ◇走査型電子顕微鏡 | ◇分光光度計 | ◇QE測定装置 |
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| ◇Solar simulator | ◇時間分解 PL測定装置 |
◇LBIC測定装置 | ◇触針式 表面形状測定器 |
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