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Maskless soft lithography for fabricating micro- and nanoscale Ag structures via solid-state electrochemical etching using a polymer electrolyte membrane for optoelectronic and sensing applications
Tatsuya Fujii , Daishi Hakozaki , Atsuki Tsuji , Masaru Takizawa and Junji Murata
Materials Advances (2025)　DOI: 10.1039/D5MA00218D

マイクロ／ナノ構造を持つ銀（Ag）表面は、透明導電膜や高感度プラズモニックセンサーの有望な候補とされています。本研究では、ポリマー電解質膜（PEM）スタンプを用いた固体電気分解により、直接的で、簡便かつ低コストなパターニング手法を開発しました。形成されたパターン表面は光透過性が向上しており、フレキシブルな透明導電膜や表面増強ラマン分光法（SERS）基板への応用が期待されます。
当センターでは、BL7によるXSP測定とBL13によるXAS測定により、出来上がったAgナノパターンの状態が金属状であること。ポリマー電解質が不純物として表面に残らないことを明らかにしました。


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