2021.12.20 NEWS

荷電処理不要のエレクトレット型MEMS環境振動発電素子を開発

 立命館大学理工学部の山根大輔准教授と千葉大学先進科学センターの田中有弥助教らは、荷電処理が一切不要の自己組織化エレクトレット(SAE)をマイクロ機械構造に集積したエレクトレット型MEMS環境振動発電素子の開発に成功しました。提案技術を用いることで、これまで未踏であったエレクトレット型MEMS環境振動発電素子と電子回路のモノリシック集積化(ワンチップ化)が可能になります。
 本成果により、エネルギーハーベスティング技術のキーテクノロジーであるMEMS環境振動発電素子の小型化・高性能化・生産性向上がより加速し、電池・配線・利用環境フリーの次世代自立電源として無線IoT端末などへの導入が期待されます。
 本研究成果は、2021年12月20日14時(日本時間)に米国物理学協会が発行する学術雑誌「Applied Physics Letters」に掲載されました。

【論文情報】
論文名 : MEMS post-processed self-assembled electret for vibratory energy harvesters
著者 : Daisuke Yamane1,2, Hideyuki Kayaguchi3, Kosuke Kawashima1, Hisao Ishii3,4 and Yuya Tanaka2,3,4
所属 : 1. Department of Mechanical Engineering, College of Science and Engineering, Ritsumeikan University, 2. Japan Science and Technology Agency, PRESTO, 3. Graduate School of Science and Engineering, Chiba University, 4. Center for Frontier Science, Chiba University.
発表雑誌 : Applied Physics Letters
掲載日時 : 2021年12月20日14時(日本時間)

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